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公開番号2025016064
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-31
出願番号2023119080
出願日2023-07-21
発明の名称エキシマランプ
出願人株式会社オーク製作所
代理人個人,個人
主分類H01J 65/00 20060101AFI20250124BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ライン照射型エキシマランプにおいて、放電管内から放射される紫外線などの光を、効率よく照射対象物に向けて照射する。
【解決手段】エキシマランプ10の放電管20は、外側電極40によって外表面20Sによって覆われ、外側電極40によって覆われていない外表面部分を、光透過用の窓20Wとして構成している。箔電極30は、幅方向両端E1、E2に向けて先鋭化したクサビ形状34A、34Bを形成し、一端E2が外側電極40と対向し、一端E1が窓20Wと対向している。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
放電管と、
前記放電管内で帯状に延びる内側電極を覆う誘電体と、
前記放電管の外表面の周方向に沿うように設けられた外側電極とを備え、
前記内側電極の幅方向に沿った少なくとも一方の端が、前記外側電極と対向していることを特徴とするライン照射型のエキシマランプ。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記箔状電極の幅方向に沿った他方の端が、前記放電管の放出面と対向していることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
前記放電管の放出面が、前記内側電極の幅方向を対称軸として対称的に形成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項４】
前記内側電極が、前記誘電体に対して同軸的に配置され、
前記内側電極の厚さ方向に沿った前記誘電体の外表面と前記内側電極との距離が、前記内側電極の幅方向に沿った前記誘電体の外表面と前記内側電極との距離よりも短いことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項５】
前記内側電極が、箔状電極であって、
前記箔状電極が、前記箔状電極の幅方向に沿った両端の間に、幅方向に沿って厚さが略一定の平坦部を有し、
前記誘電体が、前記箔状電極の幅方向に沿って厚さが略一定で、前記平坦部と略平行な外表面を有することを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項６】
前記誘電体が、前記放電管内に形成された小径部と、前記放電管外に形成された大径部とを有し、
前記誘電体の小径部の内側電極の幅方向および厚さ方向に沿った径が、前記大径部の径よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項７】
前記誘電体が、前記内側電極の幅方向に合わせて偏平形であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のエキシマランプ。
【請求項８】
前記誘電体の断面が、長円状または長楕円状であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のエキシマランプ。
【請求項９】
前記内側電極が、箔状電極であって、
前記箔状電極が、前記箔状電極の幅方向に沿った両端の間に、幅方向に沿って厚さが略一定の平坦部を有し、前記平坦部の両端から前記箔状電極の幅方向に沿った両端に向けて先鋭化していることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のエキシマランプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプに関し、特に、照射対象物に向けて紫外線などの光を高効率で照射可能なエキシマランプに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
エキシマランプでは、キセノンなどの希ガスまたは希ガスを含む混合ガスを封入した放電管内に内側電極を設け、放電管の外表面に外側電極を設けている。内側電極と外側電極との間に高周波電圧を印加することによって放電が発生し、エキシマ光（紫外線）が放電空間から放射される。
【０００３】
光を効率よく照射するため、反射特性のある外側電極によって放電管の外表面の一部分を覆い、外側電極を設けていない光透過部分から光を放出させるエキシマランプが知られている。例えば、ランプ軸方向に沿ってスリット状の光透過部分を定め、それ以外の放電管外表面部分を、アルミニウム反射膜などの外側電極で覆う（特許文献１参照）。以下では、このようなエキシマランプを、ライン照射型エキシマランプという。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平７－２７２６９２号公報（図７等）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
小型のライン照射型エキシマランプ（例えば、放電管の外径が数ｍｍ～数十ｍｍのサイズ）を構成する場合、放電管内の放電から放射される光を、より一層効率よく照射対象物に向けて照射することが求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様であるライン照射型のエキシマランプは、ランプ軸方向に沿って定められるスリット状の光透過部分に応じて、光放出面がランプ軸方向に沿って設けられるエキシマランプとして構成される。エキシマランプは、放電管と、放電管内で帯状に延びる内側電極を覆う誘電体と、放電管の外表面の周方向に沿うように設けられた外側電極とを備える。例えば、外側電極は、スリット状の光放出面を透過したライン状の光照射のため、断面弧状で放電管の外表面の周方向の一部に設けることが可能である。外側電極の周方向に沿った配置領域、すなわち光照射幅は、ランプサイズ、光出力、使用環境などに応じて、任意である。
【０００７】
内側電極の構成は様々であり、例えば、ランプ軸方向に沿って延びる箔状電極として構成することが可能である。箔状電極は、電極幅方向に沿った両端が、箔電極の幅方向中央部よりも薄くなるように、構成することができる。例えば、箔状電極は、箔電極の幅方向に沿った両端の間に、幅方向に沿って厚さが略一定の平坦部を有し、平坦部の両端から箔電極の幅方向に沿った両端に向けて先鋭化するように、構成することができる。
【０００８】
本発明のエキシマランプでは、帯状の内側電極の幅方向に沿った少なくとも一方の端が、外側電極と対向している。例えば、内側電極の幅方向に沿った他方の端が、放電管の放出面と対向するように、外側電極を配置することが可能である。また、放電管の放出面が、内側電極の幅方向を対称軸として対称的に形成される。すなわち、内側電極の幅方向を対称軸として対称的となるように、外側電極を構成することが可能である。
【０００９】
誘電体は、様々な形状にすることができる。例えば、内側電極が、誘電体に対して同軸的に配置されるように構成することが可能であり、内側電極の厚さ方向に沿った誘電体の外表面と内側電極との距離が、内側電極の幅方向に沿った誘電体の外表面と内側電極との距離よりも短くなるように、構成することができる。
【００１０】
例えば、内側電極が箔状電極の場合、箔状電極が、箔状電極の幅方向に沿った両端の間に、幅方向に沿って厚さが略一定の平坦部を形成し、誘電体に対し、箔状電極の幅方向に沿って厚さが略一定で、平坦部と略平行な外表面を設けることが可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

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