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公開番号2025160433
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-22
出願番号2025129204,2023524350
出願日2025-08-01,2021-10-22
発明の名称再成長によって製作される小サイズ発光ダイオード
出願人ザリージェンツオブザユニバーシティオブカリフォルニア,The Regents of the University of California
代理人個人,個人
主分類H10H 20/825 20250101AFI20251015BHJP()
要約【課題】快適な再成長によって製作される小サイズ発光ダイオードを提供する。
【解決手段】エピタキシャル側方過成長(ELO)および孤立方法を使用して、小サイズ発光ダイオード(μLED)等の高品質かつ製造可能発光素子を製作および転写する方法。III族窒化物ELO層が、成長制限マスクを使用して、ホスト基板上に成長させられ、III族窒化物素子層が、III族窒化物ELO層のウィング上に成長させられる。結果として生じる素子は、エピタキシャルまたは非エピタキシャルブリッジを備えている接続連結部によって取り付けられている間、ホスト基板から孤立させられる。再成長が、ブリッジの助けを借りて、素子層の選択されたメサ上で実施され、改良された素子を実現する。ブリッジは、切断され、素子は、次いで、ホスト基板から引き抜かれ、ディスプレイパネル上に設置される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
本明細書に記載の発明。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
本願は、以下の同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡された出願の３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ１１９（ｅ）（米国特許法第１１９条（ｅ））下の利益を主張する：
続きを表示（約 4,400 文字）【０００２】
ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａおよびＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａによって、２０２０年１０月２３日に出願され、「ＳＭＡＬＬＳＩＺＥＬＩＧＨＴＥＭＩＴＩＮＧＤＩＯＤＥＳＦＡＢＲＩＣＡＴＥＤＶＩＡＲＥＧＲＯＷＴＨ」と題された米国仮出願第６３／１０４，５８０号（弁理士整理番号第Ｇ＆Ｃ３０７９４．０７８４ＵＳＰ１（ＵＣ２０２０－５６１－１）号）。その出願は、参照することによって本明細書に組み込まれる。
【０００３】
本願は、以下の同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡された出願に関する。
【０００４】
ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａ、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａ、ＨｏｎｇｊｉａｎＬｉ、およびＤａｎｉｅｌＡ．Ｃｏｈｅｎによって２０１９年１０月２４日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＲＥＭＯＶＩＮＧＡＳＵＢＳＴＲＡＴＥ」と題された米国実用特許出願第１６／６０８，０７１号（弁理士整理番号第３０７９４．０６５３ＵＳＷＯ（ＵＣ２０１７－６２１－２）号）であり、その出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ３６５（ｃ）（米国特許法第３６５条（ｃ））下、ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａ、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａ、ＨｏｎｇｊｉａｎＬｉ、およびＤａｎｉｅｌＡ．Ｃｏｈｅｎによって、２０１８年５月７日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＲＥＭＯＶＩＮＧＡＳＵＢＳＴＲＡＴＥ」と題された同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡されたＰＣＴ国際特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１８／３１３９３号（弁理士整理番号第３０７９４．０６５３ＷＯＵ１（ＵＣ２０１７－６２１－２）号）の利益を主張するものであり、その出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ１１９（ｅ）（米国特許法第１１９条（ｅ））下、ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａ、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａ、ＨｏｎｇｊｉａｎＬｉ、およびＤａｎｉｅｌＡ．Ｃｏｈｅｎによって、２０１７年５月５日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＲＥＭＯＶＩＮＧＡＳＵＢＳＴＲＡＴＥ」と題された同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡された米国仮特許出願第６２／５０２，２０５号（弁理士整理番号第３０７９４．０６５３ＵＳＰ１（ＵＣ２０１７－６２１－１）号）の利益を主張する。
【０００５】
ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａ、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａ、およびＨｏｎｇｊｉａｎＬｉによって、２０２０年２月２６日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＲＥＭＯＶＩＮＧＡＳＵＢＳＴＲＡＴＥＷＩＴＨＡＣＬＥＡＶＩＮＧＴＥＣＨＮＩＱＵＥ」と題された米国実用特許出願第１６／６４２，２９８号（弁理士整理番号第３０７９４．０６５９ＵＳＷＯ（ＵＣ２０１８－０８６－２）号）であり、その出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ３６５（ｃ）（米国特許法第３６５条（ｃ））下、ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａ、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａ、およびＨｏｎｇｊｉａｎＬｉによって、２０１８年９月１７日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＲＥＭＯＶＩＮＧＡＳＵＢＳＴＲＡＴＥＷＩＴＨＡＣＬＥＡＶＩＮＧＴＥＣＨＮＩＱＵＥ」と題された同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡されたＰＣＴ国際特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１８／５１３７５号（弁理士整理番号第３０７９４．０６５９ＷＯＵ１（ＵＣ２０１８－０８６－２）号）の利益を主張するものであり、その出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ１１９（ｅ）（米国特許法第１１９条（ｅ））下、ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａ、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａ、およびＨｏｎｇｊｉａｎＬｉによって、２０１７年９月１５日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＲＥＭＯＶＩＮＧＡＳＵＢＳＴＲＡＴＥＷＩＴＨＡＣＬＥＡＶＩＮＧＴＥＣＨＮＩＱＵＥ」と題された同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡された米国仮特許出願第６２／５５９，３７８号（弁理士整理番号第３０７９４．０６５９ＵＳＰ１（ＵＣ２０１８－０８６－１）号）の利益を主張する。
【０００６】
ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａ、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａ、およびＨｏｎｇｊｉａｎＬｉによって、２０２０年９月４日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＦＡＢＲＩＣＡＴＩＮＧＮＯＮ－ＰＯＬＡＲＡＮＤＳＥＭＩ－ＰＯＬＡＲＤＥＶＩＣＥＳＵＳＩＮＧＥＰＩＴＡＸＩＡＬＬＡＴＥＲＡＬＯＶＥＲＧＲＯＷＴＨ」と題された米国実用特許出願第１６／９７８，４９３号（弁理士整理番号第３０７９４．０６８０ＵＳＷＯ（ＵＣ２０１８－４２７－２）号）であり、その出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ３６５（ｃ）（米国特許法第３６５条（ｃ））下、ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａ、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａ、およびＨｏｎｇｊｉａｎＬｉによって、２０１９年４月１日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＦＡＢＲＩＣＡＴＩＮＧＮＯＮ－ＰＯＬＡＲＡＮＤＳＥＭＩ－ＰＯＬＡＲＤＥＶＩＣＥＳＵＳＩＮＧＥＰＩＴＡＸＩＡＬＬＡＴＥＲＡＬＯＶＥＲＧＲＯＷＴＨ」と題された同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡されたＰＣＴ国際特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１９／２５１８７号（弁理士整理番号第３０７９４．０６８０ＷＯＵ１（ＵＣ２０１８－４２７－２）号）の利益を主張するものであり、その出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ１１９（ｅ）（米国特許法第１１９条（ｅ））下、ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａ、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａ、およびＨｏｎｇｊｉａｎＬｉによって、２０１８年３月３０日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＦＡＢＲＩＣＡＴＩＮＧＮＯＮ－ＰＯＬＡＲＡＮＤＳＥＭＩ－ＰＯＬＡＲＤＥＶＩＣＥＳＵＳＩＮＧＥＰＩＴＡＸＩＡＬＬＡＴＥＲＡＬＯＶＥＲＧＲＯＷＴＨ」と題された同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡された米国仮特許出願第６２／６５０，４８７号（弁理士整理番号第Ｇ＆Ｃ３０７９４．０６８０ＵＳＰ１（ＵＣ２０１８－４２７－１）号）の利益を主張する。
【０００７】
ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａおよびＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａによって、２０２０年１０月１６日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＦＯＲＤＩＶＩＤＩＮＧＡＢＡＲＯＦＯＮＥＯＲＭＯＲＥＤＥＶＩＣＥＳ」と題された米国実用特許出願第１７／０４８，３８３号（弁理士整理番号第３０７９４．０６８１ＵＳＷＯ（ＵＣ２０１８－６０５－２）号）であり、その出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ３６５（ｃ）（米国特許法第３６５条（ｃ））下、ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａおよびＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａによって、２０１９年５月１７日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＦＯＲＤＩＶＩＤＩＮＧＡＢＡＲＯＦＯＮＥＯＲＭＯＲＥＤＥＶＩＣＥＳ」と題された同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡されたＰＣＴ国際特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１９／３２９３６号（弁理士整理番号第３０７９４．０６８１ＷＯＵ１（ＵＣ２０１８－６０５－２）号）の利益を主張するものであり、その出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ１１９（ｅ）（米国特許法第１１９条（ｅ））下、ＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａおよびＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａによって、２０１８年５月１７日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＦＯＲＤＩＶＩＤＩＮＧＡＢＡＲＯＦＯＮＥＯＲＭＯＲＥＤＥＶＩＣＥＳ」と題された同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡された米国仮出願第６２／６７２，９１３号（弁理士整理番号第Ｇ＆Ｃ３０７９４．０６８１ＵＳＰ１（ＵＣ２０１８－６０５－１）号）の利益を主張する。
【０００８】
ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａおよびＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａによって、２０２０年１０月２０日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＲＥＭＯＶＩＮＧＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＩＮＧＬＡＹＥＲＳＦＲＯＭＡＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＩＮＧＳＵＢＳＴＲＡＴＥ」と題された米国実用特許出願第１７／０４９，１５６号（弁理士整理番号第３０７９４．０６８２ＵＳＷＯ（ＵＣ２０１８－６１４－２）号）、その出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ３６５（ｃ）（米国特許法第３６５条（ｃ））下、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａおよびＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａによって、２０１９年５月３０日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＲＥＭＯＶＩＮＧＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＩＮＧＬＡＹＥＲＳＦＲＯＭＡＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＩＮＧＳＵＢＳＴＲＡＴＥ」と題された同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡されたＰＣＴ国際特許出願第ＰＣＴ／ＵＳ１９／３４８６８号（弁理士整理番号第Ｇ＆Ｃ３０７９４．０６８２ＷＯＵ１（ＵＣ２０１８－６１４－２）号）の利益を主張するものであり、その出願は、３５Ｕ．Ｓ．Ｃ．Ｓｅｃｔｉｏｎ１１９（ｅ）（米国特許法第１１９条（ｅ））下、ＳｒｉｎｉｖａｓＧａｎｄｒｏｔｈｕｌａおよびＴａｋｅｓｈｉＫａｍｉｋａｗａによって、２０１８年５月３０日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＯＦＲＥＭＯＶＩＮＧＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＩＮＧＬＡＹＥＲＳＦＲＯＭＡＳＥＭＩＣＯＮＤＵＣＴＩＮＧＳＵＢＳＴＲＡＴＥ」と題された同時係属中かつ本発明の譲受人に譲渡された米国仮出願第６２／６７７，８３３号（弁理士整理番号第Ｇ＆Ｃ３０７９４．０６８２ＵＳＰ１（ＵＣ２０１８－６１４－１）号）の利益を主張する。
【０００９】
それらの出願の全てが、参照することによって本明細書に組み込まれる。
【００１０】
（発明の分野）
本発明は、再成長によって製作される小サイズ発光ダイオード（ＬＥＤ）を対象とする。
【背景技術】
（【００１１】以降は省略されています）

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