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公開番号2024048651
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-09
出願番号2022154679
出願日2022-09-28
発明の名称塗布装置
出願人東レエンジニアリング株式会社
代理人
主分類B05C 13/00 20060101AFI20240402BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】容易な構成で多品種の基板に対応することができる塗布装置を提供する。
【解決手段】幅寸法の異なる多品種の基板を載置可能なステージと、ステージの表面に載置された基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、を備える塗布装置であって、ステージには、基板の搬入、搬出を行う際に、ステージから所定高さに基板を保持するリフト部材を有しており、リフト部材は、基板を保持する際に基板の裏面に当接する当接部が、幅寸法の異なる基板の保持姿勢を維持可能に基板の幅方向に延びる形状を有する構成とする。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
幅寸法の異なる多品種の基板を載置可能なステージと、
前記ステージの表面に載置された前記基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、
を備える塗布装置であって、
前記ステージには、基板の搬入、搬出を行う際に、前記ステージから所定高さに基板を保持するリフト部材を有しており、
前記リフト部材は、基板を保持する際に基板の裏面に当接する当接部が、幅寸法の異なる基板の保持姿勢を維持可能に基板の幅方向に延びる形状を有することを特徴とする塗布装置。
続きを表示（約 450 文字）【請求項２】
前記リフト部材は、前記ステージに載置可能な幅寸法の異なる基板のうち、最大幅を有する基板の幅寸法以上の寸法に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記ステージには、前記リフト部材を下降させて基板を前記ステージ上に載置する際に、基板の裏面縁端部に当接することにより基板をセンタリングするガイドピンが設けられており、前記ガイドピンは、前記ステージ内に収容して設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記ガイドピンは、基板の幅寸法毎に設けられており、センタリングする際に、基板の幅寸法に対応する前記ガイドピンのみがステージ上に突出することによりセンタリングが行われることを特徴とする請求項３に記載の塗布装置。
【請求項５】
前記ガイドピンは、先端部分が円錐形状の先鋭部を有しており、前記先鋭部は軸回りに回転可能に形成されていることを特徴とする請求項４に記載の塗布装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液を吐出する塗布ユニットと基板とを相対的に移動させて、基板上に塗布膜を形成する塗布装置に関するものである。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイや有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイには、ガラスからなる基板上にレジスト液等の塗布液が塗布されたもの（塗布基板という）が使用されている。この塗布基板は、塗布液を均一に塗布する塗布装置によって形成されている。この塗布装置は、図９に示すように、基板Ｗを載置するステージ１００と、塗布液を吐出する塗布ユニット１０１とを有しており、塗布ユニット１０１の塗布器１０２から塗布液を吐出させながら、ステージ１００上の基板Ｗと塗布ユニット１０１とを相対的に一方向に移動させることにより、均一厚さの塗布膜が形成された基板Ｗが形成されるようになっている。
【０００３】
このステージ１００には、基板Ｗを支持する複数のリフトピン１０３が設けられており、基板Ｗの裏面に当接することにより基板Ｗを支持するように構成されている。すなわち、基板Ｗが水平姿勢を維持できるように所定の間隔で配置されており、リフトピン１０３それぞれが基板Ｗを載置する載置面に対して昇降動作するように構成されている。具体的には、リフトピン１０３には、ステージ１００内でリフトピン１０３を昇降駆動させる駆動装置であるエアシリンダと接続されており、エアシリンダを駆動制御することにより、全てのリフトピン１０３が同時に上昇、下降するように構成されている。すなわち、エアシリンダを作動させることにより、リフトピン１０３は、基板Ｗが保持姿勢（水平方向に延びる姿勢）を維持した状態で基板Ｗを支持しつつ、基板Ｗを上昇、下降させることができるようになっている。
【０００４】
実際の基板Ｗの搬入動作では、ロボットハンド１０５により基板Ｗが載置面上に搬入されると、リフトピン１０３が載置面から突出し、基板Ｗの裏面に当接することにより、基板Ｗが保持姿勢を維持する状態で支持される。そして、リフトピン１０３が下降しステージ１００内に収容されることにより載置面上に基板Ｗが載置され、基板Ｗの搬入動作が完了する。また、基板Ｗ上に塗布膜が形成されると、リフトピン１０３が基板Ｗの裏面に当接しつつ上昇し、ステージ１００上の基板Ｗがリフトピン１０３で持ち上げられた状態でロボットハンド１０５が進入することにより、リフトピン１０３からロボットハンド１０５に基板Ｗの受け渡しが行われ、基板Ｗが排出されるようになっている（例えば、下記特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１０－０８７３４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来では、塗布装置で取り扱う基板Ｗは１品種であり、用途に合わせて多面取りされることで様々な用途に対応していたが、近年では、用途に応じて幅寸法の異なる多品種の基板Ｗが登場し、これらに塗布膜を形成することが必要とされている。ところが、上記塗布装置では、幅寸法の異なる多品種の基板Ｗに対応することが困難であるという問題があった。すなわち、上記塗布装置では、リフトピン１０３が１品種の基板Ｗに対応して設けられているため、リフトピン１０３が設けられた位置が多品種の基板Ｗに対応しておらず、異なる種類の基板Ｗを支持すると、基板Ｗの保持姿勢を維持できないという問題があった。また、それぞれの種類に対応させてリフトピン１０３を増設した場合、特定の種類毎のリフトピン１０３のみを同時に昇降動作させるエアシリンダが新たに必要になる。そのため、ステージ１００内に新たなエアシリンダを設置するスペースが必要になることに加え、ステージ１００内の構成が複雑化してしまうという問題があった。
【０００７】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、容易な構成で多品種の基板に対応することができる塗布装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために本発明の塗布装置は、幅寸法の異なる多品種の基板を載置可能なステージと、前記ステージの表面に載置された前記基板に対し相対的に移動しつつ塗布液を吐出することにより前記基板上に塗布膜を形成する塗布ユニットと、を備える塗布装置であって、前記ステージには、基板の搬入、搬出を行う際に、前記ステージから所定高さに基板を保持するリフト部材を有しており、前記リフト部材は、基板を保持する際に基板の裏面に当接する当接部が、幅寸法の異なる基板の保持姿勢を維持可能に基板の幅方向に延びる形状を有することを特徴としている。
【０００９】
上記塗布装置によれば、基板を支持するリフト部材は、基板の裏面に当接する当接部が基板の幅方向に延びる形状を有しているため、幅寸法の異なる多品種の基板であっても基板を支持することができる。すなわち、リフト部材の当接部が基板の幅方向に延びる形状を有しているため、基板の幅寸法が異なる場合でも、必ず基板の裏面に当接し支持することができるため、いかなる幅寸法の基板であっても水平方向に延びる保持姿勢を維持した状態で基板を支持することができる。そして、このリフト部材を昇降動作させる駆動装置（エアシリンダ等）についても幅寸法の異なる基板毎に設ける必要がないため、ステージ内の構造が複雑化することを回避することができる。したがって、従来のリフトピンに比べて、容易な構成で幅寸法の異なる基板を支持することができ、幅寸法の異なる基板であってもそのまま塗布膜を形成することができる。
【００１０】
また、前記リフト部材は、前記ステージに載置可能な幅寸法の異なる基板のうち、最大幅を有する基板の幅寸法以上の寸法に設定されている構成にしてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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