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公開番号2024108722
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-13
出願番号2023013243
出願日2023-01-31
発明の名称製造装置
出願人株式会社PFA,本田技研工業株式会社
代理人個人
主分類G02B 7/00 20210101AFI20240805BHJP(光学)
要約【課題】より短時間に、より確実に調整する。
【解決手段】製造装置は、受光部の受光素子の受光面の複数の部分の領域をそれぞれに撮像する第1の撮像手段と、第1の撮像手段の位置を変位させる撮像変位手段と、それぞれ所定の位置から撮像された、受光面の複数の部分の領域のそれぞれの画像のフォーカスの位置から、フレームに対する受光面の角度であって、反射光の光路に対するあおり方向の角度を算出する受光面あおり角度算出手段と、算出された受光面の角度から、フレームに対する所望の角度に受光部を変位させる受光部変位手段とを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
レーザー光を所定の範囲に含まれる複数の位置のそれぞれに向けて照射する投光部、前記レーザー光の反射光を受光素子の受光面で受光する受光部並びに前記投光部および前記受光部を支えるフレームを含むセンサの前記フレームに対する前記投光部および前記受光部の位置および角度を調整して前記センサを製造する製造装置において、
前記受光部の前記受光素子の前記受光面の複数の部分の領域をそれぞれに撮像する第１の撮像手段と、
前記第１の撮像手段の位置を変位させる撮像変位手段と、
それぞれ所定の位置から撮像された、前記受光面の複数の部分の領域のそれぞれの画像のフォーカスの位置から、前記フレームに対する前記受光面の角度であって、前記反射光の光路に対するあおり方向の角度を算出する受光面あおり角度算出手段と、
算出された前記受光面の角度から、前記フレームに対する所望の角度に前記受光部を変位させる受光部変位手段と、
前記投光部から照射されたレーザー光を前記受光部の前記受光素子の前記受光面に向かって反射する反射手段と、
前記投光部から前記反射手段までの前記レーザー光の光路および前記反射手段から前記受光部までの前記レーザー光の前記反射光の光路を外れた位置に設けられている、前記受光部の前記受光素子の前記受光面を撮像する第２の撮像手段と、
前記第２の撮像手段で撮像された前記受光面の画像から、前記フレームに対する前記受光面の位置および角度を算出する受光面位置／角度算出手段と
を含み、
前記受光部変位手段は、前記受光面位置／角度算出手段で算出された前記受光部の前記受光面の位置および角度から、前記フレームに対する所望の位置または角度に前記受光部を変位させ、
さらに、前記第２の撮像手段で撮像された前記受光面の画像であって、前記受光面上の複数の点に、前記投光部から照射されて前記反射手段で反射された前記レーザー光の前記反射光が入射している前記受光面の画像から、前記フレームに対する前記投光部の位置および角度を算出する投光部位置／角度算出手段と、
前記投光部位置／角度算出手段で算出された前記投光部の位置および角度から、前記フレームに対する所望の位置または角度に前記投光部を変位させる投光部変位手段と
を含む製造装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は製造装置に関し、特に、センサを製造するための製造装置に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
レーザー光を対象に照射して、対象からの反射光を受光するまでの時間を計測し、対象までの距離を求めるLiDAR（Light Detection and Ranging、Laser Imaging Detection and Ranging）が自動車に採用されるようになってきた。
【０００３】
車速に応じて検知対象とする距離を設定し、その距離だけ離れた位置に路面に垂直なサーチ面を定義して、サーチ面における路面との距離が所定値以下である領域におけるレーザー光の照射密度を他の領域よりも高くするLiDAR装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、シャインプルーフ光学系を用いた光学式変位センサの投光ビームの調整方法が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２２－５２２７０号公報
特開２０１２－７８１５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、レーザー光を照射する位置および角度並びにレーザー光の反射光の受光の位置および角度を調整することは極めて困難であり、手間がかかり、また時間がかかる。
【０００７】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、より短時間に、より確実に調整できるようにするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面の製造装置は、レーザー光を所定の範囲に含まれる複数の位置のそれぞれに向けて照射する投光部、レーザー光の反射光を受光素子の受光面で受光する受光部並びに投光部および受光部を支えるフレームを含むセンサのフレームに対する投光部および受光部の位置および角度を調整してセンサを製造する製造装置であって、受光部の受光素子の受光面の複数の部分の領域をそれぞれに撮像する第１の撮像手段と、第１の撮像手段の位置を変位させる撮像変位手段と、それぞれ所定の位置から撮像された、受光面の複数の部分の領域のそれぞれの画像のフォーカスの位置から、フレームに対する受光面の角度であって、反射光の光路に対するあおり方向の角度を算出する受光面あおり角度算出手段と、算出された受光面の角度から、フレームに対する所望の角度に受光部を変位させる受光部変位手段と、投光部から照射されたレーザー光を受光部の受光素子の受光面に向かって反射する反射手段と、投光部から反射手段までのレーザー光の光路および反射手段から受光部までのレーザー光の反射光の光路を外れた位置に設けられている、受光部の受光素子の受光面を撮像する第２の撮像手段と、第２の撮像手段で撮像された受光面の画像から、フレームに対する受光面の位置および角度を算出する受光面位置／角度算出手段とを含み、受光部変位手段は、受光面位置／角度算出手段で算出された受光部の受光面の位置および角度から、フレームに対する所望の位置または角度に受光部を変位させ、さらに、第２の撮像手段で撮像された受光面の画像であって、受光面上の複数の点に、投光部から照射されて反射手段で反射されたレーザー光の反射光が入射している受光面の画像から、フレームに対する投光部の位置および角度を算出する投光部位置／角度算出手段と、投光部位置／角度算出手段で算出された投光部の位置および角度から、フレームに対する所望の位置または角度に投光部を変位させる投光部変位手段とを含む。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように、本発明によれば、より短時間に、より確実に調整できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の実施の形態のアライメント装置１１の構成の概要を説明する図である。
ワーク１０１の構成の例を示す図である。
制御部２５のハードウェアの構成の例を示す図である。
プログラムを実行する制御部２５により実現される機能の構成の例を示すブロック図である。
位置の調整の処理を説明するフローチャートである。
受光部保持部３５による受光部１２３の保持および投光部グリッパ３４による投光部１２２の保持の状態を説明する図である。
受光部の受光面の位置の調整の処理の詳細を説明するフローチャートである。
顕微鏡カメラ８１の動作を説明する図である。
顕微鏡カメラ８１が撮像する領域を説明する図である。
フォーカス評価値と受光面５０２の傾きを説明する図である。
受光部の受光面の位置の微調整の処理の詳細を説明するフローチャートである。
アライメントカメラ８２の配置を説明する図である。
アライメントカメラ８２で撮像される画像のあおり補正を説明する図である。
アライメントカメラ８２で撮像された受光部１２３の受光素子５０１の受光面５０２の画像の例を示す図である。
アライメントカメラ８２で撮像された受光部１２３の受光素子５０１の受光面５０２の画像の例を示す図である。
投光部の位置の調整の処理の詳細を説明するフローチャートである。
投光部１２２から照射されてミラー２４で反射されたレーザー光の反射光が入射している受光面５０２の画像の例を示す図である。
受光部および投光部の接着の処理の詳細を説明するフローチャートである。
接着剤１４１－１乃至接着剤１４１－５の塗布の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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