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公開番号2024166688
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-29
出願番号2023082973
出願日2023-05-19
発明の名称透明導電性フィルム
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人いくみ特許事務所
主分類B32B 7/023 20190101AFI20241122BHJP(積層体)
要約【課題】透明基材に対する透明導電層の高い密着性を実現するのに適した透明導電性フィルムを提供する。
【解決手段】本発明の透明導電性フィルムXは、透明基材10と、透明導電層20とを備える。透明基材10は、第1面10aと、当該第1面10aとは反対側の第2面10bとを有する。透明導電層20は、透明基材10の第1面10a上にある。第1面10aは、1.50nm以上の表面粗さRaを有する。透明導電層20は、アルゴンより原子番号が大きな希ガス原子を含有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１面と当該第１面とは反対側の第２面とを有する透明基材と、
前記第１面上の透明導電層と、を備える透明導電性フィルムであって、
前記第１面が１.５０ｎｍ以上の表面粗さＲａを有し、
前記透明導電層が、アルゴンより原子番号が大きな希ガス原子を含有する、透明導電性フィルム。
続きを表示（約 240 文字）【請求項２】
前記希ガス原子がクリプトンである、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
【請求項３】
前記透明導電層が結晶膜である、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
【請求項４】
前記表面粗さＲａが２.５０ｎｍ以下である、請求項１に記載の透明導電性フィルム。
【請求項５】
前記透明基材が、前記第１面を形成する易接着層を有し、当該易接着層が５０ｎｍ以下の平均厚さを有する、請求項１から４のいずれか一つに記載の透明導電性フィルム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、透明導電性フィルムに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、樹脂製の透明基材と透明な導電層（透明導電層）とを厚さ方向に順に備える透明導電性フィルムが知られている。透明導電層は、例えば、ディスプレイパネル、タッチパネル、および太陽電池などの各種デバイスにおける透明電極を形成するための導体膜として用いられる。透明導電層は、例えば、スパッタリング法で透明基材上に透明導電材料を成膜することによって、形成される（スパッタ成膜）。スパッタ成膜では、従来、スパッタリングガス（不活性ガス）としてアルゴンが用いられる。このような透明導電性フィルムに関する技術については、例えば下記の特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００４－２１３９９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
透明導電性フィルムには、透明基材から透明導電層が剥がれないように、透明基材に対する透明導電層の密着性が良いことが求められる。一方、スマートフォン用またはタブレット端末用に、繰り返し折り曲げ可能（フォルダブル）なディスプレイパネルの開発が進んでいる。例えばフォルダブルディスプレイパネル用途の透明導電性フィルムには、透明基材に対する透明導電層の密着性が高いことが、強く求められる。
【０００５】
本発明は、透明基材に対する透明導電層の高い密着性を実現するのに適した透明導電性フィルムを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明［１］は、第１面と当該第１面とは反対側の第２面とを有する透明基材と、前記第１面上の透明導電層と、を備える透明導電性フィルムであって、前記第１面が１.５０ｎｍ以上の表面粗さＲａを有し、前記透明導電層が、アルゴンより原子番号が大きな希ガス原子を含有する、透明導電性フィルムを含む。
【０００７】
本発明［２］は、前記希ガス原子がクリプトンである、上記［１］に記載の透明導電性フィルムを含む。
【０００８】
本発明［３］は、前記透明導電層が結晶膜である、上記［１］または［２］に記載の透明導電性フィルムを含む。
【０００９】
本発明［４］は、前記表面粗さＲａが２.５０ｎｍ以下である、上記［１］から［３］のいずれか一つに記載の透明導電性フィルムを含む。
【００１０】
本発明［５］は、前記透明基材が、前記第１面を形成する易接着層を有し、当該易接着層が５０ｎｍ以下の平均厚さを有する、上記［１］から［４］のいずれか一つに記載の透明導電性フィルムを含む。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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