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公開番号2025015981
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-31
出願番号2023118942
出願日2023-07-21
発明の名称エキシマランプ
出願人株式会社オーク製作所
代理人個人,個人
主分類H01J 61/54 20060101AFI20250124BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】点灯始動が良好であって耐久性能を備えるエキシマランプを提供する。
【解決手段】エキシマランプ10は、放電管20と箔電極30被覆する誘電体50とを備え、その間に主放電空間S1を形成している。誘電体50は、箔電極30と封着している封着部分54と、封着部分54よりも先端側であって箔電極30と封着していない非封着部分52とを有する。非封着部分52には、補助放電空間S2が設けられている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
先端部を含めて内側電極を覆う誘電体と、
前記誘電体と溶着して主放電空間を形成する放電容器とを備え、
前記誘電体は、前記内側電極を覆う封着部分よりも前記放電容器の端部側の非封着部分に、補助放電空間を形成していることを特徴とするエキシマランプ。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記補助放電空間が、断面円状であって、
前記補助放電空間の少なくとも一部の断面領域が、前記内側電極の断面領域よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
前記内側電極が、箔状電極であって、
前記内側電極の電極幅方向に沿った断面において、前記補助放電空間の少なくとも一部の電極幅方向に沿った幅が、前記内側電極の幅より大きいことを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。
【請求項４】
前記内側電極が、箔状電極であって、
前記補助放電空間の幅が、前記内側電極の電極厚さ方向に沿って、前記封着部分の幅より大きいことを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。
【請求項５】
前記内側電極が、箔状電極であって、
前記内側電極の電極幅方向に沿った前記誘電体の外面と前記放電容器内面との距離間隔が、ランプ軸方向に沿って略一定であることを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。
【請求項６】
前記封着部分が、断面長円状または長楕円状であって、
前記内側電極の電極幅方向に沿って、前記封着部分の幅と、前記非封着部分の幅とが、略等しいことを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。
【請求項７】
前記封着部分が、断面長円状または長楕円状であって、
前記内側電極の電極厚さ方向に沿って、前記非封着部分の厚さが、前記封着部分の厚さよりも小さいことを特徴とする請求項２に記載のエキシマランプ。
【請求項８】
前記放電容器の外表面に設けられる外側電極が、前記放電容器に対して導電線が螺旋状に巻かれた螺旋部を有し、
前記補助放電空間が、前記螺旋部と対向していないことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項９】
前記螺旋部と電気的に接続され、前記放電容器に対して導電板を円筒状に巻かれた円筒部をさらに備え、
前記補助放電空間の少なくとも一部が、前記円筒部よりも前記放電容器の端部側に形成されていることを特徴とする請求項８に記載のエキシマランプ。
【請求項１０】
前記補助放電空間が、前記放電容器の外表面に設けられる外側電極と対向していることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプに関し、特に、エキシマランプにおける放電空間の構成に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
二重管型のエキシマランプでは、軸方向に延びる２つの同軸円筒管によって発光部が構成され、内側管と外側管との間に形成される放電空間に対し、放電ガスが封入される。そして、誘電体である内側管に被覆される電極（内側電極）と、外側管の外表面にある電極（外側電極）との間に高周波電圧を印加することによって、紫外線などのエキシマ光が放電空間に発生した放電から放射される。
【０００３】
例えば、エキシマランプを確実に点灯させるため、放電開始電圧よりも低い電圧で放電する始動補助機能を備えたエキシマランプが知られている（特許文献１参照）。そこでは、ランプ軸に沿って延びる内側電極が挿通された内側管内に点灯始動用の放電空間を形成し、内側管と外側管との間に形成される放電空間よりも始動電圧の低いガスが内側管に封入される。
【０００４】
また、箔状の電極を内側電極として被覆する内側管を備えたエキシマランプでは、内側電極と内側管とを部分的に封着させるエキシマランプが知られている（特許文献２参照）。そこでは、内側管に被覆される内側電極に対し、内側管に封止された（密閉された）状態となる部分と、未封止部分とを設け、内側電極が露出した点灯始動用の補助放電空間を形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１７－４７０２号公報
特開２０２２－１８２６８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
点灯始動用の補助放電空間をランプ径方向に沿って内側電極と内側管との間に形成すると、スパッタリング現象によって早期の電極消耗による始動補助機能の低下を招く恐れがある。一方、点灯始動用の補助放電空間をランプ軸方向全体に渡って形成することは、補助放電によって主放電空間の温度を高くすることになり、紫外線放射効率を低下させる。特に、小型エキシマランプ（例えば、放電容器の外径が数ｍｍ～数十ｍｍ）などを構成する場合、高効率の紫外線放射と耐久性の両立が困難となる。
【０００７】
したがって、小型のエキシマランプなどにおいても、点灯始動が良好であって耐久性能を備えることが可能な点灯始動用の放電空間の形成が求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一態様であるエキシマランプは、先端部を含めて内側電極を覆う誘電体と、誘電体と溶着して主放電空間を形成する放電容器とを備える。放電容器は、管状に形成することが可能である。
【０００９】
誘電体において内側電極を覆う部分を、封着部分という。ここで、「封着」とは、箔状電極と誘電体との間に隙間が生じないように、ガラスなどを素材とする誘電体（内側管）が箔状の電極全体に密接して着く（密着する）ことを表す。
【００１０】
本発明の誘電体は、内側電極を覆う封着部分よりも放電容器の端部側にある部分（ここでは、非封着部分という）に、補助放電空間を形成している。管状であった誘電体が溶けて中空部分が埋まることで柱状の塊となる部分、例えば内側電極先端を埋設する部分、管状であった誘電体が溶けて中空部分が埋まることで半球状の塊となった誘電体先端部を形成する部分とは異なる部分に、補助放電空間が形成される。これは、誘電体が、内側電極先端付近から誘電体先端部との間で、部分的に溶着していない部分と部分的に溶着している部分が存在するといえる。
（【００１１】以降は省略されています）

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