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公開番号2024088883
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-03
出願番号2022203899
出願日2022-12-21
発明の名称プラグ、プラグ製造方法及び半導体製造装置用部材
出願人日本碍子株式会社
代理人弁理士法人アイテック国際特許事務所
主分類B28B 7/16 20060101AFI20240626BHJP(セメント,粘土,または石材の加工)
要約【課題】歩留まりよく製造することが可能なプラグを提供する。
【解決手段】プラグ50は、プラグ本体58と、螺旋状ガス流路51と、分岐路56とを備える。螺旋状ガス流路51は、プラグ本体58の内部に設けられ、プラグ本体58の下面から上面に至る。分岐路56は、螺旋状ガス流路51の途中で枝分かれするように設けられ、プラグ本体58の外周面に開口している。プラグ50を製造する際に用いる成形型には、螺旋状ガス流路51に対応する螺旋状の中子が一体化されているが、その螺旋状の中子は分岐路56に対応する棒状の中子を介して成形型の内周面に保持される。そのため、中子の破損を防止することができ、歩留まりよくプラグ50を製造することができる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
プラグ本体と、
前記プラグ本体の内部に設けられ、前記プラグ本体の下面から上面に至る螺旋状ガス流路と、
前記螺旋状ガス流路の途中で枝分かれするように設けられ、前記プラグ本体の外周面に開口するか、又は、前記螺旋状ガス流路とは別に前記プラグの下面から上面に至るように設けられた他の螺旋状ガス流路に連通している分岐路と、
を備えたプラグ。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記分岐路は、前記他の螺旋状ガス流路に連通し、更に前記プラグ本体の外周面に開口するように設けられている、
請求項１に記載のプラグ。
【請求項３】
前記分岐路は、前記螺旋状ガス流路の途中の複数の箇所で枝分かれするように設けられている、
請求項１又は２に記載のプラグ。
【請求項４】
複数の前記分岐路は、平面視したときに前記プラグ本体の同心円に沿って等角度間隔になるように設けられている、
請求項３に記載のプラグ。
【請求項５】
前記分岐路は、前記他の螺旋状ガス流路に連通するように設けられ、
前記螺旋状ガス流路は、前記他の螺旋状ガス流路を取り囲むように設けられている、
請求項１又は２に記載のプラグ。
【請求項６】
前記分岐路は、前記他の螺旋状ガス流路に連通するように設けられ、
前記他の螺旋状ガス流路は、前記螺旋状ガス流路に並設されている、
請求項１又は２に記載のプラグ。
【請求項７】
請求項１又は２に記載のプラグを製造する方法であって、
（ａ）前記プラグの前駆体である成形体と同形状の成形用空間を有し、前記螺旋状ガス流路及び前記分岐路に対応する中子か、前記螺旋状ガス流路、前記他の螺旋状ガス流路及び前記分岐路に対応する中子が一体化された成形型を有機材料で作製する工程と、
（ｂ）セラミックスラリーを前記成形型の前記成形用空間に注入して固化させることにより前記成形体を前記成形型内に作製する工程と、
（ｃ）前記成形型と前記成形体とが一体化した一体物から前記成形型を消失させて前記成形体を得る工程と、
（ｄ）前記成形体を焼成して前記プラグを得る工程と、
を含むプラグ製造方法。
【請求項８】
上面にウエハ載置部を有するセラミックプレートと、
前記セラミックプレートを上下方向に貫通するプラグ設置穴に設置された請求項１又は２に記載のたプラグと、
を備えた半導体製造装置用部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラグ、プラグ製造方法及び半導体製造装置用部材に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体製造装置用部材としては、上面にウエハ載置部を有する静電チャックを備えたものが知られている。例えば、特許文献１の静電チャックは、ウエハを吸着保持するセラミックプレートと、セラミックプレートに形成されたプラグ設置穴と、プラグ設置穴に設置されたプラグと、セラミックプレートの下面に接着された冷却プレートとを備えたものが開示されている。プラグは、緻密なプラグ本体の内部に螺旋状ガス流路を有する。ウエハ載置部に載置されたウエハをプラズマで処理する場合、冷却プレートとウエハの上部に配置される平板電極との間に高周波電力を印加してウエハの上部にプラズマを発生させる。それと共に、ウエハとセラミックプレートとの熱伝導を向上させるため、熱伝導ガスであるヘリウムをプラグの螺旋状ガス流路を介してウエハの裏面に供給する。特許文献１におけるプラグ製造方法は、螺旋状ガス流路に対応する中子が一体化された樹脂製の成形型の内部にセラミックスラリーを注入して固化させることにより成形体を作製する工程を含む。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７１４４６０３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、成形型に一体化された中子は、１本の細長い螺旋状の樹脂部材であるため、成形型の底面に支持されているだけでは破損しやすいという問題があった。そのため、プラグを歩留まりよく製造することは困難であった。
【０００５】
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、歩留まりよく製造することが可能なプラグを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明のプラグは、
プラグ本体と、
前記プラグ本体の内部に設けられ、前記プラグ本体の下面から上面に至る螺旋状ガス流路と、
前記螺旋状ガス流路の途中で枝分かれするように設けられ、前記プラグ本体の外周面に開口するか、又は、前記螺旋状ガス流路とは別に前記プラグの下面から上面に至るように設けられた他の螺旋状ガス流路に連通している分岐路と、
を備えたものである。
【０００７】
このプラグは、プラグ本体の内部に、螺旋状ガス流路の途中で枝分かれするように設けられた分岐路を有する。分岐路がプラグ本体の外周面に開口している場合、プラグを製造する際に用いる成形型には、螺旋状ガス流路に対応する螺旋状の中子が設けられるが、その螺旋状の中子は分岐路に対応する保持用の中子を介して成形型の内周面に保持される。そのため、螺旋状の中子の破損を防止することができ、歩留まりよくプラグを製造することができる。また、分岐路が螺旋状ガス流路とは別に設けられた他の螺旋状ガス流路に連通している場合、プラグを製造する際に用いる成形型には、螺旋状ガス流路に対応する螺旋状の中子と他の螺旋状ガス流路に対応する他の螺旋状の中子とが設けられるが、それらの中子同士は分岐路に対応する保持用の中子を介して互いに保持し合っている。そのため、中子の破損を防止することができ、歩留まりよくプラグを製造することができる。
【０００８】
なお、本明細書では、上下、左右、前後などを用いて本発明を説明することがあるが、上下、左右、前後は、相対的な位置関係に過ぎない。そのため、プラグの向きを変えた場合には上下が左右になったり左右が上下になったりすることがあるが、そうした場合も本発明の技術的範囲に含まれる。
【０００９】
［２］上述したプラグ（前記［１］に記載のプラグ）において、前記分岐路は、前記他の螺旋状ガス流路に連通し、更に前記プラグ本体の外周面に開口するように設けられていてもよい。こうすれば、中子の破損を防止する効果が顕著になる。
【００１０】
［３］上述したプラグ（前記［１］又は［２］に記載のプラグ）において、前記分岐路は、前記螺旋状ガス流路の途中の複数の箇所で枝分かれするように設けられていてもよい。こうすれば、プラグを製造する際に用いる成形型に設けられた螺旋状の中子は複数の保持用の中子によって成形型の内周面又は他の螺旋状の中子に保持される。そのため、中子の破損を防止する効果が高まる。
（【００１１】以降は省略されています）

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