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公開番号2024048621
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-09
出願番号2022154639
出願日2022-09-28
発明の名称基板搬送トレイ及び基板搬送装置
出願人株式会社アルバック
代理人弁理士法人南青山国際特許事務所
主分類C23C 14/56 20060101AFI20240402BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】軽量かつ剛性に優れ、洗浄を行いやすい基板搬送トレイ及び基板搬送装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る基板搬送トレイは、矩形形状の基板主面を有する基板が載置される開口を囲み、上記基板の4辺にそれぞれ対向する4つのフレームユニットが互いに着脱可能に接合されて構成されている。上記フレームユニットは、上記4辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記1辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長いフレームと、上記フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行なパネルとを具備する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
矩形形状の基板主面を有する基板が載置される開口を囲み、前記基板の４辺にそれぞれ対向する４つのフレームユニットが互いに着脱可能に接合されて構成され、
前記フレームユニットは、
前記４辺のうち1辺と対向し、前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長いフレームと、
前記フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行なパネルと
を具備する基板搬送トレイ。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送トレイであって、
前記フレームユニットは、
前記４辺のうち1辺と対向し、前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長い第１フレームと、
前記第１フレームと対向し、前前記基板主面に垂直な主面と前記基板主面に平行な側面を有する板状であり、前記１辺の延伸方向に沿った長さが前記1辺より長い第２フレームと、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行な第１パネルと、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの前記側面に接合され、前記基板主面に平行であり、前記第１フレーム及び前記第２フレームを挟んで前記第１パネルと対向する第２パネルと
を具備する基板搬送トレイ。
【請求項３】
請求項２に記載の基板搬送トレイであって、
前記フレームユニットは、
前記第１フレーム及び前記第２フレームの主面に垂直な主面と、前記基板主面に平行な側面を有し、前記第１フレームと前記第２フレームを接続する第３フレームと、
前記第３フレームと対向し、前記第１フレーム及び前記第２フレームの主面に垂直な主面と、前記基板主面に平行な側面を有し、前記第１フレームと前記第２フレームを接続する第４フレームと、
をさらに具備し、
前記第１パネルはさらに、前記第３フレーム及び前記第４フレームの前記側面に接合され、
前記第２パネルはさらに、前記第３フレーム及び前記第４フレームの前記側面に接合されている
基板搬送トレイ。
【請求項４】
請求項１から３のうちいずれか1項に記載の基板搬送トレイであって、
４つの前記フレームユニットは、他の前記フレームユニットとの間で前記フレームの間が螺子によって締結されることにより互いに着脱可能に接合され、
前記パネルには、前記螺子を着脱するための開口が設けられている
基板搬送トレイ。
【請求項５】
請求項１から３のうちいずれか1項に記載の基板搬送トレイであって、
前記パネルには、洗浄液を排出するための排液口が設けられている
基板搬送トレイ。
【請求項６】
請求項１から３のうちいずれか1項に記載の基板搬送トレイであって、
前記基板を支持する基板支持ピンと
前記開口を介して対向する２つの前記フレームユニットの間を接続し、前記基板支持ピンが設けられる基板支持ステーと
をさらに具備し、
前記基板支持ステーを前記フレームユニットに支持する支持部には、前記基板支持ステーの熱線膨張を許容する軸受けが設けられている
基板搬送トレイ。
【請求項７】
請求項６に記載の基板搬送トレイであって、
前記軸受けは、前記開口を介して対向する２つの前記フレームユニットのうち鉛直下方側に位置する前記フレームユニット側の前記支持部に設けられている
基板搬送トレイ。
【請求項８】
請求項１から３のうちいずれか1項に記載の基板搬送トレイであって、
前記開口の４つ角のそれぞれにおいて、２つずつの前記フレームユニットの間を接続するリブ
をさらに具備する基板搬送トレイ。
【請求項９】
請求項１から３のうちいずれか1項に記載の基板搬送トレイであって、
前記フレームユニットはチタンからなる
基板搬送トレイ。
【請求項１０】
請求項６に記載の基板搬送トレイであって、
前記フレームユニットはチタンからなり、
前記基板支持ステーはアルミニウムからなる
基板搬送トレイ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送に利用される基板搬送トレイ及び基板搬送装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
基板搬送に用いられる基板搬送トレイ（例えば、特許文献１参照）は、基板が設置される開口を枠状のフレームが囲むように構成されている。基板搬送トレイは質量が軽く、かつ高剛性で変形や歪みが小さいことが求められる。
【０００３】
基板搬送トレイに基板を設置する際に開口と基板との隙間を大きくすると、基板とフレームの間のガタツキによる基板割れが起きるため、開口と基板との隙間を一定値以下とする必要があり、そのためには基板搬送トレイに剛性が必要である。また、剛性が低いと搬送制御の性能悪化の原因となる。基板搬送トレイの質量は小さいほど、搬送アクチュエータの小型化や搬送時のガタツキ等による基板への衝撃緩和が期待され、好適である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１４－７８６００号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来では基板搬送トレイを構成するフレームは一体の削り出し構造であり、質量が大きい。削り出し構造の基板搬送トレイの製造コストには材質の費用が大きく反映されるため、アルミニウム材が多く利用される。しかしながらアルミニウム材は熱線膨張係数が大きく、基板搬送トレイの推進に用いられるガイド磁石や自重キャンセル磁石の位置関係が影響を受けるため、高温の成膜プロセスには適さない。
【０００６】
また、溶接構造の基板搬送トレイも利用されているが、溶接による内部歪みに起因する変形が問題となる。また溶接接合部は分厚い構造とする必要があるため質量も大きくなる。さらに、基板搬送トレイは運用により着膜を生じるため、定期的に洗浄が必要となるが、大型基板の場合、基板搬送トレイの全体で洗浄できないため、洗浄できるサイズまで分解する必要がある。さらに洗浄方法はウェット洗浄が一般的であるが、溶接構造では洗浄液が除去しきれずに真空汚染の問題がある。
【０００７】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、軽量かつ剛性に優れ、洗浄を行いやすい基板搬送トレイ及び基板搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の一形態に係る基板搬送トレイは、矩形形状の基板主面を有する基板が載置される開口を囲み、上記基板の４辺にそれぞれ対向する４つのフレームユニットが互いに着脱可能に接合されて構成されている。
上記フレームユニットは、上記４辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長いフレームと、上記フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行なパネルとを具備する。
【０００９】
上記フレームユニットは、
上記４辺のうち1辺と対向し、上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長い第１フレームと、
上記第１フレームと対向し、前上記基板主面に垂直な主面と上記基板主面に平行な側面を有する板状であり、上記１辺の延伸方向に沿った長さが上記1辺より長い第２フレームと、
上記第１フレーム及び上記第２フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行な第１パネルと、
上記第１フレーム及び上記第２フレームの上記側面に接合され、上記基板主面に平行であり、上記第１フレーム及び上記第２フレームを挟んで上記第１パネルと対向する第２パネルと
を具備してもよい。
【００１０】
上記フレームユニットは、
上記第１フレーム及び上記第２フレームの主面に垂直な主面と、上記基板主面に平行な側面を有し、上記第１フレームと上記第２フレームを接続する第３フレームと、
上記第３フレームと対向し、上記第１フレーム及び上記第２フレームの主面に垂直な主面と、上記基板主面に平行な側面を有し、上記第１フレームと上記第２フレームを接続する第４フレームと、
をさらに具備し、
上記第１パネルはさらに、上記第３フレーム及び上記第４フレームの上記側面に接合され、
上記第２パネルはさらに、上記第３フレーム及び上記第４フレームの上記側面に接合されていてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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