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公開番号2024042646
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-28
出願番号2023096681
出願日2023-06-13
発明の名称基板処理装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人,個人
主分類B05C 5/02 20060101AFI20240321BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】基板を載置するステージを備える塗布装置において、特にステージが大型である場合でも装置を適切に分割し、さらに組み立て後の調整作業を容易にする。
【解決手段】この発明に係る基板処理装置では、ステージブロックに対し、ガイド部材が延設されノズルが移動する方向(第1方向)に延伸部材が結合される。延伸部材には延長ガイド部材が設けられる。また、矩形のステージは第1方向を短辺方向としてステージブロックの上面に設定される。ステージブロックの短辺方向とステージの短辺方向とを一致させ、かつそれをノズルが移動する方向と一致させた上で、その方向に装置を分割することで、限られた寸法条件を満たすように分割を行うことができ、またその条件下で最大サイズのステージを確保することができる。
【選択図】図4

特許請求の範囲【請求項１】
互いに平行な１対の側面を有し、上面に基板を載置可能な平坦なステージが設けられたステージブロックと、
前記１対の側面に垂直な方向を第１方向とし、前記第１方向に垂直かつ前記ステージの上面に沿う方向を第２方向とするとき、前記第２方向における前記ステージの両端部のそれぞれよりも外側で前記ステージを挟んで、前記ステージブロックの上面に沿って前記第１方向に延設された１対のガイド部材と、
前記ステージの上方で前記第２方向を長手方向としてスリット状に開口する吐出口が設けられたノズル、および、前記ノズルを支持するとともに前記１対のガイド部材の各々に対し前記第１方向に移動自在に係合するノズル支持部を有するノズルブロックと、
前記１対の側面の一方から前記第１方向に突出するように前記ステージブロックに着脱自在に結合される延伸部材と、
前記延伸部材により下方から支持されるとともに、前記１対のガイド部材の各々の前記第１方向における端部に接合されて前記第１方向に延びる１対の延長ガイド部材と、
前記１対のガイド部材および前記１対の延長ガイド部材に沿って前記ノズルブロックを移動させる移動機構と、
平面視において前記１対の延長ガイド部材の間に設けられ、前記ノズルに対するメンテナンスを実行するメンテナンス部と
を備え、
前記ステージは、平面視において前記第１方向を短辺方向とする長方形の形状を有し、
前記ステージブロックでは、前記第２方向における長さよりも前記第１方向における長さの方が小さい、基板処理装置。
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
前記１対の側面間の距離が前記第１方向における長さである、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記ステージブロックおよび前記延伸部材は、上面が平面仕上げされた石製定盤である、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記延伸部材の下面から前記第１方向に沿って前記ステージブロックの下面まで延び、前記延伸部材と前記ステージブロックとを下面側から結合して前記延伸部材を支持する支持梁を有する、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項５】
前記支持梁は、他の部材による支持を実質的に受けない、請求項４に記載の基板処理装置。
【請求項６】
前記ガイド部材は、前記ステージブロックの上面の前記第１方向における端部よりも内側で終端する一方、前記延長ガイド部材は、前記延伸部材の前記第１方向における端部よりも外側まで突出する、請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記ステージブロックの前記第１方向における両側面に、それぞれ前記延伸部材が結合され、
前記ガイド部材を共有する２組の前記ノズルブロックを備える、請求項１に記載の基板処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この発明は、ステージ上に保持される基板に対しスリットノズルを移動させながら基板に塗布を行う基板処理装置に関するものである。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
基板に対し処理液を塗布する基板処理装置としては、平面に仕上げられたステージ上に基板を載置し、その上方に配置したスリットノズルを基板に対し走査移動させながら、スリットノズルからレジスト液等の処理液を吐出させるものがある。このような基板処理装置はスリットコーターと呼ばれることがある。例えば特許文献１に記載の基板処理装置は、それぞれが基板を支持する平面ステージを跨ぐように設けられノズルを有する２組の架橋構造体を有している。架橋構造体はステージを挟んで設けられた１対のレールに取り付けられて、スリットノズルの長手方向に直交する方向へ移動可能となっている。
【０００３】
また、この基板処理装置では、一方のノズルが基板に対する塗布処理を実行している間に他方のノズルのメンテナンスが行われる。このとき他方のノズルは、ステージ上方から側方へ退避した位置でメンテナンスを受ける。このような退避移動を可能とするために、レールは基板の端部を超えてさらに外側まで延びており、それに伴ってステージも部分的に延長されている。特に２組のノズルそれぞれに対応してメンテナンス機構を設けるために、ステージの両端部に延長部位が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００５－２３０８０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
処理対象となる基板は大型化が進んでおり、１辺が２メートルを超えるものも製造されるようになってきている。当然に、基板処理装置においてもこのような大型基板を載置可能な大型ステージを備えることが必要になってきている。ステージの周辺に各種部品を取り付けるとサイズはさらに大きくなる。このため、例えば基板処理装置の製造工場からその設置場所へ装置を移動させる際に、通常の輸送機関では装置を組み立てた状態で搬送することができなくなるという問題が生じてきている。
【０００６】
したがって、このような大型基板に対応する基板処理装置は、輸送機関で輸送可能なサイズまで装置を分割することができるように構成されることが望ましい。より好ましくは、輸送後の組み立て時における調整作業ができるだけ簡単なものとなっているとよい。しかしながら、上記従来技術では、このような輸送に伴う分解および再組み立ての便宜については考慮されておらず、この点において解消の余地が残されている。
【０００７】
この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、基板を載置するステージを備える塗布装置において、特にステージが大型である場合でも装置を適切に分割することができ、さらに組み立て後の調整作業を容易にすることが可能になる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明に係る基板処理装置の一の態様は、互いに平行な１対の側面を有し、上面に基板を載置可能な平坦なステージが設けられたステージブロックと、前記１対の側面に垂直な方向を第１方向とし、前記第１方向に垂直かつ前記ステージの上面に沿う方向を第２方向とするとき、前記第２方向における前記ステージの両端部のそれぞれよりも外側で前記ステージを挟んで、前記ステージブロックの上面に沿って前記第１方向に延設された１対のガイド部材と、前記ステージの上方で前記第２方向を長手方向としてスリット状に開口する吐出口が設けられたノズル、および、前記ノズルを支持するとともに前記１対のガイド部材の各々に対し前記第１方向に移動自在に係合するノズル支持部を有するノズルブロックと、前記１対の側面の一方から前記第１方向に突出するように前記ステージブロックに着脱自在に結合される延伸部材と、前記延伸部材により下方から支持されるとともに、前記１対のガイド部材の各々の前記第１方向における端部に接合されて前記第１方向に延びる１対の延長ガイド部材と、前記１対のガイド部材および前記１対の延長ガイド部材に沿って前記ノズルブロックを移動させる移動機構と、平面視において前記１対の延長ガイド部材の間に設けられ、前記ノズルに対するメンテナンスを実行するメンテナンス部とを備えている。
【０００９】
ここで、前記ステージは、平面視において前記第１方向を短辺方向とする長方形の形状を有し、前記ステージブロックでは、前記第２方向における長さよりも前記第１方向における長さの方が小さい。
【００１０】
このように構成された発明では、ステージに載置された基板の上方にノズルを配置した状態でノズルブロックが第１方向に移動することで、基板に塗布を行うことが可能である。そして、この基板処理装置は、ステージブロックと延伸部材との間で、第１方向の長さを分断するように分割可能である。このようにして分割された状態では、ステージを挟むように設けられた１対のガイド部材は、ステージブロックの上面にステージと一体的に取り付けられたままとなっている。
（【００１１】以降は省略されています）

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