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公開番号2024123965
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-12
出願番号2023031819
出願日2023-03-02
発明の名称感光性ペースト
出願人株式会社村田製作所
代理人個人,個人,個人
主分類G03F 7/031 20060101AFI20240905BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】フォトマスクを介して活性エネルギー線を照射して現像した時に、配線パターンの幅がフォトマスクの幅に近い感光性ペーストを提供する。
【解決手段】感光性ペーストは、無機粉末と、光重合性モノマーと、アルカリ可溶性ポリマーと、ジフェニルスルフィド基を有するオキシムエステル系開始剤と、を含む。
【選択図】図3B
特許請求の範囲【請求項１】
無機粉末と、
光重合性モノマーと、
アルカリ可溶性ポリマーと、
ジフェニルスルフィド基を有するオキシムエステル系開始剤と、
を含む感光性ペースト。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記無機粉末は、導電性粉末を有する、請求項１に記載の感光性ペースト。
【請求項３】
前記無機粉末は、Ａｇを有する、請求項１または２に記載の感光性ペースト。
【請求項４】
前記ＡｇのＤ５０は、５．０μｍ以下である、請求項３に記載の感光性ペースト。
【請求項５】
前記オキシムエステル系開始剤は、＝Ｎ－Ｏ－ＣＯ－Ｒ
１
基を有し、
Ｒ
１
は、炭素数１以上３以下のアルキル基である、請求項１または２に記載の感光性ペースト。
【請求項６】
前記オキシムエステル系開始剤は、式（１）：
TIFF
2024123965000017.tif
37
114
で表される、請求項１または２に記載の感光性ペースト。
［式中：
Ｒ
１
は、炭素原子数１以上３以下のアルキル基であり；
Ｒ
２
は、１価の有機基であり；
Ｒ
３
は、それぞれ独立して、１価の有機基であり；
Ｘは、それぞれ独立して、２価の有機基であり；
ｍは、１以上５以下の整数であり；
ｎは、０以上５以下の整数である。］
【請求項７】
Ｒ
１
は、メチル基であり、
Ｒ
２
は、メチル基であり、
Ｒ
３
は、－Ｏ－ＣＨ
２
ＣＨ
２
－ＯＨであり、
Ｘは、－ＣＯ－であり、
ｍは、１であり、
ｎは、１である、請求項６に記載の感光性ペースト。
【請求項８】
活性エネルギー線を照射した際の厚みＤμｍと幅Ｌμｍとの比Ｄ／Ｌは０．６以上であるという特性を有し、
前記幅Ｌは、請求項１に記載の感光性ペーストより形成された感光性ペースト膜上にフォトマスクを設け、前記活性エネルギー線を照射して現像した際の、前記フォトマスクの開口部の幅と前記感光性ペースト膜の硬化部分の幅との間の差異であり、
前記厚みＤは、第１面および前記第１面と反対側の第２面を有する透光性を有する基板の前記第１面上に、請求項１に記載の感光性ペーストを塗布して乾燥することにより形成された感光性ペースト膜に対して、前記透光性を有する基板の前記第１面の法線方向から活性エネルギー線を照射したのち現像して形成された前記感光性ペースト膜の硬化部分の厚みである、請求項１に記載の感光性ペースト。
【請求項９】
さらに有機溶剤を有する、請求項１または２に記載の感光性ペースト。
【請求項１０】
請求項２に記載の感光性ペーストを絶縁シート上に塗布して、感光性ペースト膜を形成する工程と、
前記感光性ペースト膜の一部に活性エネルギー線を照射する工程と、
前記感光性ペースト膜の未硬化の部分を除去して配線パターンを形成する工程と、を備える、配線パターンの形成方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性ペーストに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、感光性ペーストにおいて、高遮蔽系の重合開始剤として、オキシムエステル系の化合物を用いてきた。例えば、特開２０１７－１８２９０１号公報（特許文献１）には、無機粉末と、光重合性モノマーと、アルカリ可溶性ポリマーと、オキシムエステル系開始剤等の感光剤とを含む感光性ペーストが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１８２９０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、従来技術に記載されているオキシムエステル系開始剤を含む感光性ペーストに、紫外線等の活性エネルギー線を照射して配線パターンを形成すると、特に、厚みの大きな配線パターンを形成する場合に、配線パターンの幅も広くなってしまうことがあった。これは、活性照射方向に活性エネルギー線が広がるだけでなく、照射方向に垂直な方向にも活性エネルギー線が広がり、配線パターンの幅が広くなってしまうためと考えられている。
【０００５】
そこで、本発明の目的の１つは、フォトマスクを介して活性エネルギー線を照射して現像した時に、配線パターンの幅がフォトマスクの幅に近い感光性ペーストを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を解決するため、本開示の一態様によると、
無機粉末と、
光重合性モノマーと、
アルカリ可溶性ポリマーと、
ジフェニルスルフィド基を有するオキシムエステル系開始剤と、
を含む感光性ペーストを提供することにある。
【０００７】
上記態様を有することにより、エネルギー線の照射方向に垂直な方向への活性エネルギー線の広がりを低減できつつ、照射方向への活性エネルギー線の広がりが大きいラジカルを形成できる感光性ペーストを提供することができる。
【０００８】
本開示の一態様である配線パターンの形成方法は、
導電性を有する上記の感光性ペーストを絶縁シート上に塗布して、感光性ペースト膜を形成する工程と、
前記感光性ペースト膜の一部に活性エネルギー線を照射する工程と、
前記感光性ペースト膜の未硬化の部分を除去して配線パターンを形成する工程と、を備える。
【０００９】
前記実施形態によれば、所望の形状を有する配線パターンが得られる。
【００１０】
本開示の一態様である電子部品の製造方法は、
導電性を有する上記の感光性ペーストを絶縁シート上に塗布して、感光性ペースト膜を形成する工程と、
前記感光性ペースト膜の一部に活性エネルギー線を照射する工程と、
前記感光性ペースト膜の未硬化の部分を除去して、配線パターンを形成する工程と、
前記配線パターン上に絶縁シートを積層する工程と、
前記配線パターンおよび前記絶縁シートを焼成して、複数の前記絶縁シートの焼結体としての複数の絶縁層、および、前記配線パターンの焼結体としての内部配線を得る工程と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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