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公開番号2024170193
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-06
出願番号2023087219
出願日2023-05-26
発明の名称保管設備
出願人株式会社ダイフク
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類B65G 1/00 20060101AFI20241129BHJP(運搬;包装;貯蔵;薄板状または線条材料の取扱い)
要約【課題】保管設備に対して保管設備の上方からの清浄空気の供給が均一でない場合であっても、保管設備内の清浄度を維持することを目的とする。
【解決手段】天井(100)に設置されたファンフィルターユニット(FFU)から清浄空気が供給されることで室内の清浄度を保つクリーンルーム(CR)に設置される保管設備(1)であって、容器(50)を載置する保管棚(2)を備え、少なくとも、保管棚(2)の天井となる位置(P)において、ファンフィルターユニット(FFU)からクリーンルーム(CR)内に供給される清浄空気を保管設備(1)の内部に通過させる複数の孔(4)が設けられている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
天井に設置されたファンフィルターユニットから清浄空気が供給されることで室内の清浄度を保つクリーンルームに設置される保管設備であって、
物品を載置する保管棚を備え、
少なくとも、前記保管棚の天井となる位置において、前記ファンフィルターユニットから前記クリーンルーム内に供給される前記清浄空気を前記保管設備の内部に通過させる複数の孔が設けられている、保管設備。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
前記保管設備の天井となる位置において複数の孔が設けられている領域が、前記複数の孔の開口率が第１開口率に設定されている第１領域と、前記複数の孔の開口率が前記第１開口率よりも高い第２開口率に設定されている第２領域とを少なくとも含み、
前記第２領域は前記第１領域よりも前記ファンフィルターユニットから遠い、
請求項１に記載の保管設備。
【請求項３】
前記保管設備の周囲を囲う側部と、
前記側部の下部に設けられ、前記保管設備内の空気を外部に排出する排気部と、を備えている、請求項１に記載の保管設備。
【請求項４】
前記ファンフィルターユニットから前記クリーンルームに供給される清浄空気を前記保管設備の天井となる位置まで導くカバーをさらに備え、
前記カバーは、前記保管設備の上端部の周辺において、前記保管設備から前記クリーンルームの天井まで少なくとも延伸し、前記ファンフィルターユニットを囲うものである、請求項１に記載の保管設備。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保管設備に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体や液晶板等の高い清浄度の保持が求められる製品を保管するために、製品を保管する保管棚がクリーンルームに設置されることが知られている。例えば、特許文献１には、クリーンルームの天井から吹き出た風（クリーンエア）が、天井が設けられた保管棚の前後に分かれ、下方に流れた風を保管棚側に導く整流手段が設けられた保管棚が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００２－３３８００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
また、クリーンルームでは、天井に設置されたファンフィルターユニットから清浄空気をクリーンルームに供給することで、室内の空気の清浄度を保つ方法がある。このようなクリーンルームでは求められる空気清浄度により、クリーンルームの天井の面積に対してファンフィルターユニットが設置される面積が小さくなる場合がある。その場合、保管棚の上方において、ファンフィルターユニットが配置されている箇所とファンフィルターユニットが配置されていない箇所ができることで、保管棚に対して天井からの清浄空気の流れが均一ではなくなり、保管棚内において空気の淀みが発生しやすくなるという問題がある。
【０００５】
本発明の一態様は、保管設備に対して保管設備の上方からの清浄空気の供給が均一でない場合であっても、保管設備内の清浄度を維持することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る保管設備は、天井に設置されたファンフィルターユニットから清浄空気が供給されることで室内の清浄度を保つクリーンルームに設置される保管設備であって、物品を載置する保管棚を備え、少なくとも、前記保管棚の天井となる位置において、前記ファンフィルターユニットから前記クリーンルーム内に供給される前記清浄空気を前記保管設備の内部に通過させる複数の孔が設けられている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の一態様によれば、保管設備に対して保管設備の上方からの清浄空気の供給が均一でない場合であっても、保管設備内の清浄度を維持することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の実施形態に係る保管設備の縦断面図である。
上記保管設備の横断面図である。
上記保管設備の正面図である。
上記保管設備の背面図である。
上記保管設備が設置されるクリーンルームの天井においてファンフィルターユニットが設置されている位置を示す図である。
上記保管設備内の空気の流れを示した図である。
上記保管設備のパンチングプレートの配置の一例を示す上面図である。
上記保管設備内及び従来の保管設備内の気流解析結果を示す図である。
パンチングプレートの開口率を異ならせた場合における上記保管設備内の酸素濃度を測定した結果を示す表である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態について、詳細に説明する。ただし、以下の説明は本発明に係る保管設備１の一例であり、本発明の技術的範囲は図示例に限定されるものではない。なお、説明を簡単にするために、以下において、図１の保管設備１に対して、鉛直方向をＹ軸方向、保管設備１の後面５２から前面５１に向かう方向をＺ軸方向、Ｙ軸及びＺ軸に垂直な方向をＸ軸方向として説明する。
【００１０】
〔保管設備の概略〕
半導体や液晶板等の高い清浄度の保持が求められる製品は、天井１００に設置されたファンフィルターユニット（以降ＦＦＵと記載する）から清浄空気を室内に供給することで室内の空気の清浄度を保つクリーンルームＣＲに設置される保管設備に保管される場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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