特許ウォッチ

公開番号2024133832
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-03
出願番号2023043814
出願日2023-03-20
発明の名称板状物の加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B28D 5/00 20060101AFI20240926BHJP(セメント,粘土,または石材の加工)
要約【課題】SiCウエーハなどの板状物から適正な所望形状の板状物を生成できる板状物の加工方法を提供する。
【解決手段】板状物の加工方法は、板状物2に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を所望形状Aの輪郭に位置づけて板状物2にレーザー光線を照射し分割起点50を形成する所望形状分割起点形成工程と、所望形状Aの輪郭の接線Lから鋭角の方向にレーザー光線の集光点を位置づけて板状物2にレーザー光線を照射し分割を補助する補助分割起点60を形成する補助分割起点形成工程と、補助分割起点60に外力を付与し亀裂を生じさせるとともに、所望形状Aの輪郭に形成した分割起点50に亀裂を伝播させる亀裂形成工程と、所望形状Aの輪郭に形成した亀裂によって板状物2から所望形状Aの板状物を生成する所望形状板状物生成工程とを含む。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
板状物を所望形状に加工する板状物の加工方法であって、
板状物に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を所望形状の輪郭に位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割起点を形成する所望形状分割起点形成工程と、
該所望形状の輪郭の接線から鋭角の方向にレーザー光線の集光点を位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割を補助する補助分割起点を形成する補助分割起点形成工程と、
該補助分割起点に外力を付与し亀裂を生じさせるとともに該輪郭に形成した該分割起点に亀裂を伝播させる亀裂形成工程と、
該輪郭に形成した亀裂によって板状物から該所望形状の板状物を生成する所望形状板状物生成工程と、
を含む板状物の加工方法。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
該補助分割起点形成工程において、該輪郭の周りに２以上の該補助分割起点を形成する請求項１記載の板状物の加工方法。
【請求項３】
該鋭角とは、２０～６０度である請求項１記載の板状物の加工方法。
【請求項４】
該補助分割起点形成工程において、該輪郭の該分割起点に連通しないように僅かな間隔をもって該補助分割起点を形成する請求項１記載の板状物の加工方法。
【請求項５】
該僅かな間隔とは５～３０μｍである請求項４記載の板状物の加工方法。
【請求項６】
該所望形状分割起点形成工程および該補助分割起点形成工程は、レーザー光線を集光する集光レンズの開口数を板状物の屈折率で除した値が０．０５～０．２の範囲で実施する請求項１記載の板状物の加工方法。
【請求項７】
板状物は、ＳｉＣ、サファイア、石英、Ｓｉ、ＬＴ、ＬＮまたは非晶質ガラスを含む素材で形成されている請求項１記載の板状物の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物を所望形状に加工する板状物の加工方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
シリコンウエーハ等の板状物にレーザー光線を照射して湾曲線、直線を板状物に描き所望形状の板状物を生成する技術が本出願人によって提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－２７５９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ＳｉＣウエーハの如く結晶構造が比較的複雑な板状物に対してレーザー光線を照射して所望形状の輪郭線を描き、外力を付与して輪郭線を破断すると輪郭線から所望形状の内側に亀裂が侵入して欠けが生じ、適正な所望形状の板状物を生成できないという問題がある。
【０００５】
本発明の課題は、ＳｉＣウエーハなどの板状物から適正な所望形状の板状物を生成できる板状物の加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の板状物の加工方法が提供される。すなわち、
「板状物を所望形状に加工する板状物の加工方法であって、
板状物に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を所望形状の輪郭に位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割起点を形成する所望形状分割起点形成工程と、
該所望形状の輪郭の接線から鋭角の方向にレーザー光線の集光点を位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割を補助する補助分割起点を形成する補助分割起点形成工程と、
該補助分割起点に外力を付与し亀裂を生じさせるとともに該輪郭に形成した該分割起点に亀裂を伝播させる亀裂形成工程と、
該輪郭に形成した亀裂によって板状物から該所望形状の板状物を生成する所望形状板状物生成工程と、
を含む板状物の加工方法」が提供される。
【０００７】
好ましくは、該補助分割起点形成工程において、該輪郭の周りに２以上の該補助分割起点を形成する。該鋭角とは、２０～６０度であるのが望ましい。
【０００８】
該補助分割起点形成工程において、該輪郭の該分割起点に連通しないように僅かな間隔をもって該補助分割起点を形成するのが好都合である。該僅かな間隔とは５～３０μｍでよい。
【０００９】
該所望形状分割起点形成工程および該補助分割起点形成工程は、レーザー光線を集光する集光レンズの開口数を板状物の屈折率で除した値が０．０５～０．２の範囲で実施するのが好適である。板状物は、ＳｉＣ、サファイア、石英、Ｓｉ、ＬＴ、ＬＮまたは非晶質ガラスを含む素材で形成され得る。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の板状物の加工方法は、
板状物を所望形状に加工する板状物の加工方法であって、
板状物に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を所望形状の輪郭に位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割起点を形成する所望形状分割起点形成工程と、
該所望形状の輪郭の接線から鋭角の方向にレーザー光線の集光点を位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割を補助する補助分割起点を形成する補助分割起点形成工程と、
該補助分割起点に外力を付与し亀裂を生じさせるとともに該輪郭に形成した該分割起点に亀裂を伝播させる亀裂形成工程と、
該輪郭に形成した亀裂によって板状物から該所望形状の板状物を生成する所望形状板状物生成工程と、
を含むので、所望形状の輪郭に直接外力を付与しないことから所望形状に損傷を与えることがない。また、本発明においては、所望形状の輪郭の接線に対して鋭角な方向に補助分割起点を形成することから、補助分割起点から所望形状の分割起点に亀裂を円滑に伝播させることができる。したがって、ＳｉＣウエーハの如く結晶構造が比較的複雑な板状物からでも、所望形状の輪郭に形成した亀裂を利用して、適正な所望形状の板状物を生成することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許