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公開番号2024166166
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-28
出願番号2024080099
出願日2024-05-16
発明の名称イメージセンサー
出願人三星電子株式会社,Samsung Electronics Co.,Ltd.
代理人個人,個人
主分類H01L 27/146 20060101AFI20241121BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】イメージセンサーの接続配線の長さを減らすことにより、イメージセンサーの光学的特性を向上させる。
【解決手段】イメージセンサーは、複数のフォトダイオードを有する基板、フォトダイオードの対応する端子に結合された電流伝達端子を有する複数の伝送トランジスタ、電流伝達端子に結合された複数のフローティングディフュージョン領域FD1～FD4、複数のフローティングディフュージョン領域のうち少なくとも4つを相互接続する接続配線WRを含み、接続配線は、第1端部と第2端部を有する中心接続部WR_C、中心接続部の端部に接続され、複数のフローティングディフュージョン領域のうちの1つに接続されたブリッジ部WR_B1～WR_B4を含み、ブリッジ部と中心接続部は線状であり、ブリッジ部の端部は、中心接続部の端部と鈍角で交差する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
複数のフォトダイオードを有する基板、
前記複数のフォトダイオードの対応する端子に電気的に結合されたそれぞれの電流伝達端子を有する複数の伝送トランジスタ、
前記複数の伝送トランジスタのうち前記複数のフォトダイオードに対応する電流伝達端子に電気的に結合された複数のフローティングディフュージョン領域、および
前記複数のフローティングディフュージョン領域のうち少なくとも４つを電気的に相互接続するように構成された接続配線を含み、
前記接続配線は、
第１端部および第２端部を有する中心接続部、
中心接続部の前記第１端部に電気的に接続された第１端部および前記複数のフローティングディフュージョン領域のうちの１つである第１フローティングディフュージョン領域に電気的に接続された第２端部を有する第１ブリッジ部、および
中心接続部の前記第２端部に電気的に接続された第１端部および前記複数のフローティングディフュージョン領域のうちの１つである第２フローティングディフュージョン領域に電気的に接続された第２端部を有する第２ブリッジ部を含み、
第１ブリッジ部および中心接続部は線状であり、第１ブリッジ部の前記第１端部は平面上で中心接続部の前記第１端部と鈍角で交差するイメージセンサー。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記複数のフローティングディフュージョン領域のうち４つは、平面上で長方形の各頂点に位置する請求項１に記載のイメージセンサー。
【請求項３】
前記第１フローティングディフュージョン領域と前記中心接続部の前記第１端部との間の距離が、前記第２フローティングディフュージョン領域と前記中心接続部の前記第２端部との間の距離と同じである請求項２に記載のイメージセンサー。
【請求項４】
前記接続配線は、
前記中心接続部の前記第１端部に電気的に接続された第１端部と前記複数のフローティングディフュージョン領域のうちの１つである第３フローティングディフュージョン領域に電気的に接続された第２端部を有する第３ブリッジ部、および
前記中心接続部の前記第２端部に電気的に接続された第１端部および前記複数のフローティングディフュージョン領域のうちの１つである第４フローティングディフュージョン領域に電気的に接続された第２端部を有する第４ブリッジ部をさらに含む請求項１に記載のイメージセンサー。
【請求項５】
前記第１ブリッジ部の前記第１端部は、平面上で第１鈍角で前記中心接続部の前記第１端部と交差し、
前記第３ブリッジ部の前記第１端部は、平面上で第３鈍角で前記中心接続部の前記第１端部と交差し、
前記第２ブリッジ部の前記第１端部は、平面上で第２鈍角で前記中心接続部の前記第２端部と交差し、
前記第４ブリッジ部の前記第１端部は、平面上で第４鈍角で前記中心接続部の前記第２端部と交差する請求項４に記載のイメージセンサー。
【請求項６】
前記第１および第３鈍角は同じであり、前記第２および第４鈍角は同じである請求項５に記載のイメージセンサー。
【請求項７】
基板、
前記基板内に位置する複数のフォトダイオード、
前記複数のフォトダイオードにそれぞれ接続されている伝送トランジスタ、
前記伝送トランジスタを介して少なくとも１つのフォトダイオードに接続されている複数のフローティングディフュージョン領域、および
少なくとも４つのフローティングディフュージョン領域を互いに接続する接続配線を含み、
前記４つのフローティングディフュージョン領域は、長方形状の各頂点に位置し、
前記接続配線は、
前記長方形状の中心部に位置する中心接続部、および
前記中心接続部と前記長方形状の各頂点との間を接続する複数のブリッジ部を含み、
前記複数のブリッジ部のうち前記中心接続部の一側端部に接続されている２つのブリッジ部の間の第１角度は鈍角であり、
前記長方形状の短辺と前記ブリッジ部との間の角度は、前記短辺と前記長方形状の対角線の間の角度より小さいイメージセンサー。
【請求項８】
前記中心接続部は、前記長方形状の長辺と並んで延びる請求項７に記載のイメージセンサー。
【請求項９】
前記複数のブリッジ部のうち前記中心接続部の一側端部に接続されている２つのブリッジ部は、前記中心接続部を基準に対称である請求項８に記載のイメージセンサー。
【請求項１０】
前記中心接続部と前記複数のブリッジ部のそれぞれとの間の角度は、互いに同じである請求項８に記載のイメージセンサー。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、直接回路装置、特に、イメージセンサーに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ＣＭＯＳイメージセンサーは、相補型金属酸化半導体（ＣｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙＭｅｔａｌ－ＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ，ＣＭＯＳ）を利用した固体撮像素子である。ＣＭＯＳイメージセンサーは、高電圧アナログ回路を有するＣＣＤイメージセンサーと比較して製造単価が低く、素子の大きさが小さいため、消費電力が少ないという長所があって、スマートホン、デジタルカメラなどの携帯用機器をはじめとする家電製品に主にＣＭＯＳイメージセンサーが搭載されている。
【０００３】
ＣＭＯＳイメージセンサーを構成するピクセルアレイ（ｐｉｘｅｌａｒｒａｙ）は、各ピクセル毎にフォトダイオードのようなフォトダイオードを含む。前記フォトダイオードは、入射される光の量に応じて可変する電気信号を生成し、ＣＭＯＳイメージセンサーは、前記電気信号を処理して映像を合成することができる。
【０００４】
近年、高解像度イメージに対する要求に伴い、ＣＭＯＳイメージセンサーを構成するピクセルは小型化が求められている。このような小型化に対する要求が大きくなればなるほど、入射される光が正しく／十分にセンシング（即ち、検出）されなかったり、集積度が大きくなった素子間の干渉によりノイズ（ｎｏｉｓｅ）が発生したりすることがある。
【０００５】
ＣＭＯＳイメージセンサーの小型化にもかかわらず、イメージ品質向上、付加機能の実行などに対する要求が高まっている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
実施例は、より向上した光学的特性を有するイメージセンサーを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一実施例に係るイメージセンサーは、複数のフォトダイオードを有する基板と、前記複数のフォトダイオードの対応する端子に電気的に結合されたそれぞれの電流伝達端子を有する複数の伝送トランジスタと、前記複数の伝送トランジスタのうち前記複数のフォトダイオードに対応する電流伝達端子に電気的に結合された複数のフローティングディフュージョン領域と、前記複数のフローティングディフュージョン領域のうち少なくとも４つを電気的に相互接続するように構成された接続配線と、を含み、前記接続配線は、第１端部および第２端部を有する中心接続部と、中心接続部の前記第１端部に電気的に接続された第１端部および前記複数のフローティングディフュージョン領域のうちの１つである第１フローティングディフュージョン領域に電気的に接続された第２端部を有する第１ブリッジ部と、中心接続部の前記第２端部に電気的に接続された第１端部および前記複数のフローティングディフュージョン領域のうちの１つである第２フローティングディフュージョン領域に電気的に接続された第２端部を有する第２ブリッジ部と、を含み、第１ブリッジ部および中心接続部は、線状であり、第１ブリッジ部の前記第１端部は、平面上で中心接続部の前記第１端部と鈍角で交差する。
【０００８】
一実施例に係るイメージセンサーは、基板と、前記基板内に位置する複数のフォトダイオードと、前記複数のフォトダイオードにそれぞれ接続されている伝送トランジスタと、前記伝送トランジスタを介して少なくとも１つのフォトダイオードに接続されている複数のフローティングディフュージョン領域と、少なくとも４つのフローティングディフュージョン領域を互いに接続する接続配線と、を含み、前記４つのフローティングディフュージョン領域は、長方形状の各頂点に位置し、前記接続配線は、前記長方形状の中心部に位置する中心接続部、および前記中心接続部と前記長方形状の各頂点との間を接続する複数のブリッジ部を含み、前記複数のブリッジ部のうち前記中心接続部の一側端部に接続されている２つのブリッジ部の間の第１角度は鈍角であり、前記長方形状の短辺と前記ブリッジ部との間の角度は、前記短辺と前記長方形状の対角線との間の角度より小さい。
【０００９】
一実施例に係るイメージセンサーは、基板と、前記基板内に位置する複数のフォトダイオードと、前記複数のフォトダイオードにそれぞれ接続されている伝送トランジスタと、前記伝送トランジスタを介して少なくとも２つのフォトダイオードに接続されている複数のフローティングディフュージョン領域と、少なくとも４つのフローティングディフュージョン領域を互いに接続する接続配線と、を含み、前記４つのフローティングディフュージョン領域は、四角形状の各頂点に位置し、前記接続配線の長さは、前記四角形状の２つの対角線の長さの合計より小さい。
【発明の効果】
【００１０】
実施例に係るイメージセンサーの接続配線の長さを減らすことにより、イメージセンサーの光学的特性を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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