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公開番号2025118338
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-13
出願番号2024013607
出願日2024-01-31
発明の名称X線回折測定装置及びプログラム
出願人株式会社不二越
代理人個人,個人
主分類G01N 23/20008 20180101AFI20250805BHJP(測定;試験)
要約【課題】回折環の測定データを生成する処理を簡便にするX線回折測定装置を提供する。
【解決手段】測定対象物にX線を照射するX線管11と、X線管11によるX線の照射の出力値を所定値以上と所定値未満とに切り替える制御を行う制御部30と、X線管11からX線が照射された測定対象物にて回折したX線を検出可能な検出器基板12と、検出器基板12から検出値の読み出しを断続的に複数回行う読出部31と、読出部31による複数回の読み出しのタイミングと、X線管11がX線を照射するタイミングとが同期するように、制御部30に切り替え制御の指示を行う指示部32と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
測定対象物にＸ線を照射するＸ線管と、
前記Ｘ線管によるＸ線の照射の出力値を所定値以上と所定値未満とに切り替える制御を行う制御部と、
前記Ｘ線管からＸ線が照射された前記測定対象物にて回折したＸ線を検出可能な検出器基板と、
前記検出器基板から検出値の読み出しを断続的に複数回行う読出部と、
前記読出部による複数回の前記読み出しのタイミングと、前記Ｘ線管がＸ線を照射するタイミングとが同期するように、前記制御部に切り替え制御の指示を行う指示部と、
を備えることを特徴とするＸ線回折測定装置。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記指示部は、前記読出部による複数回の前記読み出しのうち一部の読み出しのタイミングと、前記Ｘ線管がＸ線を照射するタイミングとが一致するように、前記制御部に切り替え制御の指示を行うことを特徴とする請求項１に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項３】
前記一部とは、偶数回目又は奇数回目であることを特徴とする請求項２に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項４】
前記読出部が、前記Ｘ線管がＸ線を照射するタイミングと同期して読み出した前記検出値である各Ｘ線測定値から、当該Ｘ線測定値の前後いずれかに当該読出部が読み出した前記検出値である環境ノイズをそれぞれ除去し、当該環境ノイズを除去した各Ｘ線測定値を積算することで、回折環の測定データを生成する生成部、を更に備えることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項５】
前記生成部は、前記読出部が前記Ｘ線測定値及び前記環境ノイズを読み出す度に、当該Ｘ線測定値から前記環境ノイズを除去することを特徴とする請求項４に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項６】
前記制御部は前記Ｘ線管にパルス信号を送信し、前記Ｘ線管は当該パルス信号に追従して前記制御が行われることを特徴とする請求項１に記載のＸ線回折測定装置。
【請求項７】
コンピュータを、
Ｘ線管によるＸ線の照射の出力値を所定値以上と所定値未満とに切り替える制御を行う制御部、
前記Ｘ線管からＸ線が照射された前記測定対象物にて回折したＸ線を検出可能な検出器基板から検出値の読み出しを断続的に複数回行う読出部、
前記読出部による複数回の前記読み出しのタイミングと、前記Ｘ線管がＸ線を照射するタイミングとが同期するように、前記制御部に切り替え制御の指示を行う指示部、
として機能させることを特徴とするプログラム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線回折測定装置及びプログラムに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば下記特許文献１等に記載されるＸ線回折測定装置は、測定対象物に向けてＸ線を照射し、測定対象物にて回折したＸ線を検出することで回折環の測定データを取得するシステムである。また、Ｘ線回折測定装置は、このようにして取得した回折環の測定データに基づいて、測定対象物の物性を解析することができる。
【０００３】
上述のＸ線回折測定装置では、Ｘ線を照射しない状態における測定値であるペデスタルノイズを、Ｘ線を照射した状態における測定値（以下、「Ｘ線測定値」と呼称する。）から除去することで、回折環の測定データを生成している。
【０００４】
具体的な手順としては、Ｘ線の照射開始前に、複数回取得したペデスタルノイズの平均値を算出し、Ｘ線の照射開始後、Ｘ線が照射した状態のまま複数回Ｘ線測定値を取得し、取得した複数のＸ線測定値を積算し、この積算値から、ペデスタルノイズの平均値にＸ線測定値を積算した回数を乗じた値を除去することで、回折環の測定データを生成する。
【０００５】
なお、ペデスタルノイズとは、検出器温度、センサ駆動、スイッチングノイズ（例えば、チップ切り替え、各種電源類の切り替え）、又は／及び、各種光源（例えば、レーザ光、測定環境内の光源）等の環境ノイズである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２２－０８１８２３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述のＸ線回折測定装置では、Ｘ線測定値及びペデスタルノイズを取得するタイミングとＸ線管のオンオフのタイミングを個別に制御しなければならず、回折環の測定データを生成するに当たって処理が煩雑になってしまっていた。
【０００８】
上記課題に鑑み、本発明は、回折環の測定データを生成する処理を簡便にするＸ線回折測定装置及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明に係るＸ線回折測定装置は、測定対象物にＸ線を照射するＸ線管と、前記Ｘ線管によるＸ線の照射の出力値を所定値以上と所定値未満とに切り替える制御を行う制御部と、前記Ｘ線管からＸ線が照射された前記測定対象物にて回折したＸ線を検出可能な検出器基板と、前記検出器基板から検出値の読み出しを断続的に複数回行う読出部と、前記読出部による複数回の前記読み出しのタイミングと、前記Ｘ線管がＸ線を照射するタイミングとが同期するように、前記制御部に切り替え制御の指示を行う指示部と、を備える。
【００１０】
また、前記指示部は、前記読出部による複数回の前記読み出しのうち一部の読み出しのタイミングと、前記Ｘ線管がＸ線を照射するタイミングとが一致するように、前記制御部に切り替え制御の指示を行う。
（【００１１】以降は省略されています）

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