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公開番号2024132555
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-01
出願番号2023043367
出願日2023-03-17
発明の名称フレキシャおよびディスク装置用サスペンション
出願人日本発條株式会社
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類G11B 21/21 20060101AFI20240920BHJP(情報記憶)
要約【課題】信頼性を向上させることが可能なフレキシャを提供する。
【解決手段】フレキシャは、第1メタルベースと、前記第1メタルベースに重なる配線部と、を有する。前記フレキシャは、前記第1メタルベースを有する本体部と、アクチュエータと電気的に接続される端子部と、前記本体部と前記端子部とをつなぎ、前記第1メタルベースを有しない接続部と、を有する。前記配線部は、前記本体部、前記接続部および前記端子部にわたり形成され、前記第1メタルベースに向かい合う第1面と、前記第1面の反対側の第2面と、を有するベース絶縁層と、前記第2面に設けられた導体層と、前記導体層を覆うカバー絶縁層と、を有する。前記カバー絶縁層は、前記接続部に設けられた第1カバー部分を有し、前記ベース絶縁層は、前記接続部に設けられ、前記第1カバー部分の厚さよりも小さい厚さを有する第1ベース部分を有する。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
第１メタルベースと、前記第１メタルベースに重なる配線部と、を有するフレキシャであって、
前記第１メタルベースを有する本体部と、
アクチュエータと電気的に接続される端子部と、
前記本体部と前記端子部とをつなぎ、前記第１メタルベースを有しない接続部と、を有し、
前記配線部は、
前記本体部、前記接続部および前記端子部にわたり形成され、前記第１メタルベースに向かい合う第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、を有するベース絶縁層と、
前記第２面に設けられた導体層と、
前記導体層を覆うカバー絶縁層と、を有し、
前記カバー絶縁層は、前記接続部に設けられた第１カバー部分を有し、
前記ベース絶縁層は、前記接続部に設けられ、前記第１カバー部分の厚さよりも小さい厚さを有する第１ベース部分を有する、
フレキシャ。
続きを表示（約 890 文字）【請求項２】
前記ベース絶縁層は、前記本体部に設けられ、前記第１ベース部分の厚さよりも大きい厚さを有する第２ベース部分を有する、
請求項１に記載のフレキシャ。
【請求項３】
前記ベース絶縁層は、前記端子部に設けられ、前記第１ベース部分の厚さよりも大きい厚さを有する第３ベース部分を有する、
請求項２に記載のフレキシャ。
【請求項４】
前記カバー絶縁層は、前記本体部、前記接続部および前記端子部に形成された第１層と、前記接続部に形成され、前記第１層に重ねられた第２層と、を有する、
請求項１に記載のフレキシャ。
【請求項５】
前記カバー絶縁層は、前記本体部に設けられ、前記第１カバー部分の厚さよりも大きい厚さを有する第２カバー部分を有する、
請求項１に記載のフレキシャ。
【請求項６】
前記カバー絶縁層は、前記端子部に設けられ、前記第１カバー部分の厚さよりも大きい厚さを有する第３カバー部分を有する、
請求項５に記載のフレキシャ。
【請求項７】
ロードビームと、
前記ロードビームに重なる、請求項１乃至６のいずれか１項に記載のフレキシャと、
前記端子部と電気的に接続されるアクチュエータと、を備える、
ディスク装置用サスペンション。
【請求項８】
接着部材をさらに備え、
前記アクチュエータは、前記第１面に向かい合う電極を有し、
前記接着部材は、前記電極と前記端子部に位置する前記導体層とを電気的に接続する、
請求項７に記載のディスク装置用サスペンション。
【請求項９】
前記フレキシャは、前記端子部に位置する前記ベース絶縁層と前記電極との間に位置する第２メタルベースをさらに有し、
前記第２メタルベースおよび前記端子部に位置する前記ベース絶縁層には、前記電極と前記導体層とをつなぐ貫通孔が形成されている、
請求項８に記載のディスク装置用サスペンション。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシャおよびディスク装置用サスペンションに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータなどの情報処理装置には、ディスク装置が使用されている。ディスク装置は、スピンドルを中心に回転する磁気ディスク、ピボット軸を中心に旋回するキャリッジなどを含んでいる。キャリッジのアームにディスク装置用サスペンションが設けられている。ディスク装置用サスペンションは、ベースプレート、ロードビーム、ロードビームに沿って配置されたフレキシャなどを備えている。
【０００３】
フレキシャの先端付近に形成されたジンバル部には、スライダが設けられている。スライダには、ディスクに記録されたデータの読取りや書込みのアクセスを行なうための素子が設けられている。ディスクの記録密度を大きくするには、ディスクの記録面に対して磁気ヘッドをさらに高速かつ高精度に位置決めできるようにすることが必要である。
【０００４】
磁気ヘッドの位置決め精度向上を目的として、ポジショニング用モータ（ボイスコイルモータ）とベースプレート側に搭載されたアクチュエータとを併用するＤＳＡ（ＤｕａｌＳｔａｇｅＡｃｔｕａｔｏｒ）サスペンション、さらに磁気ヘッド側にアクチュエータが搭載されたＴＳＡ（ＴｒｉｐｌｅＳｔａｇｅＡｃｔｕａｔｏｒ）サスペンションが知られている。
【０００５】
従来、アクチュエータへの給電に関しては、様々な提案がなされている。特許文献１には、例えば、アクチュエータとして機能する圧電素子への電気的接続構造が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特許第５３１８７０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述の特許文献１を踏まえても、圧電素子とフレキシャとの接続に関しては、未だに種々の改善の余地がある。そこで、本発明は、信頼性を向上させることが可能なフレキシャおよびディスク装置用サスペンションを提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
一実施形態に係るフレキシャは、第１メタルベースと、前記第１メタルベースに重なる配線部と、を有する。前記フレキシャは、前記第１メタルベースを有する本体部と、アクチュエータと電気的に接続される端子部と、前記本体部と前記端子部とをつなぎ、前記第１メタルベースを有しない接続部と、を有する。
【０００９】
前記配線部は、前記本体部、前記接続部および前記端子部にわたり形成され、前記第１メタルベースに向かい合う第１面と、前記第１面の反対側の第２面と、を有するベース絶縁層と、前記第２面に設けられた導体層と、前記導体層を覆うカバー絶縁層と、を有する。前記カバー絶縁層は、前記接続部に設けられた第１カバー部分を有し、前記ベース絶縁層は、前記接続部に設けられ、前記第１カバー部分の厚さよりも小さい厚さを有する第１ベース部分を有する。
【００１０】
前記ベース絶縁層は、前記本体部に設けられ、前記第１ベース部分の厚さよりも大きい厚さを有する第２ベース部分を有してもよい。前記ベース絶縁層は、前記端子部に設けられ、前記第１ベース部分の厚さよりも大きい厚さを有する第３ベース部分を有してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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