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公開番号2024059392
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-01
出願番号2022167050
出願日2022-10-18
発明の名称減圧乾燥機
出願人ファインマシーンカタオカ株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類F26B 5/04 20060101AFI20240423BHJP(乾燥)
要約【課題】カプセルの形状に特化した、効率的な真空乾燥をすることができる減圧乾燥機を提供する。
【解決手段】減圧乾燥機1は、躯体(基台)に設けた台座30を備えた底部20と、この底部に被嵌されるカプセル40と、で形成した減圧乾燥室を備え、前記減圧乾燥室の上部にヒーター50を、その下部に第2の反射板52dを備えており、前記第2の反射板52d、前記底部20にワーク200を収容可能とし、前記カプセル40を昇降可能とした構成である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
躯体（基台）に設けた台座を備えた底部と、
この底部に被嵌されるカプセルと、
で形成した減圧乾燥室を備え、
前記減圧乾燥室の上部にヒーターを、その下部に反射板を備えており、
前記反射板と、前記底部にワークを収容可能とし、
前記カプセルを昇降可能とした減圧乾燥機。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
前記ヒーターは、赤外線カーボンランプヒーターである、請求項１に記載の減圧乾燥機。
【請求項３】
前記カプセルは、下面が開口した半球状の半截碗型の形状に形成されている、請求項１に記載の減圧乾燥機。
【請求項４】
前記底部の上面は、フラットな形状に形成されている、請求項１に記載の減圧乾燥機。
【請求項５】
前記カプセルを昇降可能な昇降機構を備える、請求項１に記載の減圧乾燥機。
【請求項６】
前記底部の縁部に設けられたシール材を備え、
前記シール材は、前記底部と、前記カプセルの下端部と、の間を密封する、請求項１に記載の減圧乾燥機。
【請求項７】
前記底部に排気口が形成され、
前記排気口と連通する真空ポンプを備える、請求項１に記載の減圧乾燥機。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、減圧乾燥機に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、容器内の減圧下において、飽和蒸気温度を、７０℃以下にし、低温の水蒸気で、安全な状態で、水分凍結とか、乾燥処理終了後の大気開放時、又は大気中の湿度下に於いて、水分結露が発生せず、良質な乾燥を可能とした発明である。
【０００３】
その特徴は、大気圧を確保しつつ、内側容器中を窒素雰囲気で保ち、半導体不良の原因の一つである、自然酸化膜の成長を止めて、安定した表面状態を確保できる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第３３３６１０８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示された減圧乾燥装置においては、装置を２重容器とし、外側容器、内側容器に圧力制御弁を設けたため、真空系の逆流事故による、汚染物質が内側容器内に侵入させないようにすることができる。また、逆に、ガス供給ポートから窒素ブローを行うため、ごみを排出することができ、常に清浄な空間で乾燥することができる。また、ランプヒーターを反射板で覆い、真空容器とすることにより断熱構造となり、外部への熱放出がなくなり、クリーンルームでの発塵のもとになる断熱材等を不要にすることができ、装置を簡易、清浄なものとすることができる。更に、ヒーター制御、真空ポンプの制御、処理終了後の窒素ブロー等、一切のコントロールを、圧力制御弁及びその信号のみで行うので、構成が安価で、かつ簡単な制御で運用できる装置構成とすることができる。
【０００６】
しかしながら、カプセルの形状に特化した、効率的な真空乾燥ではない。
【０００７】
本発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、請求項１～請求項７を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の実施の形態に係る減圧乾燥機は、
躯体（基台）に設けた台座を備えた底部と、
この底部に被嵌されるカプセルと、
で形成した減圧乾燥室を備え、
前記減圧乾燥室の上部にヒーターを、その下部に反射板を備えており、
前記反射板と、前記底部にワークを収容可能とし、
前記カプセルを昇降可能とした構成でもよい。
【０００９】
前記ヒーターは、赤外線カーボンランプヒーターであってもよい。
【００１０】
前記カプセルは、下面が開口した半球状の半截碗型の形状に形成されていてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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