特許ウォッチ

公開番号2024039133
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-22
出願番号2022143461
出願日2022-09-09
発明の名称加工装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類G05B 19/409 20060101AFI20240314BHJP(制御;調整)
要約【課題】何も手に持っていないオペレータによる指令の入力のみを有効とする入力方法を実施可能とする。
【解決手段】加工装置であって、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、操作画面を表示し、指令の入力に使用されるタッチパネル付きディスプレイと、タッチ操作制御部と、を備え、該タッチ操作制御部が入力を受けている間のみ該タッチパネル付きディスプレイを利用して入力された指令を有効とする入力方法を実施できる。好ましくは、該タッチ操作制御部は、該タッチパネル付きディスプレイの表示であり、該入力方法では、該タッチパネル付きディスプレイに表示された該タッチ操作制御部にオペレータの指が接触されているときに限り、該タッチパネル付きディスプレイに表示された入力表示への接触により入力された指令が有効とされる。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被加工物を保持する保持テーブルと、
該保持テーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
操作画面を表示し、指令の入力に使用されるタッチパネル付きディスプレイと、
タッチ操作制御部と、を備え、
該タッチ操作制御部が入力を受けている間のみ該タッチパネル付きディスプレイを利用して入力された指令を有効とする入力方法を実施できることを特徴とする加工装置。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
該タッチ操作制御部は、該タッチパネル付きディスプレイの表示であり、
該入力方法では、該タッチパネル付きディスプレイに表示された該タッチ操作制御部にオペレータの指が接触されているときに限り、該タッチパネル付きディスプレイに表示された入力表示への接触により入力された指令が有効とされることを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項３】
該入力表示は、該タッチパネル付きディスプレイ上において該指から１８ｃｍ以上離れていることを特徴とする請求項２に記載の加工装置。
【請求項４】
該タッチ操作制御部を外装上に具備することを特徴とする請求項１に記載の加工装置。
【請求項５】
該タッチ操作制御部は、該タッチパネル付きディスプレイから１８ｃｍ以上１００ｃｍ以下の距離で離れていることを特徴とする請求項４に記載の加工装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の被加工物を加工する加工装置であって、オペレータによる指令の入力を受け付ける加工装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
電子機器等に組み込まれるデバイスチップの製造工場では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が様々な加工装置によって加工される。工場等には複数の加工装置が配置され、被加工物が各加工装置で順次加工される。このように、デバイスチップの製造工場には、多種多様な装置が配置され使用される。
【０００３】
工場等に置かれる装置は、例えば、被加工物を円環状の切削ブレードで切削する切削装置（例えば、特許文献１参照）、被加工物をレーザビームで加工するレーザ加工装置、被加工物を研磨パッドで研磨する研磨装置、被加工物を研削砥石で研削する研削装置である。
【０００４】
各加工装置は、例えば、被加工物を保持する保持テーブルと、保持テーブルに保持された被加工物を加工する加工ユニットと、保持テーブル及び加工ユニットを相対的に加工送りする加工送りユニットと、を備える。各加工装置は多種多様な機構を備え、各機構を適切に作動させることにより所定の目的を達成する。
【０００５】
さらに、各加工装置には、コンピュータ（マイクロコンピュータ、パーソナルコンピュータ）等で構成される制御ユニットが組み込まれており、制御ユニットが加工装置の各構成要素を制御する。
【０００６】
制御ユニットは、各情報を記憶できるＨＤＤ（Hard Disk Drive）、ＳＳＤ(Solid State Drive)、またはフラッシュメモリ等で構成される記憶部を有する。記憶部には、制御ユニットを作動させるＯＳ(Operating System)、各構成要素に所定の動作をさせるためのプログラム、被加工物の種別や加工の目的により使い分けられる加工条件等のさまざまな情報が格納されている。
【０００７】
指令の入力等に使用される入力ユニットと、各種の情報を表示できる表示ユニットと、の機能を兼ねるタッチパネル付きディスプレイを備える加工装置が知られている（特許文献２参照）。オペレータ（作業者）は、タッチパネル付きディスプレイを使用して、新たな加工条件を入力したり、加工条件に基づいた被加工物の加工を指示したり、加工装置の各構成要素を作動させる指示を入力したりする。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開２００３－１５８０９４号公報
特開２０２２－５３８３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
オペレータは、複数の被加工物が収容されたカセット、被加工物、各種の道具等の荷物を一方の手で持ちながら、他方の手でタッチパネル付きディスプレイを使用することがある。この場合、操作にオペレータが意識を集中させるため、持っていた荷物を落下させたり、周囲の他のオペレータや装置等に荷物を衝突させたりすることがある。また、荷物に気を取られたことに起因する誤入力が生じ易い。そのため、タッチパネル付きディスプレイを使用するオペレータに対して、両手に何も持っていないことが求められる。
【００１０】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、何も手に持っていないオペレータによる指令の入力のみを有効とする入力方法を実施できる加工装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許