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公開番号2024052951
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-12
出願番号2024032090,2021511345
出願日2024-03-04,2020-03-12
発明の名称露光装置、及び製造方法
出願人株式会社ニコン
代理人個人,個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20240405BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】装置の小型化(フットプリントの狭小化)を図る。
【解決手段】露光装置は、基板を照射する光学系と、基板を保持しながら移動するステージ装置と、基板を保持する保持部と、光学系、ステージ装置、および、保持部を収容するチャンバと、ステージ装置を移動させる制御装置と、を含み、ステージ装置は、保持装置を含み、保持部は、基板がチャンバの開口内に位置する状態で基板を保持できる位置に位置し、制御装置は、ステージ装置が保持部の下方に位置する状態で、保持部によって保持された基板において露光領域と重ならない部分を保持装置に保持させ、ステージ装置が保持部から基板を受け取るように、基板の部分を保持装置に保持させた状態で、ステージ装置を保持部から遠ざけるように移動させ、かつ基板を保持しているステージ装置を光学系に対して移動させながら、光学系に基板を照射させる。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
基板を照射する光学系と、
前記基板を保持しながら移動するステージ装置と、
前記基板を保持する保持部と、
前記光学系、前記ステージ装置、および、前記保持部を収容するチャンバと、
前記ステージ装置を移動させる制御装置と、を含み、
前記ステージ装置は、保持装置を含み、
前記保持部は、前記基板が前記チャンバの開口内に位置する状態で前記基板を保持できる位置に位置し、
前記制御装置は、
前記ステージ装置が前記保持部の下方に位置する状態で、前記保持部によって保持された前記基板において露光領域と重ならない部分を前記保持装置に保持させ、
前記ステージ装置が前記保持部から前記基板を受け取るように、前記基板の前記部分を前記保持装置に保持させた状態で、前記ステージ装置を前記保持部から遠ざけるように移動させ、かつ、
前記基板を保持している前記ステージ装置を前記光学系に対して移動させながら、前記光学系に前記基板を照射させる、
露光装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記保持部は、前記基板が前記ステージ装置の上面に対して傾斜するように前記基板を保持する、請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記保持部は、前記基板が、前記ステージ装置の上面に対して傾斜する状態から、前記ステージ装置の前記上面に対して平行に近づいた状態になるように、前記基板を保持する姿勢を変更する、
請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】
前記制御装置は、
前記ステージ装置が前記保持部の下方に位置する状態で、前記保持部によって非接触保持された前記部分を前記保持装置に接触保持させ、
前記ステージ装置が前記基板を非接触保持するように、前記基板の前記部分を前記保持装置に接触保持させた状態で、前記ステージ装置を前記保持部から遠ざけるように移動させ、かつ
前記基板の前記部分を接触保持している前記保持装置を下降させ、前記ステージ装置に前記基板を接触保持させる、
請求項１～３のいずれか一項に記載の露光装置。
【請求項５】
前記ステージ装置は、前記基板の裏面に気体を供給する孔部を含み、
前記制御装置は、
前記基板の前記裏面へ前記孔部を介して前記気体を供給することで前記ステージ装置に前記基板を非接触保持させる、
請求項４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記制御装置は、前記基板が前記保持部上をスライドして前記ステージ装置が前記保持部から前記基板を受け取るように、前記基板の前記部分を前記保持装置に保持させた状態で、前記ステージ装置を前記保持部から遠ざけるように移動させる、請求項１に記載の露光装置。
【請求項７】
前記保持装置は、前記ステージ装置が移動する方向において前記ステージ装置の端部に設けられている、請求項１に記載の露光装置。
【請求項８】
前記保持部は、前記開口と前記光学系の間に位置する、請求項１に記載の露光装置。
【請求項９】
前記ステージ装置は、前記基板を保持しながら前記光学系に対して走査方向に移動し、
前記走査方向において、前記保持部は、前記開口と前記光学系の間に位置する、
請求項１に記載の露光装置。
【請求項１０】
前記制御装置は、前記ステージ装置が前記保持部から前記基板を受け取るように、前記基板の前記部分を前記保持装置に保持させた状態で、前記ステージ装置を、前記光学系に近づけ前記保持部から遠ざけるように移動させる、請求項１に記載の露光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、露光装置、及び製造方法に関する。
続きを表示（約 4,100 文字）【背景技術】
【０００２】
液晶表示素子、半導体素子等の電子デバイスを製造するリソグラフィ工程では、マスク（又はレチクル）に形成されたパターンを、エネルギビームを用いて基板（ガラス又はプラスチック等からなる基板、半導体ウエハ等）上に転写する露光装置が用いられている。
【０００３】
この種の露光装置においては、基板搬送装置を用いて、基板を保持するステージ装置上の露光済みの基板の搬出、及び新たな基板のステージ装置上への搬入が行われる。基板の搬送方法としては、例えば、特許文献１に記載の方法が知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０１３／１５０７８７号
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
露光装置は、基板を照射する光学系と、前記基板を保持しながら移動するステージ装置と、前記基板を保持する保持部と、前記光学系、前記ステージ装置、および、前記保持部を収容するチャンバと、前記ステージ装置を移動させる制御装置と、を含み、前記ステージ装置は、保持装置を含み、前記保持部は、前記基板が前記チャンバの開口内に位置する状態で前記基板を保持できる位置に位置し、前記制御装置は、前記ステージ装置が前記保持部の下方に位置する状態で、前記保持部によって保持された前記基板において露光領域と重ならない部分を前記保持装置に保持させ、前記ステージ装置が前記保持部から前記基板を受け取るように、前記基板の前記部分を前記保持装置に保持させた状態で、前記ステージ装置を前記保持部から遠ざけるように移動させ、かつ前記基板を保持している前記ステージ装置を前記光学系に対して移動させながら、前記光学系に前記基板を照射させる。
【０００６】
なお、後述の実施形態の構成を適宜改良しても良く、また、少なくとも一部を他の構成物に代替させても良い。更に、その配置について特に限定のない構成要件は、実施形態で開示した配置に限らず、その機能を達成できる位置に配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１（ａ）は、第１実施形態に係る露光装置を概略的に示す図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ－Ａ線断面図である。
図１（ａ）の横断面図である。
図３（ａ）は、図１（ａ）の基板搬出入ユニットを取り出して示す図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）の基板搬出入ユニットを＋Ｘ側から見た状態を示す図である。
図４（ａ）、図４（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び図１（ａ）のＡ－Ａ線断面図であり、第１実施形態の基板交換動作を説明するための図（その１）である。
図５（ａ）、図５（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び図１（ａ）のＡ－Ａ線断面図であり、第１実施形態の基板交換動作を説明するための図（その２）である。
図６（ａ）、図６（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び図１（ａ）のＡ－Ａ線断面図であり、第１実施形態の基板交換動作を説明するための図（その３）である。
図７（ａ）、図７（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び図１（ａ）のＡ－Ａ線断面図であり、第１実施形態の基板交換動作を説明するための図（その４）である。
図８（ａ）、図８（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び図１（ａ）のＡ－Ａ線断面図であり、第１実施形態の基板交換動作を説明するための図（その５）である。
図９（ａ）、図９（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び図１（ａ）のＡ－Ａ線断面図であり、第１実施形態の基板交換動作を説明するための図（その６）である。
図１０（ａ）、図１０（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び図１（ａ）のＡ－Ａ線断面図であり、第１実施形態の基板交換動作を説明するための図（その７）である。
図１１（ａ）、図１１（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び図１（ａ）のＡ－Ａ線断面図であり、第１実施形態の基板交換動作を説明するための図（その８）である。
第２実施形態に係る露光装置を示す図（その１）である。
第２実施形態に係る露光装置を示す図（その２）である。
第３実施形態に係る露光装置の横断面図である。
図１５（ａ）、図１５（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び縦断面図であり、第３実施形態の基板交換動作を説明するための図（その１）である。
図１６（ａ）、図１６（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び縦断面図であり、第３実施形態の基板交換動作を説明するための図（その２）である。
図１７（ａ）、図１７（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び縦断面図であり、第３実施形態の基板交換動作を説明するための図（その３）である。
図１８（ａ）、図１８（ｂ）は、ステージ装置近傍の平面図及び縦断面図であり、第３実施形態の基板交換動作を説明するための図（その４）である。
図１９（ａ）、図１９（ｂ）は、第４実施形態に係る露光装置のステージ装置近傍の平面図及び縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その１）である。
図２０（ａ）、図２０（ｂ）は、第４実施形態に係る露光装置のステージ装置近傍の平面図及び縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その２）である。
図２１（ａ）、図２１（ｂ）は、第５実施形態に係る基板搬出入ユニットを説明するための図である。
図２２（ａ）及び図２２（ｂ）は、第６実施形態に係る露光装置の横断面図及び縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その１）である。
図２３（ａ）及び図２３（ｂ）は、第６実施形態に係る露光装置の横断面図及び縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その２）である。
第６実施形態に係る露光装置の縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その３）である。
第７実施形態に係る露光装置の縦断面図である。
図２６（ａ）、図２６（ｂ）は、第８実施形態に係る露光装置の横断面図及び縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その１）である。
図２７（ａ）、図２７（ｂ）は、第８実施形態の基板交換動作を説明するための図（その２）である。
図２８（ａ）、図２８（ｂ）は、第８実施形態の基板交換動作を説明するための図（その３）である。
図２９（ａ）、図２９（ｂ）は、第８実施形態の基板交換動作を説明するための図（その４）である。
図３０（ａ）、図３０（ｂ）は、第８実施形態の基板交換動作を説明するための図（その５）である。
図３１（ａ）、図３１（ｂ）は、第９実施形態に係る露光装置の横断面図及び縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その１）である。
図３２（ａ）、図３２（ｂ）は、第９実施形態に係る露光装置における基板交換動作を説明するための図（その２）である。
図３３（ａ）、図３３（ｂ）は、第１０実施形態に係る露光装置の横断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その１）である。
図３４（ａ）、図３４（ｂ）は、第１０実施形態に係る露光装置の横断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その２）である。
図３５（ａ）、図３５（ｂ）は、第１１実施形態に係る露光装置の横断面図及び縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その１）である。
図３６（ａ）、図３６（ｂ）は、第１１実施形態に係る露光装置の横断面図及び縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その２）である。
図３７（ａ）、図３７（ｂ）は、第１１実施形態に係る露光装置の横断面図及び縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その３）である。
図３８（ａ）～図３８（ｃ）は、第１１実施形態に係る露光装置の縦断面図であり、基板交換動作を説明するための図（その４）である。
図３９（ａ）は、第１２実施形態に係る衝立部材近傍の縦断面図であり、図３９（ｂ）は、図３９（ａ）のＢ－Ｂ線断面図である。
図４０（ａ）、図４０（ｂ）は、第１２実施形態における基板交換動作を説明するための図（その１）である。
図４１（ａ）～図４１（ｃ）は、第１２実施形態における基板交換動作を説明するための図（その２）である。
基板フィーダの変形例（その１）を説明するための図である。
図４３（ａ）、図４３（ｂ）は、基板フィーダの変形例（その２）を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
≪第１実施形態≫
以下、本発明に係る第１実施形態について、図１～図１１に基づいて説明する。
【０００９】
図１（ａ）は、第１実施形態に係る露光装置１００の構成を概略的に示す縦断面図である。また、図１（ｂ）には、図１（ａ）のＡ－Ａ線断面図が示され、図２には、図１（ａ）の横断面図が示されている。なお、図１（ｂ）においては、便宜上、チャンバ２００や照明系１２の図示が省略されている。
【００１０】
露光装置１００は、図１（ａ）に示すように、チャンバ２００と、チャンバ２００内に収容された露光装置本体１０、基板搬出入ユニット１５０、及び基板スライドハンド１４０と、を備える。露光装置１００のチャンバ２００の外側には、外部搬送ロボット３００が設けられており、外部搬送ロボット３００により、外部装置（不図示）から露光装置１００への基板Ｐの搬送及び露光装置１００から外部装置への基板Ｐの搬送が行われる。
（【００１１】以降は省略されています）

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