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公開番号2025134257
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-17
出願番号2024032043
出願日2024-03-04
発明の名称サーマルプリントヘッドおよびサーマルプリントヘッドの製造方法
出願人ローム株式会社
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類B41J 2/335 20060101AFI20250909BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】保護膜の形成が容易なサーマルプリントヘッドを提供する。
【解決手段】サーマルプリントヘッド100は、基板1と、第1保護膜41と、第2保護膜42とを備える。基板1は、第1面10aと、第1側面10cとを有する。第1面10aは、発熱部2が設けられている。第1側面10cは、第1面10aに連なる。第1保護膜41は、発熱部2を覆う。第2保護膜42は、第1保護膜41の上に設けられている。第2保護膜42の側面42dは、第1側面10cと同一平面上にある。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
発熱部が設けられている第１面と、前記第１面に連なる第１側面とを有する基板と、
前記発熱部を覆う第１保護膜と、
前記第１保護膜の上に設けられた第２保護膜とを備え、
前記第２保護膜の側面は、前記第１側面と同一平面上にある、サーマルプリントヘッド。
続きを表示（約 890 文字）【請求項２】
前記第２保護膜を構成する材料は、炭化珪素、チタン、セラミック、およびサイアロンのいずれかである、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項３】
前記第１保護膜を構成する材料は、ガラスである、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項４】
前記第２保護膜の厚さは、４μｍ以上である、請求項１に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項５】
前記第２保護膜におけるビッカース硬さは１０００ＨＶ以上である、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のサーマルプリントヘッド。
【請求項６】
発熱部が設けられている第１面を有する基板を備えたサーマルプリントヘッドの製造方法であって、
前記発熱部を覆うように前記第１面の一部の上に第１保護膜を形成する工程と、
前記第１保護膜から露出している前記第１面の上にマスク層を形成する工程と、
前記マスク層の上および前記第１保護膜の上に第２保護膜を形成する工程と、
前記第２保護膜を形成する工程の後に、前記マスク層の上に形成されている前記第２保護膜と共に前記マスク層を除去する工程とを備える、サーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記マスク層を除去する工程において、
前記マスク層はローラを用いて除去される、請求項６に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記マスク層を除去する工程において、
前記マスク層はウェットブラストを用いて除去される、請求項６に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記マスク層を除去する工程の後に、前記基板を個片化する工程を備える、請求項６にサーマルプリントヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記マスク層におけるビッカース硬さは、前記第２保護膜におけるビッカース硬さよりも小さい、請求項６に記載のサーマルプリントヘッドの製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、サーマルプリントヘッドおよびサーマルプリントヘッドの製造方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特開２０２２－７８５８９号公報（特許文献１）は、発熱部を覆う保護層を有するサーマルプリントヘッドを開示している。保護層を構成する材料は、ガラスである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－７８５８９号公報［概要］従来、サーマルプリントヘッドの耐久性を向上させるために、基板の一部が互いに重なるように、複数の基板を重ねてスパッタリングを用いて基板の表面に保護膜を形成していた。しかし、基板の短辺が短くなると基板の重なる領域が縮小する。そのため、耐久性のある保護膜の形成に改善の余地があった。
【０００４】
本開示の一態様によるサーマルプリントヘッドは、基板と、第１保護膜と、第２保護膜とを備える。基板は、第１面と、第１側面とを有する。第１面は、発熱部が設けられている。第１側面は、第１面に連なる。第１保護膜は、発熱部を覆う。第２保護膜は、第１保護膜の上に設けられている。第２保護膜の側面は、第１側面と同一平面上にある。
【０００５】
本開示の一態様によるサーマルプリントヘッドの製造方法は、発熱部が設けられている第１面を有する基板を備えたサーマルプリントヘッドの製造方法である。サーマルプリントヘッドの製造方法は、発熱部を覆うように第１面の一部の上に第１保護膜を形成する工程と、第１保護膜から露出している第１面の上にマスク層を形成する工程と、マスク層の上および第１保護膜の上に第２保護膜を形成する工程と、第２保護膜を形成する工程の後に、マスク層の上に形成されている第２保護膜と共にマスク層を除去する工程とを備える。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
図１は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの概略平面図である。
図２は、図１の線分ＩＩ－ＩＩにおけるサーマルプリントヘッドの概略部分断面図である。
図３は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法におけるフローチャートである。
図４は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における一工程を示す概略平面図である。
図５は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図４に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
図６は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図５に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
図７は、図６の線分ＶＩＩ－ＶＩＩにおけるサーマルプリントヘッドの概略部分断面図である。
図８は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図６に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
図９は、図８の線分ＩＸ－ＩＸにおけるサーマルプリントヘッドの概略部分断面図である。
図１０は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図８に示される工程の次工程を示す概略平面図である。
図１１は、図１０の線分ＸＩ－ＸＩにおけるサーマルプリントヘッドの概略部分断面図である。
図１２は、実施の形態１のサーマルプリントヘッドの製造方法における図１０に示される工程の次工程を示す概略平面図である。［詳細な説明］図面に基づいて本開示の実施の形態の詳細について説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付し、その説明は繰返さない。以下に記載する実施の形態の少なくとも一部の構成を任意に組み合わせてもよい。
【０００７】
実施の形態１．
（サーマルプリントヘッドの構成）
図１は、実施の形態１のサーマルプリントヘッド１００の概略平面図である。図２は、図１の線分ＩＩ－ＩＩにおけるサーマルプリントヘッド１００の概略部分断面図である。
【０００８】
図１および図２に示されたサーマルプリントヘッド１００は、基板１と、発熱部２と、配線層３と、保護膜４とを備えている。
【０００９】
図２に示されているように、基板１は、第１面１０ａと、第２面１０ｂとを有している。第１面１０ａおよび第２面１０ｂは、基板１の厚さ方向における端面である。第２面１０ｂは、第１面１０ａの反対に位置する面である。第１面１０ａの平面視における基板１の形状は、例えば矩形状である。第１面１０ａに対して垂直な方向をｚ方向とする。ｚ方向に対して垂直な方向をｘ方向とする。ｘ方向およびｚ方向に対して垂直な方向をｙ方向とする。平面視とは、第１面１０ａのｚ方向に沿って第１面１０ａ側から見た場合を言う。ｘ方向は、平面視における基板１の長手方向に対応している。後述するように、ｘ方向は、発熱部２が延在する方向である。ｙ方向は、平面視における基板１の短手方向に対応している。
【００１０】
基板１は、第１側面１０ｃと、第２側面１０ｄとを有している。第１側面１０ｃは、第１面１０ａと第２面１０ｂとに連なっている。第２側面１０ｄは、第１面１０ａと第２面１０ｂとに連なっている。第１側面１０ｃおよび第２側面１０ｄの各々は、第１面１０ａと第２面１０ｂとを接続する面である。第２側面１０ｄは、ｙ方向において第１側面１０ｃの反対に位置する。
（【００１１】以降は省略されています）

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