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公開番号2024166936
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-29
出願番号2023083373
出願日2023-05-19
発明の名称モータ駆動装置、給電装置、給電方法、電源装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H02P 23/06 20160101AFI20241122BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】モータの駆動に必要な給電量によらず、モータが所定の駆動を行うことができるモータ駆動装置を提供する。
【解決手段】モータと、前記モータに給電するドライバと、前記ドライバに給電するキャパシタと、を有し、前記ドライバは、前記キャパシタから給電されているときに電源から給電が開始され、前記ドライバが前記電源から給電される単位時間当たりの給電量の変化量と前記ドライバが前記電源から給電されるタイミングとのうち少なくとも一方が、前記ドライバから前記モータへの給電状態に基づいて調整された状態で前記電源から給電される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
モータと、
前記モータに給電するドライバと、
前記ドライバに給電するキャパシタと、を有し、
前記ドライバは、
前記キャパシタから給電されているときに電源から給電が開始され、
前記ドライバが前記電源から給電される単位時間当たりの給電量の変化量と前記ドライバが前記電源から給電されるタイミングとのうち少なくとも一方が、前記ドライバから前記モータへの給電状態に基づいて調整された状態で前記電源から給電される、
ことを特徴とするモータ駆動装置。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記給電状態は、前記キャパシタから前記ドライバに給電が行われていて、前記電源から前記ドライバに給電が行われていないときの、前記ドライバから前記モータに流れる電流の大きさであることを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。
【請求項３】
前記給電状態を取得又は演算する取得部を有することを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。
【請求項４】
前記取得部は、前記キャパシタから前記ドライバに給電が行われていて、前記電源から前記ドライバに給電が行われていないときの前記ドライバより前記電源側における電圧に基づいて、前記給電状態を取得することを特徴とする請求項３に記載のモータ駆動装置。
【請求項５】
前記取得部は、前記モータの駆動に関する情報に基づいて前記給電状態を取得することを特徴とする請求項３に記載のモータ駆動装置。
【請求項６】
前記取得部が取得又は演算した前記給電状態に基づいて、前記変化量と前記タイミングとのうち少なくとも一方を調整する調整部を有することを特徴とする請求項３に記載のモータ駆動装置。
【請求項７】
前記電流の大きさが大きいときの前記変化量は、前記電流の大きさが小さいときの前記変化量より多い、
ことを特徴とする請求項２に記載のモータ駆動装置。
【請求項８】
前記電流の大きさが大きいときの前記タイミングは、前記電流の大きさが小さいときの前記タイミングより早い、
ことを特徴とする請求項２に記載のモータ駆動装置。
【請求項９】
前記変化量の調整は、前記電源の制御パラメータに含まれるゲインの調整であることを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。
【請求項１０】
前記タイミングの調整は、前記電源の出力タイミングに関する制御パラメータの調整、又は、ソリッドステートリレー又はメカニカルリレーの開閉タイミングの調整により行われることを特徴とする請求項１に記載のモータ駆動装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、モータ駆動装置、給電装置、給電方法、電源装置、リソグラフィ装置及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
一般に、工業製品を製造する際にはモータが用いられることがあり、例えば、搬送システムの一部としてリニアモータが用いられることがある。工業製品を製造する際に用いられるモータは、リニアモータに限定されず、回転モータなども用いられる。特許文献１には、モータに給電するドライバと、ドライバに給電する電源と、ドライバと電源の間に配置されていてモータが減速した際の回生電力を蓄えるキャパシタと、が記載されている。そして、この電力を蓄えたキャパシタからの給電によりモータを駆動させることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－７９８２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
モータの駆動においては、最初にキャパシタから給電が行われ、キャパシタから給電が行われているときに電源からの給電が開始される。ここで、モータにて駆動に必要な給電量が大きくなった場合に、電源からの給電が間に合わずにモータが所定の駆動を行えないことがある。
【０００５】
そこで、本発明は、モータの駆動に必要な給電量によらず、モータが所定の駆動を行うことができるモータ駆動装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのモータ駆動装置は、モータと、前記モータに給電するドライバと、前記ドライバに給電するキャパシタと、を有し、前記ドライバは、前記キャパシタから給電されているときに電源から給電が開始され、前記ドライバが前記電源から給電される単位時間当たりの給電量の変化量と前記ドライバが前記電源から給電されるタイミングとのうち少なくとも一方が、前記ドライバから前記モータへの給電状態に基づいて調整された状態で前記電源から給電される、ことを特徴とする。
【０００７】
本発明の更なる目的又はその他の側面は、以下、図面を参照して説明される実施形態によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、モータの駆動に必要な給電量によらず、モータが所定の駆動を行うことができるモータ駆動装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
第１実施形態におけるモータ駆動装置のブロック図である。
従来における、電源からドライバへの給電を制御する制御パラメータを調整しない場合の給電状態のグラフである。
第１実施形態における、電源からドライバへの給電を制御する制御パラメータを調整して給電を行う給電方法を示すフローチャートである。
第１実施形態における、電源の応答性を調整する場合の給電状態のグラフである。
第２実施形態におけるモータ駆動装置のブロック図である。
第２実施形態における、ドライバが電源から給電されるタイミングを調整する場合の給電状態のグラフである。
第３実施形態におけるモータ駆動装置のブロック図である。
第４実施形態におけるモータ駆動装置のブロック図である。
第５実施形態における基板処理装置の構成を示す概略図である。
第６実施形態における物品の製造方法のフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下に、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
（【００１１】以降は省略されています）

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