特許ウォッチ

公開番号2024050485
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-10
出願番号2023162417
出願日2023-09-26
発明の名称塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
出願人住友化学株式会社
代理人弁理士法人新樹グローバル・アイピー
主分類G03F 7/004 20060101AFI20240403BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】良好なラインエッジラフネスを有するレジストパターンを製造することができる塩、酸発生剤及びレジスト組成物等を提供することを目的とする。
【解決手段】式(I)で表される塩、これを含む酸発生剤及びレジスト組成物。
<com:Image com:imageContentCategory="Drawing"> <com:ImageFormatCategory>TIFF</com:ImageFormatCategory> <com:FileName>2024050485000175.tif</com:FileName> <com:HeightMeasure com:measureUnitCode="Mm">20</com:HeightMeasure> <com:WidthMeasure com:measureUnitCode="Mm">126</com:WidthMeasure> </com:Image> [式中、Q¹、Q²、R¹及びR²はそれぞれ水素原子、フッ素原子等を表す。zは0～6の整数を表す。X¹及びX²はそれぞれ*-CO-O-、*-O-CO-、*-O-CO-O-又は*-O-を表す。L¹は、置換基を有してもよい炭素数13～36の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる-CH₂-は、-O-、-S-、-SO₂-又は-CO-に置き換わっていてもよい。R³は、置換基を有してもよい炭素数1～24の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる-CH₂-は、-O-、-S-、-SO₂-又は-CO-に置き換わっていてもよい。Z⁺は、有機カチオンを表す。]
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
式（Ｉ）で表される塩を含有する酸発生剤。
TIFF
2024050485000169.tif
21
126
［式（Ｉ）中、
Ｑ
１
及びＱ
２
は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のアルキル基又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
Ｒ
１
及びＲ
２
は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のアルキル基又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
ｚは、０～６のいずれかの整数を表し、ｚが２以上のとき、複数のＲ
１
及びＲ
２
は互いに同一であっても異なってもよい。
Ｘ
1
は、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－を表し、＊は、Ｃ（Ｒ
１
）（Ｒ
２
）又はＣ（Ｑ
１
）（Ｑ
２
）との結合部位を表す。
Ｘ
２
は、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－を表し、＊は、Ｌ
１
との結合部位を表す。
Ｌ
1
は、置換基を有してもよい炭素数１３～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒ
3
は、置換基を有してもよい炭素数１～２４の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｚ
＋
は、有機カチオンを表す。］
続きを表示（約 2,800 文字）【請求項２】
Ｒ
3
が、
置換基を有してもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、
置換基を有していてもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、
置換基を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基と置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は
置換基を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基と置換基を有していてもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）である請求項１に記載の酸発生剤。
【請求項３】
Ｌ
1
が、炭素数１３～２４の分岐状のアルカンジイル基である請求項１に記載の酸発生剤。
【請求項４】
Ｌ
1
が、炭素数１３～２４の１－アルキル－１，２－エタンジイル基又は２－アルキル－１，２－エタンジイル基である請求項３に記載の酸発生剤。
【請求項５】
式（Ｉ）で表される塩のアニオンが、式（Ｉ－ａ－Ａ）で表されるアニオンである請求項１に記載の酸発生剤。
TIFF
2024050485000170.tif
29
99
［式（Ｉ－ａ－Ａ）中、
Ｑ
１
、Ｑ
２
、Ｒ
１
、Ｒ
２
、ｚ、Ｘ
１
、Ｘ
２
及びＲ
３
は、式（Ｉ）と同じ意味を表す。
Ｌ
１１
は、炭素数１～４の直鎖状のアルカンジイル基を表す。
Ｒ
Ｌ１
は、炭素数１０～２４の鎖状のアルキル基を表す。
Ｒ
Ｌ２
は、炭素数１～３のアルキル基を表す。
ｍＬは、０～２のいずれかの整数を表す。］
【請求項６】
請求項１～５のいずれかに記載の酸発生剤を含有するレジスト組成物。
【請求項７】
さらに、酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂を含有し、
酸不安定基を有する構造単位が、式（ａ１－０）で表される構造単位、式（ａ１－１）で表される構造単位及び式（ａ１－２）で表される構造単位からなる群より選ばれる少なくとも１種を含む請求項６に記載のレジスト組成物。
TIFF
2024050485000171.tif
44
144
［式（ａ１－０）、式（ａ１－１）及び式（ａ１－２）中、
Ｌ
a01
、Ｌ
ａ１
及びＬ
ａ２
は、それぞれ独立に、－Ｏ－又は＊－Ｏ－（ＣＨ
２
）
ｋ１
－ＣＯ－Ｏ－を表し、ｋ１は１～７のいずれかの整数を表し、＊は－ＣＯ－との結合部位を表す。
Ｒ
a01
、Ｒ
ａ４
及びＲ
ａ５
は、それぞれ独立に、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒ
a02
、Ｒ
a03
及びＲ
a04
は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組み合わせた基を表す。
Ｒ
ａ６
及びＲ
ａ７
は、それぞれ独立に、炭素数１～８のアルキル基、炭素数２～８のアルケニル基、炭素数３～１８の脂環式炭化水素基、炭素数６～１８の芳香族炭化水素基又はこれらを組合せることにより形成される基を表す。
ｍ１’は０～１４のいずれかの整数を表す。
ｎ１は０～１０のいずれかの整数を表す。
ｎ１’は０～３のいずれかの整数を表す。］
【請求項８】
酸不安定基を有する構造単位を含む樹脂が、式（ａ２－Ａ）で表される構造単位を含む請求項７に記載のレジスト組成物。
TIFF
2024050485000172.tif
51
60
［式（ａ２－Ａ）中、
Ｒ
a50
は、水素原子、ハロゲン原子又はハロゲン原子を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基を表す。
Ｒ
a51
は、ハロゲン原子、ヒドロキシ基、炭素数１～６のアルキル基、炭素数１～６のアルコキシ基、炭素数２～１２のアルコキシアルキル基、炭素数２～１２のアルコキシアルコキシ基、炭素数２～４のアルキルカルボニル基、炭素数２～４のアルキルカルボニルオキシ基、アクリロイルオキシ基又はメタクリロイルオキシ基を表す。
Ａ
a50
は、単結合又は＊－Ｘ
a51
－（Ａ
a52
－Ｘ
a52
）
nｂ
－を表し、＊は－Ｒ
a50
が結合する炭素原子との結合部位を表す。
Ａ
a52
は、炭素数１～８のアルカンジイル基を表す。
Ｘ
a51
及びＸ
a52
は、それぞれ独立に、－Ｏ－、－ＣＯ－Ｏ－又は－Ｏ－ＣＯ－を表す。
ｎｂは、０又は１を表す。
ｍｂは、０～４のいずれかの整数を表す。ｍｂが２以上のいずれかの整数である場合、複数のＲ
a51
は互いに同一であっても異なっていてもよい。］
【請求項９】
酸発生剤から発生する酸よりも酸性度の弱い酸を発生する塩をさらに含有する請求項６に記載のレジスト組成物。
【請求項１０】
（１）請求項６に記載のレジスト組成物を基板上に塗布する工程、
（２）塗布後の組成物を乾燥させて組成物層を形成する工程、
（３）組成物層に露光する工程、
（４）露光後の組成物層を加熱する工程、及び
（５）加熱後の組成物層を現像する工程、
を含むレジストパターンの製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法に関する。
続きを表示（約 8,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、下記式で表される塩、及び該塩を酸発生剤として含有するレジスト組成物がそれぞれ記載されている。
TIFF
2024050485000001.tif
26
82
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１８７３４９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、上記の塩を含有するレジスト組成物から形成されたレジストパターンよりも、ラインエッジラフネス（ＬＥＲ）が良好なレジストパターンを形成する塩を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、以下の発明を含む。
［１］式（Ｉ）で表される塩を含有する酸発生剤。
TIFF
2024050485000002.tif
21
126
［式（Ｉ）中、
Ｑ
１
及びＱ
２
は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のアルキル基又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
Ｒ
１
及びＲ
２
は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１～６のアルキル基又は炭素数１～６のペルフルオロアルキル基を表す。
ｚは、０～６のいずれかの整数を表し、ｚが２以上のとき、複数のＲ
１
及びＲ
２
は互いに同一であっても異なってもよい。
Ｘ
1
は、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－を表し、＊は、Ｃ（Ｒ
１
）（Ｒ
２
）又はＣ（Ｑ
１
）（Ｑ
２
）との結合部位を表す。
Ｘ
２
は、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－、＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－を表し、＊は、Ｌ
１
との結合部位を表す。
Ｌ
1
は、置換基を有してもよい炭素数１３～３６の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｒ
3
は、置換基を有してもよい炭素数１～２４の炭化水素基を表し、該炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｚ
＋
は、有機カチオンを表す。］
［２］Ｒ
3
が、
置換基を有してもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基（該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）、
置換基を有していてもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基、
置換基を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基と置換基を有していてもよい炭素数３～１８の脂環式炭化水素基とを組み合わせた基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよく、該脂環式炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）又は
置換基を有していてもよい炭素数１～６のアルキル基と置換基を有していてもよい炭素数６～１８の芳香族炭化水素基とを組み合わせた基（該アルキル基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。）である［１］に記載の酸発生剤。
［３］Ｌ
1
が、炭素数１３～２４の分岐状のアルカンジイル基である［１］又は［２］に記載の酸発生剤。
［４］Ｌ
1
が、炭素数１３～２４の１－アルキル－１，２－エタンジイル基又は２－アルキル－１，２－エタンジイル基である［３］に記載の酸発生剤。
［５］式（Ｉ）で表される塩のアニオンが、式（Ｉ－ａ－Ａ）で表されるアニオンである［１］～［４］のいずれかに記載の酸発生剤。
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2024050485000003.tif
29
99
［式（Ｉ－ａ－Ａ）中、
【発明の効果】
【０００６】
本発明の塩を含有するレジスト組成物を用いることにより、良好なラインエッジラフネス（ＬＥＲ）でレジストパターンを製造することができる。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
本明細書において、「（メタ）アクリル系モノマー」とは、「アクリル系モノマー及びメタクリル系モノマーの少なくとも１種」を意味する。「（メタ）アクリレート」及び「（メタ）アクリル酸」等の表記も同様の意味を表す。本明細書中に記載する基において、直鎖構造と分岐構造の両方をとり得るものについては、そのいずれでもよい。炭化水素基等に含まれる－ＣＨ
2
－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＣＯ－又は－ＳＯ
２
－で置き換わる場合、各基において同様の例を適用するものとする。「組み合わせた基」とは、例示した基を２種以上結合させた基を意味し、それら基の価数は結合形態によって適宜変更してもよい。「由来する」又は「誘導される」とは、その分子中に含まれる重合性Ｃ＝Ｃ結合が重合により－Ｃ－Ｃ－基（単結合）となることを指す。立体異性体が存在する場合は、全ての立体異性体を含む。各基は、置換基の数等によって、その基に含まれる任意の位置及び数の水素原子が結合手に置き換わることがある。置換基における炭素数は、被置換基の炭素数には含めない。
本明細書において、「レジスト組成物の固形分」とは、レジスト組成物の総量から、後述する溶剤（Ｅ）を除いた成分の合計を意味する。
【０００８】
〔式（Ｉ）で表される塩〕
本発明は、式（Ｉ）で表される塩（以下「塩（Ｉ）」という場合がある）に関する。
塩（Ｉ）のうち、正電荷を有する側を「カチオン（Ｉ）」、負電荷を有する側を「アニオン（Ｉ）」と称することがある。
TIFF
2024050485000006.tif
21
126
［式中、全ての符号は、それぞれ前記と同じ意味を表す。］
【０００９】
〔アニオン（Ｉ）〕
式（Ｉ）において、Ｑ
１
、Ｑ
２
、Ｒ
１
及びＲ
１
のペルフルオロアルキル基としては、トリフルオロメチル基、ペルフルオロエチル基、ペルフルオロプロピル基、ペルフルオロイソプロピル基、ペルフルオロブチル基、ペルフルオロｓｅｃ－ブチル基、ペルフルオロｔｅｒｔ－ブチル基、ペルフルオロペンチル基、ペルフルオロヘキシル基などが挙げられる。ペルフルオロアルキル基の炭素数は、好ましくは１～４であり、より好ましくは１～３である。
Ｑ
１
、Ｑ
２
、Ｒ
１
及びＲ
２
のアルキル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基等が挙げられる。アルキル基の炭素数は、好ましくは１～４であり、より好ましくは１～３である。
Ｑ
１
及びＱ
２
は、少なくとも一方に、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基を含むことが好ましく、少なくとも一方が、フッ素原子又はペルフルオロアルキル基であることがより好ましく、それぞれ独立に、トリフルオロメチル基又はフッ素原子であることがさらに好ましく、ともにフッ素原子であることがさらにより好ましい。
Ｒ
１
及びＲ
１
は、それぞれ独立に、好ましくは水素原子、フッ素原子、メチル基又はトリフルオロメチル基であり、より好ましくは水素原子又はフッ素原子であり、さらに好ましくは水素原子である。
ｚは、０～４のいずれかの整数であることが好ましく、０～３のいずれかの整数であることがより好ましく、０～２のいずれかの整数であることがさらに好ましく、０又は１であることがさらにより好ましい。
Ｘ
１
は、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－であることが好ましく、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－ＣＯ－であることがより好ましい（＊はＣ（Ｒ
１
）（Ｒ
２
）又はＣ（Ｑ
１
）（Ｑ
２
）との結合部位を表す。）。
Ｘ
２
は、＊－ＣＯ－Ｏ－、＊－Ｏ－ＣＯ－又は＊－Ｏ－ＣＯ－Ｏ－であることが好ましく、＊－ＣＯ－Ｏ－又は＊－Ｏ－ＣＯ－であることがより好ましい（＊はＬ
１
との結合部位を表す。）。
【００１０】
Ｌ
１
における炭化水素基としては、アルカンジイル基等の鎖式炭化水素基、脂環式炭化水素基、芳香族炭化水素基、脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とから形成される炭化水素基、芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とから形成される炭化水素基等が挙げられる。
Ｌ
１
における炭化水素基の炭素数は、Ｌ
１
に含まれる鎖式炭化水素基の炭素数、脂環式炭化水素基の炭素数及び芳香族炭化水素基の炭素数の合計である。炭化水素基の合計炭素数は、好ましくは１３～３４であり、より好ましくは１３～３２であり、さらに１３～３０であり、より一層好ましくは１３～２８である。
アルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基、ヘプタデカン－１，１７－ジイル基、オクタデカン－１，１８－ジイル基、ノナデカン－１，１９－ジイル基、イコサン－１，２０－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；及び
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基、１－ウンデカン－エタン－１，２－ジイル基、１－ドデカン－エタン－１，２－ジイル基、１－トリデカン－エタン－１，２－ジイル基、１－テトラデカン－エタン－１，２－ジイル基、１－ペンタデカン－エタン－１，２－ジイル基、１－イコサン－エタン－１，２－ジイル基、１－ヘンイコサン－エタン－１，２－ジイル基、１－ドコサン－エタン－１，２－ジイル基、１－トリアコンタン－エタン－１，２－ジイル基、１－テトラコンタン－エタン－１，２－ジイル基、２－ウンデカン－エタン－１，２－ジイル基、２－ドデカン－エタン－１，２－ジイル基、２－トリデカン－エタン－１，２－ジイル基、２－テトラデカン－エタン－１，２－ジイル基、２－ペンタデカン－エタン－１，２－ジイル基、２－イコサン－エタン－１，２－ジイル基、２－ヘンイコサン－エタン－１，２－ジイル基、２－ドコサン－エタン－１，２－ジイル基、２－トリアコンタン－エタン－１，２－ジイル基、２－テトラコンタン－エタン－１，２－ジイル基、１－ウンデカン－プロパン－１，３－ジイル基、１－ドデカン－プロパン－１，３－ジイル基、１－トリデカン－プロパン－１，３－ジイル基、１－テトラデカン－プロパン－１，３－ジイル基、１－ペンタデカン－プロパン－１，３－ジイル基、１－イコサン－プロパン－１，３－ジイル基、１－ヘンイコサン－プロパン－１，３－ジイル基、１－ドコサン－プロパン－１，３－ジイル基、１－トリアコンタン－プロパン－１，３－ジイル基、１－テトラコンタン－プロパン－１，３－ジイル基、３－ウンデカン－プロパン－１，３－ジイル基、３－ドデカン－プロパン－１，３－ジイル基、３－トリデカン－プロパン－１，３－ジイル基、３－テトラデカン－プロパン－１，３－ジイル基、３－ペンタデカン－プロパン－１，３－ジイル基、３－イコサン－プロパン－１，３－ジイル基、３－ヘンイコサン－プロパン－１，３－ジイル基、３－ドコサン－プロパン－１，３－ジイル基、３－トリアコンタン－プロパン－１，３－ジイル基、３－テトラコンタン－プロパン－１，３－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。分岐状のアルカンジイル基の末端は、メチル基等のアルキル基であってもよい。
鎖式炭化水素基の炭素数は、好ましくは２～３４であり、より好ましくは１３～３４であり、さらに好ましくは１３～３２であり、より一層１３～３０であり、さらに一層好ましくは１３～２８である。
脂環式炭化水素基としては、以下の脂環式炭化水素基等が挙げられる。結合部位は任意の位置とすることができる。
TIFF
2024050485000007.tif
45
162
具体的には、シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等の単環式シクロアルカンジイル基である単環式の２価の脂環式炭化水素基、
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基である多環式の２価の脂環式炭化水素基等が挙げられる。
脂環式炭化水素基の炭素数は、好ましくは３～１８であり、より好ましくは３～１６であり、さらに好ましくは３～１２である。
芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等のアリーレン基等の２価の芳香族炭化水素基が挙げられる。芳香族炭化水素基の炭素数は、好ましくは６～１８であり、より好ましくは６～１４であり、さらに好ましくは６～１０である。
脂環式炭化水素基と鎖式炭化水素基とから形成される炭化水素基又は芳香族炭化水素基と鎖式炭化水素基とから形成される炭化水素基としては、例えば、＊－Ｌ
１１
－Ｗ
１
－Ｌ
１２
－で表される炭化水素基（Ｌ
１１
及びＬ
１２
は、それぞれ単結合又はアルカンジイル基を表し、Ｌ
１１
及びＬ
１２
のいずれか一方は、アルカンジイル基である。Ｗ
１
は、脂環式炭化水素基又は芳香族炭化水素基を表す。＊は、Ｘ
１
との結合部位を表す。）又は側鎖に１以上の脂環式炭化水素基もしくは芳香族炭化水素基が結合する直鎖状もしくは分岐状のアルカンジイル基が挙げられる。
Ｌ
１１
、Ｌ
１２
及び側鎖に１以上の脂環式炭化水素基もしくは芳香族炭化水素基が結合する直鎖状もしくは分岐状のアルカンジイル基としては、メチレン基、エチレン基、プロパン－１，３－ジイル基、ブタン－１，４－ジイル基、ペンタン－１，５－ジイル基、ヘキサン－１，６－ジイル基、ヘプタン－１，７－ジイル基、オクタン－１，８－ジイル基、ノナン－１，９－ジイル基、デカン－１，１０－ジイル基、ウンデカン－１，１１－ジイル基、ドデカン－１，１２－ジイル基、トリデカン－１，１３－ジイル基、テトラデカン－１，１４－ジイル基、ペンタデカン－１，１５－ジイル基、ヘキサデカン－１，１６－ジイル基及びヘプタデカン－１，１７－ジイル基等の直鎖状アルカンジイル基；及び
エタン－１，１－ジイル基、プロパン－１，１－ジイル基、プロパン－１，２－ジイル基、プロパン－２，２－ジイル基、ペンタン－２，４－ジイル基、２－メチルプロパン－１，３－ジイル基、２－メチルプロパン－１，２－ジイル基、ペンタン－１，４－ジイル基、２－メチルブタン－１，４－ジイル基等の分岐状アルカンジイル基が挙げられる。脂環式炭化水素基としては、シクロブタン－１，３－ジイル基、シクロペンタン－１，３－ジイル基、シクロヘキサン－１，４－ジイル基、シクロオクタン－１，５－ジイル基等の単環式シクロアルカンジイル基である単環式の２価の脂環式炭化水素基；及び
ノルボルナン－１，４－ジイル基、ノルボルナン－２，５－ジイル基、アダマンタン－１，５－ジイル基、アダマンタン－２，６－ジイル基等の多環式シクロアルカンジイル基である多環式の脂環式炭化水素基が挙げられる。
芳香族炭化水素基としては、フェニレン基、ナフチレン基、アントリレン基、ビフェニレン基、フェナントリレン基等のアリーレン基等の芳香族炭化水素基が挙げられる。
Ｌ
１
で表される炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－は、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっていてもよい。
Ｌ
１
の炭素数１３～３６の炭化水素基に含まれる－ＣＨ
２
－が－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わっている場合、置き換わる前の炭素数を該炭化水素基の炭素数とする。
Ｌ
１
で表される炭化水素基に含まれる－ＣＨ
2
－が、－Ｏ－、－Ｓ－、－ＳＯ
２
－又は－ＣＯ－に置き換わった基としては、ヒドロキシ基（メチル基中に含まれる－ＣＨ
2
－が、－Ｏ－に置き換わった基）、チオール基（メチル基中に含まれる－ＣＨ
２
－が、－Ｓ－に置き換わった基）、カルボキシ基（エチル基中に含まれる－ＣＨ
2
－ＣＨ
2
－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルコキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ
2
－が、－Ｏ－に置き換わった基）、アルコキシカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ
2
－ＣＨ
2
－が、－Ｏ－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニル基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ
2
－が、－ＣＯ－に置き換わった基）、アルキルカルボニルオキシ基（アルキル基中に含まれる任意の位置の－ＣＨ
2
－ＣＨ
（【００１１】以降は省略されています）

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