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公開番号2024084969
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-26
出願番号2022199200
出願日2022-12-14
発明の名称傾斜検出装置及び傾斜検出方法
出願人株式会社トプコン
代理人個人,個人
主分類G02B 26/08 20060101AFI20240619BHJP(光学)
要約【課題】部材の傾斜(傾斜方向、傾斜角度)の検出機能を有する小型の傾斜検出装置及び傾斜検出方法を提供すること。
【解決手段】傾斜検出装置は、回動中心点周りに回動制御される光学部材と、光学部材における機能面とは反対側において回動中心点から離れた位置に配置され、光学部材に対して固定された再帰反射部材と、再帰反射部材に対して検出光を照射する光源と、再帰反射部材により反射された検出光を検出する検出部と、検出部により検出された検出光の光軸位置信号から、光学部材の傾斜を検出する制御部と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
回動中心点周りに回動制御される光学部材と、
前記光学部材における機能面とは反対側において前記回動中心点から離れた位置に配置され、前記光学部材に対して固定された再帰反射部材と、
前記再帰反射部材に対して検出光を照射する光源と、
前記再帰反射部材により反射された前記検出光を検出する検出部と、
前記検出部により検出された光軸位置信号から、前記光学部材の傾斜を検出する制御部と、
を備える傾斜検出装置。
続きを表示（約 570 文字）【請求項２】
前記再帰反射部材はボールレンズミラーである請求項１に記載の傾斜検出装置。
【請求項３】
前記ボールレンズミラーの屈折率は１．８から２．１の範囲である請求項２に記載の傾斜検出装置。
【請求項４】
前記ボールレンズミラーは、前記回動中心点側における球冠状の領域に反射膜を有する請求項２に記載の傾斜検出装置。
【請求項５】
前記ボールレンズミラーは、前記反射膜を、前記光学部材の最大振れ角度の２倍以上の範囲に有する請求項４に記載の傾斜検出装置。
【請求項６】
前記検出部は、４分割光検出素子である請求項１に記載の傾斜検出装置。
【請求項７】
前記検出部は、光位置検出素子である請求項１に記載の傾斜検出装置。
【請求項８】
前記検出部は、２次元のイメージセンサである請求項１に記載の傾斜検出装置。
【請求項９】
前記光学部材は、前記ボールレンズミラーを固定し且つヨーク部材により磁気制御される永久磁石を更に備える請求項２に記載の傾斜検出装置。
【請求項１０】
前記永久磁石は、前記ボールレンズミラーを収容する収容部を有する請求項９に記載の傾斜検出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光学部材の傾斜検出技術に適用できる傾斜検出装置及び傾斜検出方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、光の反射方向を制御するミラーを備えたスキャナ装置に関する技術が提案されている。例えば、特許文献１には、レーザ光源から出射されたレーザ光の出射方向を変更するミラーと、ミラーに設けられた第１反射面及び第２反射面のうちの第２反射面を反射した反射光を受光する受光センサを有するミラー回転角度検出手段が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５２９３６８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のスキャナ装置では、ミラーの角度を検出するために、ミラーの傾斜に対応する反射角度で反射された光を検出するため、反射光の角度範囲が広い。反射光の角度範囲が広いと、反射光を受光する受光センサの検出範囲も広くする必要がある。そのため、受光センサが大きくなり、スキャナ装置の小型化が容易ではない。
【０００５】
本開示は、部材の傾斜（傾斜方向、傾斜角度）の検出機能を有する小型の傾斜検出装置及び該傾斜検出装置を小型化できる傾斜検出方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る傾斜検出装置は、回動中心点周りに回動制御される光学部材と、前記光学部材における機能面とは反対側において前記回動中心点から離れた位置に配置され、前記光学部材に対して固定された再帰反射部材と、前記再帰反射部材に対して検出光を照射する光源と、前記再帰反射部材により反射された前記検出光を検出する検出部と、前記検出部により検出された前記検出光の光軸位置信号から、前記光学部材の傾斜を検出する制御部と、を備える。
【０００７】
本開示に係る傾斜検出方法は、ヨーク部材により磁気制御される永久磁石を有し、回動中心点周りに回動制御される光学部材と、前記光学部材における機能面とは反対側において前記回動中心点から離れた位置に配置され、前記永久磁石に固定された再帰反射部材と、前記再帰反射部材に対して検出光を照射する光源と、前記再帰反射部材により反射された前記検出光を検出する検出部と、制御部と、を備える傾斜検出装置の傾斜検出方法であって、前記検出部により検出された前記検出光の光軸位置信号から、前記光学部材の傾斜を検出する。
【発明の効果】
【０００８】
本開示に係る傾斜検出装置及び傾斜検出方法は、部材の傾斜（傾斜方向、傾斜角度）の検出機能を有する傾斜検出装置を小型化することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態１に係る光源装置の構成図である。
スキャナ装置の一部の構成の斜視図である。
傾斜検出装置の側面図であり光学部材の初期の傾斜状態を示している。
傾斜検出装置の側面図であり光学部材が傾斜した状態を示している。
変形例１の傾斜検出装置の側面図である。
変形例２の傾斜検出装置の側面図である。
変形例３の傾斜検出装置の側面図である。
変形例４の傾斜検出装置の側面図である。
変形例５の傾斜検出装置の側面図である。
実施形態２に係る傾斜検出装置の側面図である。
実施形態３に係る傾斜検出装置の側面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示の実施形態を図面に基づき説明する。図１は、光源装置１の構成図である。光源装置１は、レーザ光を空間に出射する機能を有する。光源装置１は、例えば、レーザ測距装置又はＬｉＤＡＲ（ＬｉｇｈｔＤｅｔｅｃｔｉｏｎＡｎｄＲａｎｇｉｎｇ）センサ等の光源に適用できる。光源装置１は、制御部１１、測距光光学系１２、光学系駆動回路１３、及びスキャナ装置２を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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