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公開番号2024158888
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-08
出願番号2023074505
出願日2023-04-28
発明の名称気泡状態特定装置、気泡状態特定方法、及び、プログラム
出願人アズビル株式会社
代理人個人
主分類G01N 21/59 20060101AFI20241031BHJP(測定;試験)
要約【課題】気泡状態を精度良く特定する。
【解決手段】気泡状態特定装置10は、それぞれが液体を透過した光の強度をそれぞれ示す複数の光強度データからなる光強度データ群を取得するデータ取得部14Bと、取得された測定データ群に基づいて、光強度を階級とした複数の光強度データの度数分布を生成し、生成した度数分布に基づいて液体の気泡状態を特定する気泡状態特定部14Dと、を備える。気泡状態特定装置10は、測定データ群に基づいて液体の濃度を導出する濃度導出部14Cと、濃度を、気泡状態と気泡状態を原因とする濃度の信頼性との少なくとも一方とともに出力する出力制御部14Eと、をさらに備えてもよい。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
それぞれが液体の気泡状態に応じて異なる値の物理量を示す複数の測定データからなる測定データ群を取得するデータ取得部と、
取得された前記測定データ群に基づいて、前記物理量を階級とした前記複数の測定データの度数分布を生成し、生成した前記度数分布に基づいて前記液体の気泡状態を特定する気泡状態特定部と、
を備える気泡状態特定装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記気泡状態特定部は、前記度数分布の全階級を分割した複数の領域のうち、累積度数の変化度が閾値よりも大きくなった領域の位置に応じて前記気泡状態を特定する、
請求項１に記載の気泡状態特定装置。
【請求項３】
前記複数の測定データは、前記液体を透過した光の強度をそれぞれ示す複数の光強度データであり、
前記気泡状態特定部は、
前記複数の領域のうち、前記液体に気泡が発生していないとしたときに前記複数の光強度データが最も集まる第１領域よりも階級が下の第２領域での前記変化度が前記第２領域に設定された前記閾値を超えたときに前記気泡状態として気泡の多い状態を特定し、
前記複数の領域のうち、前記第１領域と前記第２領域との間の第３領域での前記変化度が前記第３領域に設定された前記閾値を超えていないときに前記気泡状態として気泡の少ない状態を特定し、
前記第３領域での前記変化度が前記第３領域に設定された前記閾値を超えたときに前記気泡状態として気泡の多い状態を特定する、
請求項２に記載の気泡状態特定装置。
【請求項４】
前記気泡状態特定部は、前記複数の領域のうち、前記第１領域よりも階級が上の第４領域での前記変化度が前記第４領域に設定された前記閾値を超えたときに前記気泡状態として気泡の大きい状態を特定する、
請求項３に記載の気泡状態特定装置。
【請求項５】
取得された前記測定データ群に基づいて前記液体の濃度を導出する濃度導出部と、
前記濃度を、前記気泡状態と前記気泡状態を原因とする前記濃度の信頼性との少なくとも一方とともに出力する出力制御部と、をさらに備える、
請求項１に記載の気泡状態特定装置。
【請求項６】
前記出力制御部は、前記気泡状態に基づいて、前記濃度が信頼性の高い正常値である旨と、前記濃度が信頼性の低い異常値である旨と、前記濃度が信頼性に注意を要する要注意値である旨と、のいずれかを前記信頼性として出力する、
請求項５に記載の気泡状態特定装置。
【請求項７】
それぞれが液体の気泡状態に応じて異なる値の物理量を示す複数の測定データからなる測定データ群を取得するデータ取得ステップと、
取得された前記測定データ群に基づいて、前記物理量を階級とした前記複数の測定データの度数分布を生成し、生成した前記度数分布に基づいて前記液体の気泡状態を特定する気泡状態特定ステップと、
を備える気泡状態特定方法。
【請求項８】
コンピュータに、
それぞれが液体の気泡状態に応じて異なる値の物理量を示す複数の測定データに基づいて、前記物理量を階級とした前記複数の測定データの度数分布を生成し、生成した前記度数分布に基づいて前記液体の気泡状態を特定する気泡状態特定ステップを実行させる、
プログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体に生じた気泡の状態を特定する気泡状態特定装置、気泡状態特定方法、及び、プログラムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体のエッチング液や洗浄液といった水溶液の濃度を測定する液体濃度計が知られている。特許文献１には、光源が出射する特定波長の光と、分光部により分光された特定波長の光の強度とに基づく吸光度を導出し、導出した吸光度に基づいて液体の濃度を測定する技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１２４３８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
液体の濃度測定には、液体内に生じた気泡が悪影響を及ぼすことがある。このようなことを考えると、液体内の気泡状態の把握は重要である。
【０００５】
本発明は、気泡状態を精度良く特定することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る気泡状態特定装置は、それぞれが液体の気泡状態に応じて異なる値の物理量を示す複数の測定データからなる測定データ群を取得するデータ取得部と、取得された前記測定データ群に基づいて、前記物理量を階級とした前記複数の測定データの度数分布を生成し、生成した前記度数分布に基づいて前記液体の気泡状態を特定する気泡状態特定部と、を備える。
【０００７】
一例として、前記気泡状態特定部は、前記度数分布の全階級を分割した複数の領域のうち、累積度数の変化度が閾値よりも大きくなった領域の位置に応じて前記気泡状態を特定する、ようにしてもよい。
【０００８】
一例として、前記複数の測定データは、前記液体を透過した光の強度をそれぞれ示す複数の光強度データであり、前記気泡状態特定部は、前記複数の領域のうち、前記液体に気泡が発生していないとしたときに前記複数の光強度データが最も集まる第１領域よりも階級が下の第２領域での前記変化度が前記第２領域に設定された前記閾値を超えたときに前記気泡状態として気泡の多い状態を特定し、前記複数の領域のうち、前記第１領域と前記第２領域との間の第３領域での前記変化度が前記第３領域に設定された前記閾値を超えていないときに前記気泡状態として気泡の少ない状態を特定し、前記第３領域での前記変化度が前記第３領域に設定された前記閾値を超えたときに前記気泡状態として気泡の多い状態を特定する、ようにしてもよい。
【０００９】
一例として、前記気泡状態特定部は、前記複数の領域のうち、前記第１領域よりも階級が上の第４領域での前記変化度が前記第４領域に設定された前記閾値を超えたときに前記気泡状態として気泡の大きい状態を特定する、ようにしてもよい。
【００１０】
一例として、上記の気泡状態特定装置は、取得された前記測定データ群に基づいて前記液体の濃度を導出する濃度導出部と、前記濃度を、前記気泡状態と前記気泡状態を原因とする前記濃度の信頼性との少なくとも一方とともに出力する出力制御部と、をさらに備える、ようにしてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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