特許ウォッチ

公開番号2024134493
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-03
出願番号2023141452
出願日2023-08-31
発明の名称基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラム
出願人株式会社KOKUSAI ELECTRIC
代理人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20240926BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】レシピ編集時における作業効率を向上させることが可能な技術を提供する。
【解決手段】基板の処理条件を定義したステップを少なくとも1つ有するレシピにより前記基板を処理する処理部と、前記処理条件に少なくとも1つ含まれる設定項目に対する編集操作を受け付ける操作部と、編集操作された前記処理条件に合わせて、前記設定項目の設定値に対する制御値を演算する演算部と、前記ステップの情報と共に、前記演算部が演算した制御値の時系列データを表示させるように表示部を制御可能に構成された制御部と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板の処理条件を定義したステップを少なくとも１つ有するレシピにより前記基板を処理する処理部と、
前記処理条件に少なくとも１つ含まれる設定項目に対する編集操作を受け付ける操作部と、
編集操作された前記処理条件に合わせて、前記設定項目の設定値に対する制御値を演算する演算部と、
前記ステップの情報と共に、前記演算部が演算した制御値の時系列データを表示させるように表示部を制御することが可能に構成された制御部と、
を備えた基板処理装置。
続きを表示（約 980 文字）【請求項２】
前記操作部は、前記設定項目の編集操作中に前記制御値の演算を前記制御部に指示する、
請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記操作部は、前記制御値の演算を行う種別情報の選択を受け付ける、
請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記種別情報は、温度、ガス流量、圧力、及び搬送機構の情報の内、少なくともいずれ
か一つを含む、
請求項３に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記演算部は、前記ステップの実行順序を、前記レシピにおいて設定された実行順序から、前記基板を処理する実動作に合わせて入れ替える、
請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記レシピを記憶する記憶部を更に備え、
前記演算部は、前記制御値の時系列データを、前記基板を処理する実動作に合わせて入れ替えられた前記ステップの前記実行順序に対応付けて前記記憶部に記憶する、
請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記表示部は、前記制御値の時系列データを表示する画面を備え、
前記表示部は、前記画面に前記制御値の時系列データを前記ステップの前記実行順序に
合わせて表示する、
請求項１～５のいずれか１項に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記画面は、前記制御値の時系列データを表示する第１表示領域、前記ステップの情報
を前記実行順序に合わせて表示する第２表示領域、及び、前記処理条件を表示する第３表示領域の少なくともいずれか一つを備える、
請求項７に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記第３表示領域は、選択された前記設定項目と、選択された前記設定項目の設定値に対する前記制御値の少なくともいずれか一つを表示する、
請求項８に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記表示部は、前記制御値の時系列データを、前記レシピで前記基板を処理した結果であるレシピ実行結果と合わせて、前記制御値の時系列データと、前記レシピ実行結果とを比較可能に表示する、
請求項１に記載の基板処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びプログラムに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
基板処理装置においては、基板に所望の処理を行うために、最適なレシピを作成する必要がある。例えば、特許文献１には、レシピ編集画面を表示してレシピを作成する際に、処理を時分割し、分割した区分毎に対応する処理条件を設定する技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－７７２８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、レシピの編集は、ステップ毎に各種パラメータの設定を行う場合が多く、編集後のレシピから時系列でのパラメータを算出した制御値の変化を把握することが難しい。このため、レシピ編集時における作業効率の低下につながる場合がある。
【０００５】
本開示は、レシピ編集時における作業効率を向上させることが可能な技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様によれば、基板の処理条件を定義したステップを少なくとも１つ有するレシピにより前記基板を処理する処理部と、前記処理条件に少なくとも１つ含まれる設定項目に対する編集操作を受け付ける操作部と、編集操作された前記処理条件に合わせて、前記設定項目の設定値に対する制御値を演算する演算部と、前記ステップの情報と共に、前記演算部が演算した制御値の時系列データを表示させるように表示部を制御可能に構成された制御部と、を備える技術が提供される。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、レシピ編集時における作業効率を向上させることができる、という効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
一実施形態に係る基板処理装置の一例を示す斜視図である。
一実施形態に係る基板処理装置を側面から見たときの断面図である。
一実施形態に係る基板処理装置が備える制御装置の機能的な構成の一例を示すブロック図である。
一実施形態に係るレシピ編集画面の一例を示す正面図である。
一実施形態に係るアイテム種別選択画面の一例を示す正面図である。
一実施形態に係る演算結果表示画面の一例を示す正面図である。
一実施形態に係るシミュレーション処理の流れの一例を示すフローチャートである。
図７に示すステップＳ１０２のシミュレート実行処理の流れの一例を示すサブルーチンである。
他の実施形態に係る演算結果表示画面の一例を示す正面図である。
他の実施形態に係る演算結果表示画面の一例を示す正面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
＜本開示の一態様＞
以下、本開示の一態様について、主に図１～図８を参照しつつ説明する。なお、以下の説明において用いられる図面は、いずれも模式的なものであり、図面に示される、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は、現実のものとは必ずしも一致していない。また、複数の図面の相互間においても、各要素の寸法の関係、各要素の比率等は必ずしも一致していない。また、本開示は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本開示の範囲内において、適宜変更を加えて実施することができる。
【００１０】
まず、図１及び図２を参照して、本実施形態に係る基板処理装置の概要について説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許