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公開番号2024161290
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-15
出願番号2024156550,2022510012
出願日2024-09-10,2021-03-17
発明の名称プローブユニット
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類G01R 1/073 20060101AFI20241108BHJP(測定;試験)
要約【課題】コンタクトプローブ全体の特性インピーダンスを調整することができるプローブユニットを提供すること。
【解決手段】本発明にかかるプローブユニットは、長手方向の一方の端部側で接触対象の電極とそれぞれ接触する第1のコンタクトプローブと、外部のグランドに接続する第2のコンタクトプローブと、第1および第2のコンタクトプローブを保持するプローブホルダと、を備え、プローブホルダには、第1のコンタクトプローブを挿通して保持する第1の中空部と、第2のコンタクトプローブを挿通して保持する第2の中空部と、第1の中空部の周囲に設けられるスルーホールと、が形成され、プローブホルダは、スルーホールを構成するとともに、該スルーホールと第2のコンタクトプローブとを電気的に接続する導電部を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
長手方向の一方の端部側で接触対象の電極とそれぞれ接触する第１のコンタクトプローブと、
外部のグランドに接続する第２のコンタクトプローブと、
前記第１および第２のコンタクトプローブを保持するプローブホルダと、
を備え、
前記プローブホルダには、
前記第１のコンタクトプローブを挿通して保持する第１の中空部と、
前記第２のコンタクトプローブを挿通して保持する第２の中空部と、
前記第１の中空部の周囲に設けられるスルーホールと、
が形成され、
前記プローブホルダは、前記スルーホールを構成するとともに、該スルーホールと前記第２のコンタクトプローブとを電気的に接続する導電部を有する、
ことを特徴とするプローブユニット。
続きを表示（約 940 文字）【請求項２】
前記導電部は、前記スルーホールと、該スルーホールの開口端を形成する表面とに設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載のプローブユニット。
【請求項３】
前記スルーホールは、径が部分的に異なる段付きの孔形状をなす、
ことを特徴とする請求項１または２に記載のプローブユニット。
【請求項４】
前記スルーホールは、中心軸の位置が互いに異なる段付きの孔形状をなす、
ことを特徴とする請求項１～３のいずれか一つに記載のプローブユニット。
【請求項５】
前記プローブホルダは、一つの部材からなる、
ことを特徴とする請求項１～４のいずれか一つに記載のプローブユニット。
【請求項６】
前記プローブホルダは、複数の部材を、前記第１の中空部の貫通方向に積層してなる、
ことを特徴とする請求項１～４のいずれか一つに記載のプローブユニット。
【請求項７】
前記スルーホールは、前記複数の部材にそれぞれ形成される貫通孔によって形成され、
少なくとも一つの部材において、前記貫通孔の径が部分的に異なる段付きの孔形状をなす、
ことを特徴とする請求項６に記載のプローブユニット。
【請求項８】
前記スルーホールは、前記複数の部材にそれぞれ形成される貫通孔によって形成され、
少なくとも一つの部材において、前記貫通孔の中心軸の位置が互いに異なる段付きの孔形状をなす、
ことを特徴とする請求項６または７に記載のプローブユニット。
【請求項９】
前記複数の部材には、前記スルーホールを構成する貫通孔がそれぞれ形成され、
前記スルーホールは、前記部材の積層方向で隣り合う部材に形成される貫通孔の少なくとも一部が、当該貫通孔の貫通方向からみて互いに重なる、
ことを特徴とする請求項６に記載のプローブユニット。
【請求項１０】
前記スルーホールは、貫通方向からみた開口の形状が、長穴形状をなす、
ことを特徴とする請求項１～９のいずれか一つに記載のプローブユニット。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、所定回路構造に対して信号入出力を行うコンタクトプローブを収容するプローブユニットに関するものである。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路や液晶パネルなどの検査対象の導通状態検査や動作特性検査を行う際には、検査対象と検査用信号を出力する信号処理装置との間の電気的な接続を図るコンタクトプローブと、このコンタクトプローブを複数収容するプローブホルダとを備えたプローブユニットが用いられる。
【０００３】
一般に、高周波数の電気信号を入出力する場合には、挿入損失（インサーションロス）と呼ばれる信号の損失が生じる。プローブユニットにおいて、高精度に高速動作させるには、使用する周波数領域において、このインサーションロスを低減することが重要である。例えば、特許文献１には、コンタクトプローブの周囲に空気層を設けて特性インピーダンス整合する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１２－９８２１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１が開示する技術では、コンタクトプローブの中央部のインピーダンスは調整できるものの、先端部や基端部の特性インピーダンスは調整できていない。
【０００６】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、コンタクトプローブ全体の特性インピーダンスを調整することができるプローブユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るプローブユニットは、長手方向の一方の端部側で接触対象の電極とそれぞれ接触する複数の第１のコンタクトプローブと、外部のグランドに接続する第２のコンタクトプローブと、前記第１および第２のコンタクトプローブを保持するプローブホルダと、を備え、前記プローブホルダには、前記第１のコンタクトプローブを挿通して保持する第１の中空部と、前記第２のコンタクトプローブを挿通して保持する第２の中空部と、前記第１の中空部の周囲に設けられるスルーホールと、が形成され、前記プローブホルダは、前記スルーホールを構成するとともに、該スルーホールと前記第２のコンタクトプローブとを電気的に接続する導電部を有する、ことを特徴とする。
【０００８】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記の発明において、前記導電部は、前記スルーホールと、該スルーホールの開口端を形成する表面とに設けられることを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記の発明において、前記スルーホールは、径が部分的に異なる段付きの孔形状をなすことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係るプローブユニットは、上記の発明において、前記スルーホールは、中心軸の位置が互いに異なる段付きの孔形状をなすことを特徴とする。
（【００１１】以降は省略されています）

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