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公開番号2024100640
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-26
出願番号2023032586
出願日2023-03-03
発明の名称注液装置
出願人辛耘企業股フン有限公司
代理人弁理士法人あーく事務所
主分類B05C 5/00 20060101AFI20240719BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】作動流体の移送・注入停止後やノズル移動過程での液だれ・液漏れを確実に回避可能にする注液装置を提供する。
【解決手段】この注液装置はノズル、可動部材、制御弁を含み、ノズルは流路、バイパス通路、サックバック通路を有し、流路はノズルを貫通することで作動流体を移送・注入し、流路は液体排出口を有し、バイパス通路は第一ポート、導通位置、断流位置を有し、サックバック通路は第一ポートと液体排出口の間に位置する第二ポートを有し、第一ポートと第二ポートはそれぞれ流路と連通し、可動部材はバイパス通路内に設けられ、制御弁はノズルに設けられ、かつ流路の開閉のため可動部材を導通位置と断流位置の間で切り替えるのを制御し、可動部材が断流位置にある時、サックバックポンプで第一ポートと液体排出口の間に残留する作動流体を吸い戻す。これにより、ノズルは作動流体の移送・注入停止後やノズル移動過程でも液だれ・液漏れを回避できる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
注液装置であって、少なくとも１つの作動流体を移送・注入するのに用いられ、前記注液装置は、
少なくとも１つの流路、少なくとも１つのバイパス通路及び少なくとも１つのサックバック通路を有し、前記流路が貫通しており、かつ前記作動流体の移送・注入に用いられ、前記流路の末端には液体排出口が形成されており、前記バイパス通路は第一ポート、導通位置及び断流位置を有し、前記サックバック通路は第二ポートを有し、前記第一ポート及び前記第二ポートはそれぞれ前記流路と連通し、前記第二ポートが前記第一ポート及び前記液体排出口の間に位置するノズルと、
前記バイパス通路内に設置されている少なくとも１つの可動部材と、
前記ノズルの片側に設置され、前記流路を開閉するために前記可動部材を前記導通位置及び前記断流位置の間で切り替えるのを制御するのに用いられる制御弁と、
前記サックバック通路と接続されているサックバックポンプとを含み、
その中で、前記可動部材が前記断流位置にある時、前記サックバックポンプが前記第一ポート及び前記液体排出口の間に残留している前記作動流体を吸い戻す注液装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
その中で、前記制御弁は、高圧ガスによって前記可動部材が前記導通位置及び前記断流位置の間で往復移動するように制御する、請求項１に記載の注液装置。
【請求項３】
その中で、前記制御弁は、チャンバー及び導通ポートを有し、前記可動部材は仕切板及び前記仕切板に接続するロッドを含み、前記仕切板は前記チャンバー内に設けられ、かつ前記チャンバーを第一キャビティ及び第二キャビティに仕切り、前記導通ポートは前記第一キャビティと連通し、前記ロッドは前記第一キャビティから前記制御弁に穿設され、一部分は前記バイパス通路内に収容され、前記高圧ガスが前記導通ポートを経由して前記第一キャビティ内に進入した時、前記高圧ガスが前記仕切板を押動することで前記可動部材を前記導通位置まで移動させる、請求項２に記載の注液装置。
【請求項４】
その中で、前記制御弁は弾性部材を含み、前記弾性部材は前記第二キャビティ内に設けられ、前記弾性部材は前記仕切板及び前記チャンバーの内壁の間で弾性的に当接し、前記仕切板が前記高圧ガスの押動を受けていない時、前記弾性部材が前記仕切板を押動することで前記可動部材を前記断流位置まで移動させる、請求項３に記載の注液装置。
【請求項５】
その中で、前記制御弁はさらに断流ポートを有し、前記断流ポートは前記第二キャビティと連通し、前記高圧ガスが前記断流ポートを経由して前記第二キャビティ内に進入した時、前記高圧ガスが前記仕切板を押動することで前記可動部材を前記断流位置まで移動させる、請求項３に記載の注液装置。
【請求項６】
さらに少なくとも１つの弾性シール材を含み、前記弾性シール材は前記ロッドの前記仕切板から離れた一端に設けられ、前記可動部材が前記断流位置にある時、前記弾性シール材が前記流路の内壁で当接することにより前記流路を閉鎖する、請求項３に記載の注液装置。
【請求項７】
その中で、流路、バイパス通路、サックバック通路、可動部材及び制御弁の数量はいずれも複数であって、複数の注液管路群を構成しており、各前記注液管路群はそれぞれ独立して配置され、相異なる前記作動流体を移送・注入することができる、請求項１に記載の注液装置。
【請求項８】
その中で、前記ノズルは注水通路を有し、前記注水通路が前記ノズルを貫通しており、かつ前記流路に平行である、請求項１に記載の注液装置。
【請求項９】
さらに少なくとも１つの継手を含み、前記継手が前記サックバック通路に設けられ、かつチューブでサックバックポンプと接続されている、請求項１に記載の注液装置。
【請求項１０】
その中で、前記バイパス通路が前記流路に対して垂直である、請求項１に記載の注液装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、注液装置に関し、特に半導体分野で用いられ、ノズル内部に残留した作動流体を吸い戻すことが可能な注液装置を指す。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体分野においては、通常、化学液体を注液装置の送液ポンプで管路出口の先端のノズルまで圧送して流出させ、これにより基板の表面に塗布又は散布することで、基板に対し、エッチング又は洗浄等の工程を行う必要があるが、エッチングの効果及び洗浄の均一性はいずれも工程の成否に影響する重要な要素であり、従ってどのように制御して、送液ポンプで断流して液体の移送を停止した時に、化学液体が引き続き液だれ・液漏れすることなく工程品質に影響を与えないようにするか、並びにノズル移動の過程において液だれ・液漏れを回避するかは、やはり極めて重要である。
【０００３】
一般的に、流体の液だれ・液漏れを防止する方法は、流体の注液装置内にサックバックバルブ（ｓｕｃｋｂａｃｋｖａｌｖｅ）を設置することである。しかし、サックバックバルブは流体の送液ポンプの出口の先端に設置され、管路の出口の先端との距離が非常に離れているため、その吸い戻し力には限界があり、管路中に残留する液体が過度に多くなり、管路出口のノズルにおいて液だれ・液漏れの現象を引き起こし、特に粘度、比重、温度、揮発性、表面張力等、流体特性の相異なる液体を使用する場合は、さらに深刻である。どのようにすれば、流体特性の異なる流体を確実に断流できるか、またノズル移動時に残留している液体が液だれしないようにできるかは、速やかな改善が待たれる問題点である。
【０００４】
この点を踏まえ、本発明の発明者は、上記従来技術の欠点について、特に研究に専念し、学理の運用を組み合わせ、上記問題点の解決に尽力し、即ち、これが本発明の発明者の改良の目標となった。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の主な目的は、効果的かつ確実に、ノズルが作動流体の移送・注入を停止した後に液だれ・液漏れしないようにし、またノズル移動過程における液だれ・液漏れを回避可能にすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成するために、本発明は少なくとも１つの作動流体の移送・注入に用いられる注液装置を提供する。この注液装置はノズル、少なくとも１つの可動部材、少なくとも１つの制御弁及びサックバックポンプを含み、
ノズルは少なくとも１つの流路、少なくとも１つのバイパス通路及び少なくとも１つのサックバック通路を有し、
流路はノズルを貫通し、かつ上記作動流体の移送・注入に用いられ、流路の末端には液体排出口が形成されており、
バイパス通路は第一ポート、導通位置及び断流位置を有し、
サックバック通路は第二ポートを有し、
第一ポート及び第二ポートはそれぞれ流路と連通し、
第二ポートは第一ポート及び液体排出口の間に位置し、
可動部材はバイパス通路内に設けられ、制御弁はノズルの片側に設けられ、
制御弁は流路を開閉するために可動部材を導通位置及び断流位置の間で切り替えるのを制御するのに用いられ、
サックバックポンプはサックバック通路と接続され、可動部材が断流位置にある時、サックバックポンプは第一ポート及び液体排出口の間に残留する上記作動流体を吸い戻すことができる。
【０００７】
本発明の実施例において、制御弁は高圧ガスによって、可動部材が導通位置及び断流位置の間で往復移動するように制御する。
【０００８】
本発明の実施例において、制御弁はチャンバー及び導通ポートを有し、可動部材は仕切板及び仕切板に接続するロッドを含み、仕切板はチャンバー内に設けられ、かつチャンバーを第一キャビティ及び第二キャビティに仕切り、導通ポートは第一キャビティと連通し、ロッドは第一キャビティから制御弁に穿設され、一部分はバイパス通路内に収容され、上記高圧ガスが導通ポートを経由して第一キャビティ内に進入した時、上記高圧ガスは仕切板を押動することで可動部材を導通位置まで移動させる。
【０００９】
本発明の実施例において、制御弁は弾性部材を含み、弾性部材は第二キャビティ内に設けられ、弾性部材は仕切板及びチャンバーの内壁の間で弾性的に当接し、仕切板が上記高圧ガスの押動を受けていない時、弾性部材は仕切板を押動することで可動部材を断流位置まで移動させる。
【００１０】
本発明の実施例において、制御弁はさらに断流ポートを有し、断流ポートは第二キャビティと連通し、上記高圧ガスが断流ポートを経由して第二キャビティ内に進入した時、上記高圧ガスは仕切板を押動することで可動部材を断流位置まで移動させる。
（【００１１】以降は省略されています）

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