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公開番号2024048710
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-09
出願番号2022154778
出願日2022-09-28
発明の名称塗布装置
出願人東レエンジニアリング株式会社
代理人
主分類B05C 9/12 20060101AFI20240402BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】乾燥器によるエアの供給量のばらつきを抑えて塗布膜にムラが形成されるのを抑えることができる塗布装置を提供する。
【解決手段】基板を載置するステージと、ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ、ノズルから塗布液を吐出して基板に塗布膜を形成する塗布器と、を備える塗布装置であって、塗布器によって基板上に形成された塗布膜にエアを供給することにより塗布膜を乾燥させる乾燥器が設けられており、乾燥器は、エアが供給されるエア供給口には、エア供給口に局所的にエア供給量の強弱が形成されるのを抑える多孔質部材が設けられている構成とする。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基板を載置するステージと、
前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ、ノズルから塗布液を吐出して基板に塗布膜を形成する塗布器と、
を備える塗布装置であって、
前記塗布器によって基板上に形成された塗布膜にエアを供給することにより塗布膜を乾燥させる乾燥器が設けられており、
前記乾燥器は、エアが供給されるエア供給口には、前記エア供給口に局所的にエア供給量の強弱が形成されるのを抑える多孔質部材が設けられていることを特徴とする塗布装置。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
前記乾燥器は、前記塗布器に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記エア供給口には、前記多孔質部材が複数個並べて配置されており、隣接する前記多孔質部材間の継ぎ目は、前記塗布器が塗布膜を形成する際に移動する塗布方向に前記エア供給口を一直線状に横切るように形成されるのを回避して前記多孔質部材が配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記エア供給口には、塗布方向と直交する幅方向に複数個の多孔質部材が並べて配置される多孔質配列部が設けられており、
前記多孔質配列部は、前記エア供給口に塗布方向に複数列設けられ、
隣接する前記多孔質部材間の継ぎ目は、隣接する前記多孔質配列部において、塗布方向に連続して配置されるのを回避されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の塗布装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置に関するものであり、特に、塗布液を吐出した直後から乾燥させる塗布装置に関するものである。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年では、様々な用途に基板Ｗ上に均一な薄膜が形成されたもの（塗布基板という）が使用される。例えば、基板上に一様な膜厚の塗布膜を形成する場合には、スリット状のノズルを有する塗布装置によって形成されている。この塗布装置は、図６に示すように、基板Ｗを載置するステージ１００と、塗布液を吐出するスリット状のノズルを有する塗布器１０１とを有しており、ノズルのスリットから塗布液を吐出させながら、基板Ｗと塗布器１０１とを塗布方向（Ｘ軸方向）に相対的に移動させることにより、所定厚さの塗布膜Ｃが基板Ｗ上に形成されるようになっている。
【０００３】
そして、形成された塗布基板Ｗは、塗布装置から搬出された後、塗布装置とは別の乾燥装置１０２によって乾燥させられる（例えば、下記特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１０－０３４３０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、上記塗布装置では、形成された塗布膜Ｃの機能性が十分に発揮できないという問題があった。すなわち、近年では、材料の特性として、塗布膜Ｃとして塗布された後、すぐに乾燥させることにより安定して機能性を発揮するものがあり、例えば、ペロブスカイト太陽電池の材料には、そのような材料が使用されている。上記塗布装置では、塗布膜Ｃが形成された後、別の乾燥装置１０２に搬送される間、時間を要してしまうため、この時間が塗布膜Ｃの結晶状態に影響し、材料の機能性が安定して発揮されにくいという問題があった。
【０００６】
そこで、塗布された直後の塗布膜Ｃに対し、エアを吹き付けて乾燥させることも考えられる。すなわち、図７（ａ）に示すように、塗布器１０１と同様に、幅方向に延びるスリット形状の吹出口を有する乾燥器１０３（エアブロー装置）を使用し、形成された塗布膜にエアを吹き付けることにより塗布膜が形成された直後から乾燥させることができる。すなわち、乾燥器１０３によりエアを吹き付けつつ、塗布方向に移動することにより塗布膜Ｃ全面にエアが供給され、乾燥させることができる。
【０００７】
しかし、図７（ｂ）に示すように、このような乾燥器１０３では、長手方向に均一にエアを吹き出させることは困難であり、局所的にエア量にムラが存在する（図７（ｂ）２点鎖線部分）。そのため、塗布膜Ｃがエア量のムラの影響を受けることにより、塗布膜Ｃに塗布方向に沿った筋ムラが形成される虞があるという問題があった。
【０００８】
本発明は、上記の問題点を鑑みてなされたものであり、乾燥器によるエアの供給量のばらつきを抑えて塗布膜にムラが形成されるのを抑えることができる塗布装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために本発明の塗布装置は、基板を載置するステージと、前記ステージに載置された基板に対し相対的に移動しつつ、ノズルから塗布液を吐出して基板に塗布膜を形成する塗布器と、を備える塗布装置であって、前記塗布器によって基板上に形成された塗布膜にエアを供給することにより塗布膜を乾燥させる乾燥器が設けられており、前記乾燥器は、エアが供給されるエア供給口には、前記エア供給口に局所的にエア供給量の強弱が形成されるのを抑える多孔質部材が設けられていることを特徴としている。
【００１０】
上記塗布装置によれば、乾燥器のエア供給口に多孔質部材が設けられているため、エアが多孔質部材を通過し、エアの勢いが抑えられることにより、エア供給口から吐出されるエアがエア供給口全体に亘って均一化され、エア供給量の局所的な強弱を抑えることができる。これにより、従来エア供給量にばらつきが生じることが抑えられ、塗布膜にムラが形成される問題を回避することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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