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公開番号2025148936
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-08
出願番号2024049309
出願日2024-03-26
発明の名称分光器及び分光計測システム
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01J 3/24 20060101AFI20251001BHJP(測定;試験)
要約【課題】広い波長域の光を十分な回折効率で分光して検出することができる分光器及び分光計測システムを提供する。
【解決手段】分光器4は、分光部23と、分光部23により分光された光P2を、第1波長域の第1光L1と、第1波長域よりも短い第2波長域の第2光L2とに分離させる光分離部25と、光分離部25により分離された第1光L1に含まれるN次回折光を検出すると共に、光分離部25により分離された第2光L2に含まれるM次回折光を検出する光検出部27と、を備える。ここで、N,Mは、Nの絶対値がMの絶対値よりも小さい0以外の整数である。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
分光部と、
前記分光部により分光された光を、第１波長域の第１光と、前記第１波長域よりも短い第２波長域の第２光とに分離させる光分離部と、
前記光分離部により分離された前記第１光に含まれるＮ次回折光を検出すると共に、前記光分離部により分離された前記第２光に含まれるＭ次回折光を検出する光検出部と、を備え、ここで、Ｎ，Ｍは、Ｎの絶対値がＭの絶対値よりも小さい０以外の整数である、分光器。
続きを表示（約 890 文字）【請求項２】
前記光検出部は、前記Ｎ次回折光を検出する第１光検出器と、前記Ｍ次回折光を検出する第２光検出器と、を有する、請求項１に記載の分光器。
【請求項３】
前記第１光検出器及び前記第２光検出器は、互いに実質的に異なる感度波長域を有する二つの検出器によって構成されている、請求項２に記載の分光器。
【請求項４】
前記第１光検出器及び前記第２光検出器は、互いに実質的に同じ感度波長域を有する二つの検出器によって構成されている、請求項２に記載の分光器。
【請求項５】
前記光分離部と前記光検出部との間に配置され、前記第１光に含まれる前記Ｎ次回折光以外の回折光、及び前記第２光に含まれる前記Ｍ次回折光以外の回折光の少なくとも一方を減衰させるフィルタを更に備える、請求項１～４のいずれか一項に記載の分光器。
【請求項６】
前記光分離部は、前記第１光及び前記第２光の一方を透過させ、前記第１光及び前記第２光の他方を反射させるダイクロイック面を有する、請求項１～４のいずれか一項に記載の分光器。
【請求項７】
前記光分離部は、前記ダイクロイック面を含むプリズムを有し、
前記光検出部は、前記プリズムと直接的又は間接的に固定されている、請求項６に記載の分光器。
【請求項８】
前記光検出部は、前記第２光に含まれる前記Ｍ次回折光に加えて、前記第２光に含まれるＮ次回折光を検出する、請求項１～４のいずれか一項に記載の分光器。
【請求項９】
前記光検出部は、前記第２波長域における第１部分については前記第２光に含まれる前記Ｎ次回折光を検出し、前記第２波長域における第２部分については前記第２光に含まれる前記Ｍ次回折光を検出する、請求項８に記載の分光器。
【請求項１０】
前記第１部分における前記分光部のＮ次回折光の回折効率は、前記第１部分における前記分光部のＭ次回折光の回折効率よりも高い、請求項９に記載の分光器。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、分光器及び分光計測システムに関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１，２には、入射した光を回折格子により分光し、分光された光を光検出部により検出する分光装置が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開昭５７－１１１４２２号公報
特開平８－２５４４６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したような分光装置には、検出可能な波長域を広くすることが求められる場合がある。しかしながら、回折格子を広い波長域の光を回折可能とすることは難しく、また、仮に広い波長域の光を回折可能な回折格子を実現できたとしても、回折効率が低くなってしまうおそれがある。
【０００５】
そこで、本発明は、広い波長域の光を十分な回折効率で分光して検出することができる分光器及び分光計測システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の分光器は、［１］「分光部と、前記分光部により分光された光を、第１波長域の第１光と、前記第１波長域よりも短い第２波長域の第２光とに分離させる光分離部と、前記光分離部により分離された前記第１光に含まれるＮ次回折光を検出すると共に、前記光分離部により分離された前記第２光に含まれるＭ次回折光を検出する光検出部と、を備え、ここで、Ｎ，Ｍは、Ｎの絶対値がＭの絶対値よりも小さい０以外の整数である、分光器」である。
【０００７】
この分光器では、光分離部が、分光部により分光された光を、第１波長域の第１光と第２波長域の第２光とに分離させる。そして、第１光に含まれるＮ次回折光、及び第２光に含まれるＭ次回折光が光検出部により検出される。これにより、回折効率が比較的高い第１光に含まれるＮ次回折光と第２光に含まれるＭ次回折光とを光検出部において検出することができ、その結果、広い波長域の光を十分な回折効率で分光して検出することが可能となる。
【０００８】
本発明の分光器は、［２］「前記光検出部は、前記Ｎ次回折光を検出する第１光検出器と、前記Ｍ次回折光を検出する第２光検出器と、を有する、［１］に記載の分光器」であってもよい。この場合、第１光に含まれるＮ次回折光と第２光に含まれるＭ次回折光とを光検出部において好適に検出することができる。
【０００９】
本発明の分光器は、［３］「前記第１光検出器及び前記第２光検出器は、互いに実質的に異なる感度波長域を有する二つの検出器によって構成されている、［２］に記載の分光器」であってもよい。この場合、例えば、第１光に含まれるＮ次回折光の検出に適した感度波長域を有する第１光検出器によって当該Ｎ次回折光を検出すると共に、第２光に含まれるＭ次回折光の検出に適した感度波長域を有する第２光検出器によって当該Ｍ次回折光を検出することができる。
【００１０】
本発明の分光器は、［４］「前記第１光検出器及び前記第２光検出器は、互いに実質的に同じ感度波長域を有する二つの検出器によって構成されている、［２］に記載の分光器」であってもよい。この場合、第１光検出器及び第２光検出器を例えば同じ検出器によって構成することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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