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公開番号2025010199
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-20
出願番号2024187694,2022195158
出願日2024-10-24,2016-07-12
発明の名称ロードポート
出願人シンフォニアテクノロジー株式会社
代理人弁理士法人ATEN
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250109BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】FOUPを筐体に接続させる際に、周辺空間を清浄に保つことができるロードポートを提供する。
【解決手段】搬送空間9を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベース41と、ベース41に設けられた開口部92と、開口部92の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドア81と、ベースと容器との間をシールする第1シール部材94と、を備え、ドア81の容器側の端面81cの少なくとも一部が、第1シール部材94の容器側の端部より搬送空間9側に位置する。
【選択図】図11
特許請求の範囲【請求項１】
搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベースと、
前記ベースに設けられた開口部と、
前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、
前記ベースと前記容器との間をシールする第１シール部材と、
前記ベースと前記ドアとの間をシールする第２シール部材と、
前記容器が前記開口部に取付けられた状態で、前記容器を前記ベース側に押圧するクランプユニットと、
を備え、
前記ドアの前記容器側の端面の少なくとも一部が、前記クランプユニットにクランプされた前記容器により前記ベース側に押圧された前記第１シール部材の前記容器側の端部より前記搬送空間側に位置し、
前記ドアは、
前記第２シール部材と当接するように配置された薄肉部と、
前記薄肉部よりも厚く且つ前記薄肉部よりも前記容器側へ突出しており、前記蓋体と対向するように配置された厚肉部と、を有し、
前記容器が前記クランプユニットによって前記ベース側に押圧されることにより、前記第１シール部材が弾性変形しており、且つ、前記容器が前記ベース側に押圧される前の状態よりも前記容器が前記ベース側に接近した近接状態において、前記蓋体が前記厚肉部と接触していないことを特徴とするロードポート。
続きを表示（約 310 文字）【請求項２】
前記近接状態において、前記容器に固定された前記蓋体の前記搬送空間側の端面の少なくとも一部が、前記第１シール部材の前記容器側の端部より前記搬送空間側に位置していることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
【請求項３】
前記薄肉部と前記ベースとは、前記第２シール部材を介して互いに離隔していることを特徴とする請求項１又は２に記載のロードポート。
【請求項４】
前記容器が載置されるように構成された、前記ベースに対して進退可能な載置台を備え、
前記載置台は、前記近接状態において前記ベースと接触していないことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載のロードポート。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送中のウェーハを外気に晒すことのないよう、ウェーハ搬送室内のガスを循環させることのできるロードポートに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板としてのウェーハに対し種々の処理工程が施されることにより半導体の製造がなされてきている。近年では素子の高集積化や回路の微細化がますます進められており、ウェーハ表面へのパーティクルや水分の付着が生じないように、ウェーハ周辺を高いクリーン度に維持することが求められている。さらに、ウェーハ表面が酸化するなど表面の性状が変化することがないよう、ウェーハ周辺を不活性ガスである窒素雰囲気としたり、真空状態としたりすることも行われている。
【０００３】
こうしたウェーハ周辺の雰囲気を適切に維持するために、ウェーハは、ＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod）と呼ばれる密閉式の格納ポッドの内部に入れて管理され、この内部には窒素が充填される。さらに、ウェーハに処理を行う処理装置と、ＦＯＵＰとの間でウェーハの受け渡しを行うために、ＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）が利用されている。ＥＦＥＭは、筐体の内部で略閉止されたウェーハ搬送室を構成するとともに、その対向壁面の一方にＦＯＵＰとの間でのインターフェース部として機能するロードポート（Load Port）を備えるとともに、他方に処理装置の一部であるロードロック室が接続される。ウェーハ搬送室内には、ウェーハを搬送するためのウェーハ搬送装置が設けられており、このウェーハ搬送装置を用いて、ロードポートに接続されるＦＯＵＰとロードロック室との間でウェーハの出し入れが行われる。
【０００４】
ロードポートとしては例えば特許文献１に示すように、ドア部を閉じた状態でドア部が筐体よりもＦＯＵＰ側に突出する構成が採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４―１１２６３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１に記載のロードポートでは、ＦＯＵＰを筐体に接続するために接近させると、ＦＯＵＰと、筐体から突出したドア部とが接触する。この接触により破片が飛散し、ＥＦＥＭの周辺空間が汚染されるという問題がある。
【０００７】
そこで、この発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、ＦＯＵＰを筐体に接続させる際に、周辺空間を清浄に保つことができるロードポートを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るロードポートは、
搬送空間を外部空間から隔離する壁の一部を構成するベースと、
前記ベースに設けられた開口部と、
前記開口部の開閉と、収容物を収容した容器に対する蓋体の固定及び固定の解除が可能なドアと、
前記ベースと前記容器との間をシールする第１シール部材と、
を備え、
前記ドアの前記容器側の端面の少なくとも一部が、前記第１シール部材の前記容器側の端部より前記搬送空間側に位置する。
【０００９】
このロードポートでは、仮に容器の蓋体がベース側に膨張していたとしても、容器を開口部に取り付けた際に、ドアの容器側の端面が第１シール部材の容器側の端部よりも搬送空間側に位置するので、蓋体とドアとが接触しない。これにより、蓋体がドアに接触して破片が飛散するのを防止し、ロードポートの周辺空間を清浄に保つことができる。また、ドアに予め付着しているゴミが接触の衝撃で舞い上がったり、接触の衝撃で容器が揺れて、容器底部のゴミが飛散したり収容物の位置がずれることを低減できる。
【００１０】
本発明に係るロードポートは、
前記容器が前記開口部に取付けられた状態で、前記容器を前記ベース側に押圧するクランプユニットを有し、
前記クランプユニットにクランプされた前記容器により前記ベース側に押圧された前記第１シール部材の前記容器側の端部より、前記ドアの前記容器側の端面の少なくとも一部が前記搬送空間側に位置する。
（【００１１】以降は省略されています）

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