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公開番号2025168357
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2025130622,2021189281
出願日2025-08-05,2021-11-22
発明の名称信号伝達回路及び信号伝達回路の製造方法
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H04N 25/70 20230101AFI20251030BHJP(電気通信技術)
要約【課題】同一の回路パターンを有する複数の回路領域を横断するクロックツリーを形成することを可能にするクロック伝達回路を提供する。
【解決手段】クロック伝達回路80は、互いに共通の回路パターンを有し方向D1に沿って並ぶ複数の回路領域81を備える。複数の回路領域81それぞれの回路パターンは、高インピーダンス状態および通過状態を切り替え可能な回路要素E0～E6と、隣接する回路領域81の回路パターンに接続される配線と、を有する。複数の回路領域81の回路要素E0～E6の状態が、回路領域81毎に定められる所定の状態に制御されることにより、複数の回路領域81を横断するクロックツリーが構成される。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
単一の基板上に設けられた信号伝達回路であって、
互いに共通の回路パターンを有し一方向に並ぶ複数の回路領域を備え、
前記複数の回路領域それぞれの前記回路パターンは、
高インピーダンス状態および通過状態を切り替え可能である第１の回路要素、第２の回路要素及び第３の回路要素と、
前記第１の回路要素の出力端を、前記第２の回路要素の入力端と、前記第３の回路要素の入力端とに接続する第１の配線部分と、
前記第１の回路要素の入力端を、前記第２の回路要素の出力端と、一方側に隣接する前記回路領域の前記第１の配線部分とに接続するための第２の配線部分と、
を含む、信号伝達回路。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
前記複数の回路領域それぞれの前記回路パターンは、
高インピーダンス状態および通過状態を切り替え可能である第４の回路要素及び第５の回路要素と、
前記第４の回路要素の入力端を、前記第３の回路要素の出力端に接続する第３の配線部分と、
前記第４の回路要素の出力端を、前記第５の回路要素の出力端に接続する第４の配線部分と、
前記第５の回路要素の入力端を、前記一方側に隣接する前記回路領域の前記第３の配線部分に接続するための第５の配線部分と、
を更に含む、請求項１に記載の信号伝達回路。
【請求項３】
前記複数の回路領域それぞれの前記回路パターンは、
高インピーダンス状態および通過状態を切り替え可能である第６の回路要素及び第７の回路要素を更に含み、
前記第６の回路要素及び前記第７の回路要素それぞれの入力端は前記第４の配線部分に接続される、請求項２に記載の信号伝達回路。
【請求項４】
前記複数の回路領域それぞれの前記回路パターンは、
高インピーダンス状態および通過状態を切り替え可能である第８の回路要素及び第９の回路要素と、
前記第８の回路要素の入力端に接続される第７の配線部分と、
前記第８の回路要素の出力端を、前記第９の回路要素の入力端と、前記一方側に隣接する前記回路領域の前記第７の配線部分とに接続するための第８の配線部分と、
を更に含み、
前記第９の回路要素の出力端は前記第２の配線部分に接続される、請求項１～３のいずれか１項に記載の信号伝達回路。
【請求項５】
請求項１～４のいずれか１項に記載の信号伝達回路を製造する方法であって、
共通の露光パターンを用いて継ぎ露光を行うことにより、前記複数の回路領域を形成する工程を含む、信号伝達回路の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、クロック伝達回路、撮像素子、及びクロック伝達回路の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、構造化遅延スキューを用いたバッファリング技術が開示されている。この特許文献１には、ツリー構造ルーティング方式が記載されている。特許文献２には、レチクルに形成されたパターンの投影像の一部を重ね継ぎ露光しながら所望のパターンを基板に形成する露光装置に関する技術が開示されている。特許文献３には、大型ディスプレイ装置の表示デバイスを製造する際に継ぎ露光を行うことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－０６００３６号公報
特開２００１－１１０７０８号公報
特開２００１－１５４３７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
半導体素子の内部においてクロック信号を伝搬する際には、クロック配線の長さ及び負荷に応じてクロック信号に遅延が生じる。そこで、多数の回路にクロック信号を同一のタイミングで入力したい場合には、クロックツリーが用いられる。クロックツリーにおいては、クロック供給先である回路群の中心位置に関して左右対称にクロック信号の分岐を繰り返すことが望ましい。
【０００５】
一方、大面積の半導体素子を製造する際のフォトグラフィ工程において、共通の露光パターンを有する複数のショットを繋いで１つの素子とすることがある。この技術は継ぎ露光と呼ばれる。継ぎ露光によって半導体素子を製造する場合、同一の回路パターンを有する回路領域が複数並ぶので、各回路領域内においてクロックツリーを形成することは容易だが、複数の回路領域を横断するクロックツリーを形成することは困難である。したがって、複数の回路領域間においてクロック信号に遅延が生じるという問題がある。
【０００６】
本開示は、同一の回路パターンを有する複数の回路領域を横断するクロックツリーを形成することを可能にするクロック伝達回路、及びクロック伝達回路の製造方法を提供することを目的とする。また、本開示は、クロック信号の遅延の少ない撮像素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本開示によるクロック伝達回路は、単一の基板上に設けられたクロックツリーを含むクロック伝達回路である。このクロック伝達回路は、互いに共通の回路パターンを有し一方向に並ぶ複数の回路領域を備える。複数の回路領域それぞれの回路パターンは、高インピーダンス状態および通過状態を切り替え可能な少なくとも二つの回路要素と、隣接する回路領域の回路パターンに接続される配線と、を有する。複数の回路領域の上記少なくとも二つの回路要素の状態が、回路領域毎に定められる所定の状態に制御されることにより、複数の回路領域を横断するクロックツリーの少なくとも一部が構成される。
【０００８】
本開示によるクロック伝達回路の製造方法は、単一の基板上に設けられたクロックツリーを含むクロック伝達回路を製造する方法である。この製造方法は、共通の露光パターンを用いて継ぎ露光を行うことにより、互いに共通の回路パターンを有し一方向に並ぶ複数の回路領域を形成する工程を含む。複数の回路領域それぞれの回路パターンは、高インピーダンス状態および通過状態を切り替え可能な少なくとも二つの回路要素と、隣接する回路領域の回路パターンに接続される配線と、を有する。複数の回路領域の上記少なくとも二つの回路要素の状態が、回路領域毎に定められる所定の状態に制御されることにより、複数の回路領域を横断するクロックツリーの少なくとも一部が構成される。
【０００９】
これらのクロック伝達回路及びクロック伝達回路の製造方法によれば、同一の回路パターンを有する複数の回路領域を横断するクロックツリーを形成することができる。故に、複数の回路領域間におけるクロック信号の遅延を低減できる。
【００１０】
上記のクロック伝達回路において、回路パターンは、クロックツリーの複数段の分岐をそれぞれ担うように構成された複数段の回路部分を含んでもよい。この場合、各段の回路部分によって、クロックツリーの各段の分岐を好適に実現することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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