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公開番号2024120272
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-05
出願番号2023026946
出願日2023-02-24
発明の名称電子部品、および電子部品の検査方法
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類G01P 21/00 20060101AFI20240829BHJP(測定;試験)
要約【課題】電子部品に対して衝撃が加えられた工程を特定可能とする。
【解決手段】
Z軸方向を含む方向に錘10が変位したときに、第2部材42が変形した後に第1部材41と第2部材42とが接触する接触状態となる。この接触状態は維持される。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
初期位置から変位する可動部材と、
変位した前記可動部材を前記初期位置に戻す方向に、前記可動部材に付勢力を加える付勢部材と、
前記可動部材に設けられた可動電極と、
前記可動電極の所定方向側に設けられた固定電極と、
前記可動電極と前記固定電極との間の静電容量を検出する検出回路と、
前記可動部材に設けられた第１部材と、
前記第１部材の前記所定方向側に設けられた第２部材と、を備え、
前記所定方向を含む方向に前記可動部材が変位したときに、前記第１部材と前記第２部材とのうち少なくとも一方が変形した後に前記第１部材と前記第２部材とが接触する接触状態となり、
前記接触状態は維持される、電子部品。
続きを表示（約 850 文字）【請求項２】
前記第１部材は、第１面を有し、
前記第２部材は、前記接触状態であるときに、前記第１面と接触する第２面を有し、
前記接触状態は、前記付勢力により維持される、請求項１に記載の電子部品。
【請求項３】
前記第１面および前記第２面は平面である、請求項２に記載の電子部品。
【請求項４】
前記第１部材および前記第２部材のいずれかの一方の部材は、前記所定方向に沿って細くなる第１テーパ部を有する、請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の電子部品。
【請求項５】
前記第１部材および前記第２部材のいずれかの他方の部材は、
前記一方の部材が貫通する孔部と、
前記第１テーパ部と接し、かつ前記一方の部材が前記孔部を貫通するように案内する第２テーパ部とを有する、請求項４に記載の電子部品。
【請求項６】
前記第１部材および前記第２部材のいずれかの一方の部材は、
前記第１部材および前記第２部材のいずれかの他方の部材が貫通する孔部と、
前記一方の部材と接し、かつ前記一方の部材が前記孔部を貫通するように案内する第２テーパ部とを有する、請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の電子部品。
【請求項７】
前記一方の部材は、前記第１テーパ部の頂部を有する、請求項４に記載の電子部品。
【請求項８】
前記電子部品は、前記所定方向に沿って並ぶ複数の前記第１部材を有する、請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の電子部品。
【請求項９】
前記電子部品は、前記所定方向に沿って並ぶ複数の前記第２部材を有する、請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の電子部品。
【請求項１０】
前記検出回路は、所定値の前記静電容量を検出したときに、前記接触状態を検出する、請求項１～請求項３のいずれか１項に記載の電子部品。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、電子部品、および電子部品の検査方法に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
たとえば、特開２０１９－０４９４３４号公報（特許文献１）には、静電容量型の加速度センサが開示されている。この加速度センサは、錘と、可動電極と、固定電極とを備える。錘は、加速度センサに加えられる加速度に応じて変位する。可動電極は、錘に設置されている。錘の変位に応じて、可動電極も変位する。そして、加速度センサは、可動電極と、固定電極との間の静電容量に基づいて加速度を検出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－０４９４３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
以下では、製造途中の加速度センサ、および完成した加速度センサはまとめて「電子部品」とも称される。電子部品の製造工程は、該電子部品に対して大きな衝撃が加えられ得る工程を含む。たとえば、電子部品の製造者などは、電子部品に対して大きな衝撃が加えられた工程を特定したい場合がある。従来の電子部品においては、電子部品の製造者などは、電子部品に対して大きな衝撃が加えられた工程を特定することができなかった。
【０００５】
本開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであって、その目的は、電子部品に対して衝撃が加えられた工程を特定可能とすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の電子部品は、可動部材と、付勢部材と、可動電極と、固定電極と、検出回路と、第１部材と、第２部材と、を備える。可動部材は、初期位置から変位する。付勢部材は、変位した可動部材を初期位置に戻す方向に、可動部材に付勢力を加える。可動電極は、可動部材に設けられている。固定電極は、可動電極の所定方向側に設けられている。検出回路は、可動電極と固定電極との間の静電容量を検出する。第１部材は、可動部材に設けられている。第２部材は、第１部材の所定方向側に設けられている。所定方向を含む方向に可動部材が変位したときに、第１部材と第２部材とのうち少なくとも一方が変形した後に第１部材と第２部材とが接触する接触状態となる。接触状態は維持される。
【０００７】
本開示の電子部品の検査方法は、電子部品を準備することを備える。電子部品は、可動部材と、付勢部材と、可動電極と、固定電極と、検出回路と、第１部材と、第２部材と、を備える。可動部材は、初期位置から変位する。付勢部材は、変位した可動部材を初期位置に戻す方向に、可動部材に付勢力を加える。可動電極は、可動部材に設けられている。固定電極は、可動電極の所定方向側に設けられている。検出回路は、可動電極と固定電極との間の静電容量を検出する。第１部材は、可動部材に設けられている。第２部材は、第１部材の所定方向側に設けられている。所定方向を含む方向に可動部材が変位したときに、第１部材と第２部材とのうち少なくとも一方が変形した後に第１部材と第２部材とが接触する接触状態となる。接触状態は維持される。検査方法は、可動電極と固定電極との間の静電容量を検出することを備える。また、検査方法は、静電容量が所定値である場合に、電子部品に衝撃力が加えられたと判定することを備える。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、電子部品に対して衝撃が加えられた工程を特定可能とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、ＭＥＭＳセンサのブロック図である。
図２は、ＭＥＭＳの構成例を説明するための図である。
図３は、初期状態を示す図である。
図４は、当接状態を示す図である。
図５は、変形状態を示す図である。
図６は、面接触状態を示す図である。
図７は、面接触状態であるときの可動電極および固定電極を示す図である。
図８は、シンギュレーション工程の一例を示す図である。
図９は、搬送工程の一例を示す図である。
図１０は、検査方法のフローチャートである。
図１１は、衝撃工程を経ていない複数の電子部品の正規分布を示す図である。
図１２は、衝撃工程を経た複数の電子部品の正規分布を示す図である。
図１３は、第２実施形態の維持機構の一例を示す図である。
図１４は、第３実施形態の維持機構の一例を示す図である。
図１５は、変形例の第１部材を示す図である。
図１６は、変形例の第１部材を示す図である。
図１７は、変形例の第２部材を示す図である。
図１８は、変形例の第２部材を示す図である。
図１９は、変形例の初期状態を示す図である。
図２０は、変形例の変形状態を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。
（【００１１】以降は省略されています）

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