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公開番号2025141644
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024041666
出願日2024-03-15
発明の名称測定方法及び測定システム
出願人横河電機株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G01N 22/00 20060101AFI20250919BHJP(測定;試験)
要約【課題】測定対象物の面の状態を精度良く測定する。
【解決手段】本開示に係る測定方法は、対向する第1の面と第2の面との間で複数回反射するように電磁波を入射するステップと、複数回反射した電磁波を受信するステップと、受信した電磁波の変調信号の周波数成分を解析するステップと、周波数成分に基づいて、第1の面及び第2の面の少なくともいずれかについて、位置、変位及び速度の少なくとも1つを算出するステップと、を含む。第1の面及び第2の面の少なくともいずれかは動いている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
対向する第１の面と第２の面との間で複数回反射するように電磁波を入射するステップと、
複数回反射した前記電磁波を受信するステップと、
受信した前記電磁波の変調信号の周波数成分を解析するステップと、
前記周波数成分に基づいて、前記第１の面及び前記第２の面の少なくともいずれかについて、位置、変位及び速度の少なくとも１つを算出するステップと、
を含み、
前記第１の面及び前記第２の面の少なくともいずれかは動いている、測定方法。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載の測定方法において、
前記第１の面及び前記第２の面の少なくともいずれかは振動している、測定方法。
【請求項３】
請求項２に記載の測定方法において、
前記周波数成分に基づいて、前記第１の面及び前記第２の面の少なくともいずれか一方の振動している面について、振動振幅を算出するステップをさらに含む、測定方法。
【請求項４】
請求項２に記載の測定方法において、
前記第１の面を振動させるステップをさらに含む、測定方法。
【請求項５】
請求項４に記載の測定方法において、
前記第２の面は、前記第１の面の振動に応答して振動している、測定方法。
【請求項６】
請求項５に記載の測定方法において、
前記周波数成分に基づいて、前記第２の面に対向する対向面と、前記第２の面との間の接触状態を判定するステップをさらに含む、測定方法。
【請求項７】
請求項６に記載の測定方法において、
前記接触状態は、前記第２の面と前記対向面とが接着している、前記第２の面と前記対向面とが接触しているが接着していない、及び、前記第２の面と前記対向面とが接触していないのいずれかである、測定方法。
【請求項８】
請求項６に記載の測定方法において、
前記接触状態を判定するステップは、前記周波数成分が含む基本周波数成分と、前記周波数成分が含む高調波周波数成分とに基づいて、前記接触状態を判定し、
前記基本周波数成分は、前記振動させるステップによって振動している前記第１の面が振動してる周波数の周波数成分であり、
前記高調波周波数成分は、前記基本周波数成分の高調波の周波数成分である、測定方法。
【請求項９】
請求項８に記載の測定方法において、
前記接触状態を判定するステップは、前記基本周波数成分と前記高調波周波数成分との比に基づいて前記接触状態を判定する、測定方法。
【請求項１０】
対向する第１の面と第２の面との間で複数回反射するように電磁波を入射する発生部と、
複数回反射した前記電磁波を受信する受信部と、
受信した前記電磁波の変調信号の周波数成分を解析する計測装置と、
前記周波数成分に基づいて、前記第１の面及び前記第２の面の少なくともいずれかについて、位置、変位及び速度の少なくとも１つを算出する制御装置と、
を備え、
前記第１の面及び前記第２の面の少なくともいずれかは動いている、測定システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、測定方法及び測定システムに関する。
続きを表示（約 980 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、複数の層を有する試料の複数の層間の接着面の状態など、ある面の状態を測定する技術が知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１は、測定対象物に振動を加えた上で測定対象物に電磁波を入射し、反射された電磁波を計測することによって、測定対象物の振動状態を測定して、測定対象物の接着面の状態を測定する技術を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０２３／０８０２１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
測定対象物の面の状態を精度良く測定することが求められている。
【０００６】
そこで、本開示は、測定対象物の面の状態を精度良く測定することが可能な測定方法及び測定システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
幾つかの実施形態に係る測定方法は、対向する第１の面と第２の面との間で複数回反射するように電磁波を入射するステップと、複数回反射した前記電磁波を受信するステップと、受信した前記電磁波の変調信号の周波数成分を解析するステップと、前記周波数成分に基づいて、前記第１の面及び前記第２の面の少なくともいずれかについて、位置、変位及び速度の少なくとも１つを算出するステップと、を含み、前記第１の面及び前記第２の面の少なくともいずれかは動いている。このような測定方法によれば、測定対象物の面の状態を精度良く測定することが可能である。
【０００８】
一実施形態に係る測定方法において、前記第１の面及び前記第２の面の少なくともいずれかは振動してもよい。
【０００９】
一実施形態に係る測定方法において、前記周波数成分に基づいて、前記第１の面及び前記第２の面の少なくともいずれか一方の振動している面について、振動振幅を算出するステップをさらに含んでいてもよい。これにより、振動振幅を算出することができる。
【００１０】
一実施形態に係る測定方法において、前記第１の面を振動させるステップをさらに含んでいてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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