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公開番号2024133831
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-03
出願番号2023043813
出願日2023-03-20
発明の名称板状物の加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類B28D 5/00 20060101AFI20240926BHJP(セメント,粘土,または石材の加工)
要約【課題】所望形状の板状物を破断することなく、抗折強度を計測することができる板状物の加工方法を提供する。
【解決手段】板状物の加工方法は、板状物2に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を所望形状Aの輪郭に位置づけて板状物2にレーザー光線を照射し分割起点50を形成する所望形状分割起点形成工程と、板状物2の余剰領域にレーザー光線の集光点をサンプル形状B1、B2、B3の輪郭に位置づけて板状物2にレーザー光線を照射し分割起点58a、58b、58cを形成するサンプル形状分割起点形成工程と、分割起点50、58a～58cから所望形状Aの板状物およびサンプル形状B1～B3の板状物を生成する板状物生成工程とを含む。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
板状物の加工方法であって、
板状物に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を所望形状の輪郭に位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割起点を形成する所望形状分割起点形成工程と、
板状物の余剰領域にレーザー光線の集光点をサンプル形状の輪郭に位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割起点を形成するサンプル形状分割起点形成工程と、
該分割起点から該所望形状の板状物および該サンプル形状の板状物を生成する板状物生成工程と、
を含む板状物の加工方法。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
該所望形状の輪郭の接線および該サンプル形状の輪郭の接線から鋭角の方向にレーザー光線の集光点を位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割を補助する補助分割起点を形成する補助分割起点形成工程を含み、
該板状物生成工程において、
該補助分割起点に外力を付与し亀裂を生じさせるとともに、該所望形状の輪郭および該サンプル形状の輪郭に形成した該分割起点に亀裂を伝播させ該所望形状の板状物および該サンプル形状の板状物を生成する請求項１記載の板状物の加工方法。
【請求項３】
該鋭角とは、２０～６０度である請求項２記載の板状物の加工方法。
【請求項４】
該所望形状分割起点形成工程および該サンプル形状分割起点形成工程は、レーザー光線を集光する集光レンズの開口数を板状物の屈折率で除した値が０．０５～０．２の範囲で実施する請求項１記載の板状物の加工方法。
【請求項５】
板状物は、ＳｉＣ、サファイア、石英、Ｓｉ、ＬＴ、ＬＮまたは非晶質ガラスを含む素材で形成されている請求項１記載の板状物の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状物の加工方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
シリコンウエーハ等の板状物にレーザー光線を照射して湾曲線、直線を板状物に描き所望形状の板状物を生成する技術が本出願人によって提案されている（たとえば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－２７５９６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、生成された所望形状の板状物の抗折強度を計測するには、応力を付与して所望形状の板状物を破断する必要がある。このため、実質的に所望形状の板状物の抗折強度を計測できないという問題がある。
【０００５】
本発明の課題は、所望形状の板状物を破断することなく、抗折強度などの強度計測を行うことができる板状物の加工方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、上記課題を解決する以下の板状物の加工方法が提供される。すなわち、
「板状物の加工方法であって、
板状物に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を所望形状の輪郭に位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割起点を形成する所望形状分割起点形成工程と、
板状物の余剰領域にレーザー光線の集光点をサンプル形状の輪郭に位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割起点を形成するサンプル形状分割起点形成工程と、
該分割起点から該所望形状の板状物および該サンプル形状の板状物を生成する板状物生成工程と、
を含む板状物の加工方法」が提供される。
【０００７】
好ましくは、該所望形状の輪郭の接線および該サンプル形状の輪郭の接線から鋭角の方向にレーザー光線の集光点を位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割を補助する補助分割起点を形成する補助分割起点形成工程を含み、該板状物生成工程において、該補助分割起点に外力を付与し亀裂を生じさせるとともに、該所望形状の輪郭および該サンプル形状の輪郭に形成した該分割起点に亀裂を伝播させ該所望形状の板状物および該サンプル形状の板状物を生成する。
【０００８】
該鋭角とは、２０～６０度であるのが望ましい。
【０００９】
該所望形状分割起点形成工程および該サンプル形状分割起点形成工程は、レーザー光線を集光する集光レンズの開口数を板状物の屈折率で除した値が０．０５～０．２の範囲で実施するのが好適である。板状物は、ＳｉＣ、サファイア、石英、Ｓｉ、ＬＴ、ＬＮまたは非晶質ガラスを含む素材で形成され得る。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の板状物の加工方法は、
板状物に対して透過性を有する波長のレーザー光線の集光点を所望形状の輪郭に位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割起点を形成する所望形状分割起点形成工程と、
板状物の余剰領域にレーザー光線の集光点をサンプル形状の輪郭に位置づけて板状物にレーザー光線を照射し分割起点を形成するサンプル形状分割起点形成工程と、
該分割起点から該所望形状の板状物および該サンプル形状の板状物を生成する板状物生成工程と、
を含むので、所望形状の板状物を破断することなく、サンプル形状の板状物によって抗折強度などの強度計測を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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