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公開番号2025178172
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-05
出願番号2025083402
出願日2025-05-19
発明の名称検査治具、検査システム、検査方法、および検査治具および検査システムを使用して被加工物を検査するためのコンピュータプログラム製品
出願人エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人,個人,個人
主分類G01M 99/00 20110101AFI20251128BHJP(測定;試験)
要約【課題】改善された検査治具、検査システム、および検査方法、ならびに被加工物を検査するための関連するコンピュータプログラム製品を提供する。
【解決手段】検査治具は、被加工物を支持するための座部、背圧センサ、および焦点面アレイを含む。背圧センサは、座部に結合されて、検査治具の座部上に支持される被加工物内に画定される第1の流れ開口部および第2の流れ開口部のうちの1つを横断する流体の背圧を取得する。光学焦点面アレイはまた、座部に結合されて、検査治具の座部上に支持される被加工物内に画定される第1の流れ開口部および第2の流れ開口部のうちの1つまたは複数を含む被加工物の一部分の光学画像データを取得する。被加工物を検査するための、検査システム、検査方法、およびコンピュータプログラム製品も記載される。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
検査治具であって、
被加工物を支持するように構成される座部と、
前記座部に結合され、前記検査治具の前記座部上に支持される前記被加工物内に画定される第１の流れ開口部および第２の流れ開口部のうちの１つを横断する流体の背圧を取得するように構成された背圧センサと、
前記座部に結合され、前記検査治具の前記座部上に支持される前記被加工物内に画定される前記第１の流れ開口部および前記第２の流れ開口部のうちの１つまたは複数を含む、前記被加工物の一部分の光学画像データを取得するように構成された光学焦点面アレイと、
を備える、検査治具。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記座部に対する移動のために支持された出口を有する流体管をさらに備え、前記背圧センサは、前記流体管に沿って配置される、請求項１に記載の検査治具。
【請求項３】
前記流体管に接続され、かつそれを通して前記背圧センサに接続された流体源をさらに備え、前記流体源は、前記流体管を使用して、前記背圧センサを通して前記第１の流れ開口部および前記第２の流れ開口部のうちの１つまたは複数に前記流体を伝えるように構成される、請求項２に記載の検査治具。
【請求項４】
前記座部に対して固定された光源と、
座部に対して固定され、かつ前記光源からオフセットされた較正ブロックであって、前記較正ブロックは、それを通って延在する１つまたは複数の較正用流れ開口部を有する、較正ブロックと、
をさらに備える、請求項１に記載の検査治具。
【請求項５】
前記座部に対する移動のために支持される光学素子をさらに備え、前記光学素子は、光軸に沿って前記光学焦点面アレイに光学的に結合される、請求項１に記載の検査治具。
【請求項６】
前記光学素子は、レンズ、ミラー、および格子のうちの１つまたは複数を含む、請求項５に記載の治具。
【請求項７】
前記座部に対する移動のために支持された出口を有する流体管をさらに備え、前記出口は前記光学素子に対して固定される、請求項５に記載の検査治具。
【請求項８】
前記座部上に支持され、かつ厚さによって第１の表面が第２の表面から分離されている被加工物をさらに備え、前記第１の表面は前記第１の流れ開口部によって前記第２の表面に結合され、前記第１の表面は前記第２の流れ開口部によって前記第２の表面にさらに結合される、請求項１に記載の検査治具。
【請求項９】
前記第１の流れ開口部は、第１の幅を有する複数の第１の流れ開口部のうちの１つであり、前記第２の流れ開口部は、第２の幅を有する複数の第２の流れ開口部のうちの１つであり、前記第２の幅は前記第１の幅よりも大きい、請求項８に記載の検査治具。
【請求項１０】
前記第１の流れ開口部および／または前記第２の流れ開口部を通して前記被加工物によって伝わるプロセス流体からのチップ、切り屑、または付着物は、前記被加工物内に画定される前記第１の流れ開口部および前記第２の流れ開口部のうちの１つまたは複数を塞ぐ、請求項８に記載の検査治具。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
本出願は、２０２４年５月２２日に出願された米国仮特許出願第６３／６５０，７３８号の優先権および利益を主張するものであり、その内容は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
続きを表示（約 1,600 文字）【０００２】
本開示は、概して、流体システムに関し、より具体的には、流体システムの流体の流れを制御するために用いられる被加工物の検査に関する。
【背景技術】
【０００３】
流体システムは一般に、流体システム内の流体の流れを制御するために流量制御デバイスを用いる。流量制御デバイスは一般的に、流体システムを横断する流体の流動性を制御するようにサイズ設定および寸法設定された流路を有する。このような流量制御デバイスの製作は典型的には、流路のサイズおよび寸法が所望のサイズ設定および寸法設定に対応することを確実にするように制御される。いくつかの流体システムでは、流量制御デバイスは、流量制御デバイス内の流路が、流量制御装置の製造中に与えられた所望のサイズ設定および寸法設定を維持することを確実にするために、定期的に除去されかつ洗浄されてもよい。
【０００４】
一部の製作および／または洗浄プロセスでは、例えば、製作プロセス中に形成されたチップおよび切り屑が流量制御デバイス内の流路内に残されないことを確実にするために、および／または被加工物を洗浄するために使用される洗浄プロセスの有効性を検証するために、流路のサイズ設定および寸法設定が検査され得る。検査は一般的に、製作または洗浄プロセスに費用を追加するものになり、典型的には、検査に必要な時間に見合ったものになる。
【０００５】
こうしたシステムおよび方法は、概して、その意図される目的に対して満足のいくものであった。しかしながら、その中で、改善された検査治具、検査システム、および検査方法、ならびに被加工物を検査するための関連するコンピュータプログラム製品が依然として必要とされている。本開示は、この必要性に対する解決策を提供する。
【発明の概要】
【０００６】
検査治具が提供される。検査治具は、被加工物を支持するための座部と、背圧センサと、焦点面アレイとを含む。背圧センサは、座部に結合されて、検査治具の座部上に支持される被加工物内に画定される第１の流れ開口部および第２の流れ開口部のうちの１つを横断する流体の背圧を取得する。光学焦点面アレイはまた、座部に結合されて、検査治具の座部上に支持される被加工物内に画定される第１の流れ開口部および第２の流れ開口部のうちの１つまたは複数を含む被加工物の一部分の光学画像データを取得する。
【０００７】
上述の特徴のうちの１つまたは複数に加えて、または代替策として、検査治具のさらなる例は、座部に対する移動のために支持された出口を有する流体管を含み得る。背圧センサは、流体管に沿って配置されてもよい。
【０００８】
上述の特徴のうちの１つまたは複数に加えて、または代替策として、検査治具のさらなる例は、流体管に接続され、かつそれを通して背圧センサに接続された流体源を含み得る。流体源は、流体管を使用して、背圧センサを通して、流体を第１の流れ開口部および第２の流れ開口部のうちの１つまたは複数に伝えるように構成されてもよい。
【０００９】
上述の特徴のうちの１つまたは複数に加えて、または代替策として、検査治具のさらなる例には、光源および較正ブロックが含まれ得る。光源は、座部に対して固定されてもよい。較正ブロックは、座部に対して固定され、かつ光源からオフセットされてもよい。較正ブロックは、それを通る１つまたは複数の較正用流れ開口部を画定し得る。
【００１０】
上述の特徴のうちの１つまたは複数に加えて、または代替策として、検査治具のさらなる例には、座部に対する移動のために支持された１つまたは複数の光学素子が含まれ得る。１つまたは複数の光学素子は、光軸に沿って光学焦点面アレイに光学的に結合されてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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