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公開番号2024060379
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-02
出願番号2022167710
出願日2022-10-19
発明の名称スリットコータ
出願人TOPPANホールディングス株式会社
代理人
主分類B05C 5/02 20060101AFI20240424BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】カラーフィルタ基板製造工程において、ガラス基板の表面にカラーフィルタ基板の塗布液を均一に塗布でき、膜厚ムラが発生しないスリットコータを提供することを課題とする。
【解決手段】ガラス基板が載置されるステージと、
前記ステージの上部を移動可能に設けられたガントリと、
前記ガントリ内部に設置され、前記ガラス基板の表面に塗布液を塗布するスリットノズルを備えたダイヘッドと、を含むスリットコータであって、
前記ダイヘッドには、スリットノズルのノズル開口部に対して、進行方向後方にエアーナイフ機構を設け、塗布直後の塗布膜にエアーを吹き付けることを特徴とするスリットコータ。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ガラス基板が載置されるステージと、
前記ステージの上部を移動可能に設けられたガントリと、
前記ガントリ内部に設置され、前記ガラス基板の表面に塗布液を塗布するスリットノズルを備えたダイヘッドと、を含むスリットコータであって、
前記ダイヘッドには、スリットノズルのノズル開口部に対して、進行方向後方にエアーナイフ機構を設け、塗布直後の塗布膜にエアーを吹き付けることを特徴とするスリットコータ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ基板製造工程において、塗布工程で用いる塗布装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタ基板の製造工程には、フォトリソグラフィ工程、及び選択領域の薄膜を除去するエッチング工程が複数回含まれており、特に、フォトリソグラフィ工程は、透明基板(以下、ガラス基板)上に液状の感光性レジストを決められた厚みに塗布する塗布工程と、所定のパターンが形成されたフォトマスクを使用して、塗布した感光性レジストに所定のパターンを焼き付ける露光工程及び、非パターン部の感光性レジストを除去する現像工程とからなる。
【０００３】
塗布工程で用いられるコーティング方式の一つに、ダイヘッドに設けたスリットノズルからガラス基板上に液状の感光性レジストを吐出して塗布するスリットコート方式がある。このスリットコート方式は、従来、基板を回転させて塗布するスピンコート方式と比較して、スピンレスコート方式と呼ばれることもある。
スリットコート方式で用いるスリットコータは、スリットノズルを備えるダイヘッドまたは、ガラス基板のどちらか一方を移動させて塗布を行う。スリットコーティング法は生産性の面からカラーフィルタ基板が多面付けされた大型基板や、カラーフィルタ基板が搭載される表示デバイスの大型化に対応できる利点がある。
【０００４】
スリットコータは、ガラス基板を載置するステージと液状の感光性レジストを吐出するスリットノズルを備えるダイヘッドとダイヘッドを設置するガントリとを備え、ダイヘッドはスリットノズルの先端とステージに載置された基板の塗布面とが塗布条件によって決められた位置関係に設置されている。
そして、ガントリの方を移動させながら、スリットノズルから液状の感光性レジストを吐出することで、静止したガラス基板上に液状の感光性レジストを塗布する機構となっている（特許文献１参照）。
【０００５】
図１は、スリットコータを用いてステージ上に載置されたガラス基板に、液状の感光性レジストが塗布されるコーティング工程を示す図である。図１に示すように、ガントリがステージ上を移動する際、ガントリの駆動系からの振動や、周辺からの振動により塗布された液状の感光性レジストには周期性のある膜厚変動が見られる。このような膜厚変動を有するカラーフィルタ基板を搭載した表示装置では、この膜厚変動した部分は、ぼんやりとしたモヤがかかったように視認されるので表示不良と判断される。このように視認される状態を「段ムラ」があると呼ばれる。
【０００６】
図４に、塗布方向に対して段ムラが発生する方向と、段ムラの画像を示す。図４に示すように段ムラは、塗布方向に対して垂直な方向に発生する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１０－１７５９１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、前述したような問題を解決するために提案されたものであり、カラーフィル
タ基板製造工程において、ガラス基板の表面にカラーフィルタ基板の塗布液を均一に塗布でき、膜厚ムラが発生しないスリットコータを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を達成するため、本発明の第一の態様は、
ガラス基板が載置されるステージと、
前記ステージの上部を移動可能に設けられたガントリと、
前記ガントリ内部に設置され、前記ガラス基板の表面に塗布液を塗布するスリットノズルを備えたダイヘッドと、を含むスリットコータであって、
前記ダイヘッドには、スリットノズルのノズル開口部に対して、進行方向後方にエアーナイフ機構を設け、塗布直後の塗布膜にエアーを吹き付けることを特徴とするスリットコータである。
【００１０】
塗布直後の塗布膜面にエアーナイフからエアーを吹き付けることで塗布膜の膜厚変動を抑制することが可能である。塗布後の塗布膜に膜厚ムラが生じた直後に、スリットノズルのノズル開口部に対して、進行方向後方に備えられた、エアーナイフからのエアー噴射によって塗布膜の表面を平坦化することができるという効果がある。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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