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公開番号2025064323
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-17
出願番号2023173967
出願日2023-10-06
発明の名称非接触型送気処理システム
出願人BELLMATIC株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類F26B 13/20 20060101AFI20250410BHJP(乾燥)
要約【課題】安定してフィルム状物を浮揚させつつフィルム状物に所定の処理を施すことが可能な非接触型送気処理システムを提供する。
【解決手段】
フィルム状物が配置される乾燥機搬送面からフィルム状物に向けて乾燥用ガスG1を吹き出すことで、非接触状態でフィルム状物を乾燥させる乾燥機と、フィルム状物が配置されるターン装置搬送面からフィルム状物に向けてフィルム浮揚用ガスG2を吹き出すことで、非接触状態でフィルム状物の搬送方向を変化させて乾燥機搬送面に向けて案内するターン装置と、乾燥機に乾燥用ガスG1を供給する乾燥用ガス供給路5と、ターン装置にフィルム浮揚用ガスG2を供給する浮揚用ガス供給路7と、乾燥ガス供給路5に接続され、乾燥用ガスG1を生成する乾燥用ガス供給源4と、浮揚ガス供給路7に接続されてフィルム浮揚用ガスG2を生成し、乾燥用ガス供給源4とは別個に設けられた浮揚用ガス供給源6と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
搬送中のフィルム状物を浮揚しながら該フィルム状物に所定の処理を施す非接触型送気処理システムであって、
前記フィルム状物が配置される送気処理器搬送面から該フィルム状物に向けて処理用ガスを吹き出すように送気することで、非接触状態で前記フィルム状物を処理する送気処理器と、
前記フィルム状物が配置されるターン装置搬送面から該フィルム状物に向けてフィルム浮揚用ガスを吹き出すことで、非接触状態で前記フィルム状物の搬送方向を変化させて前記送気処理器搬送面に向けて案内するターン装置と、
前記送気処理器に前記処理用ガスを供給する処理用ガス供給路と、
前記ターン装置に前記フィルム浮揚用ガスを供給する浮揚用ガス供給路と、
前記処理用ガス供給路に接続され、前記処理用ガスを生成する処理用ガス供給源と、
前記浮揚用ガス供給路に接続されて前記フィルム浮揚用ガスを生成し、前記処理用ガス供給源とは別個に設けられた浮揚用ガス供給源と、
を備える非接触型送気処理システム。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
搬送中のフィルム状物を浮揚しながら該フィルム状物に所定の処理を施す非接触型送気処理システムであって、
前記フィルム状物が配置される送気処理器搬送面から該フィルム状物に向けて処理用ガスを吹き出すように送気することで、非接触状態で前記フィルム状物を処理する送気処理器と、
前記フィルム状物が配置されるターン装置搬送面から該フィルム状物に向けてフィルム浮揚用ガスを吹き出すことで、非接触状態で前記フィルム状物の搬送方向を変化させて前記送気処理器搬送面に向けて案内するターン装置と、
前記送気処理器に前記処理用ガスを供給する処理用ガス供給路と、
前記ターン装置に前記フィルム浮揚用ガスを供給する浮揚用ガス供給路と、
前記処理用ガス供給路および前記浮揚ガス供給路に接続され、前記処理用ガスおよび前記フィルム浮揚用ガスとなるガスを生成するガス供給源と、
前記処理用ガス供給路に設けられて前記処理用ガスの流量を調整する処理用ガスバルブと、
前記浮揚用ガス供給路に設けられて前記フィルム浮揚用ガスの流量を調整する浮揚用ガスバルブと、
を備える非接触型送気処理システム。
【請求項３】
前記送気処理器および前記ターン装置の各々は前記フィルム状物の搬送経路上に複数設けられ、
前記処理用ガス供給路は、各々の前記送気処理器に向けて複数に分岐して各々の該送気処理器に接続される処理用ガス分岐路を有し、
前記浮揚用ガス供給路は、各々の前記ターン装置に向けて複数に分岐して各々の該ターン装置に接続される浮揚用ガス分岐路を有する請求項１または２に記載の非接触型送気処理システム。
【請求項４】
複数の前記送気処理器は、前記送気処理器搬送面同士を対向させた状態で、該送気処理器搬送面同士の間に前記フィルム状物を配置するフィルム配置隙間をあけた状態で並び、
複数の前記ターン装置は、各々の前記送気処理器に対して一つずつ、前記送気処理器搬送面同士の対向方向となる第一の方向に交差する第二の方向に並び、前記フィルム状物を自身に対して搬送方向下流側に位置する前記フィルム配置隙間に案内し、
前記第一の方向に隣合う前記ターン装置のうちの一方は、前記送気処理器に対して前記第二の方向の一方側に配置され、前記第一の方向に隣合う前記ターン装置のうちの他方は、前記送気処理器に対して前記第二の方向の他方側に配置され、
前記処理用ガス分岐路は、複数の前記送気処理器の各々に対して前記第一の方向および前記第二の方向に交差する第三の方向の一方側から接続されている請求項３に記載の非接触型送気処理システム。
【請求項５】
前記浮揚用ガス分岐路は、
前記送気処理器に対して前記第二の方向の一方側に配置された前記ターン装置に対して前記第三の方向の一方側から接続された第一分岐部と、
前記処理用ガス分岐路を挟んで、前記第一分岐部に対して前記第二の方向の反対側に配置され、前記送気処理器に対して前記第二の方向の他方側に配置された前記ターン装置に対して前記第三の方向の一方側から接続された第二分岐部と、
を有する請求項４に記載の非接触型送気処理システム。
【請求項６】
前記処理用ガス分岐路には、前記処理用ガスの流量を個別に調整可能な処理用ガス個別調整バルブが一つずつ設けられている請求項３に記載の非接触型送気処理システム。
【請求項７】
前記浮揚用ガス分岐路には、前記浮揚用ガスの流量を個別に調整可能な浮揚用ガス個別調整バルブが一つずつ設けられている請求項３に記載の非接触型送気処理システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、搬送中の搬送対象物に向けてガスを送気し、非接触で搬送対象物に所定の処理を施す非接触型送気処理システムに関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
本発明は、搬送対象物となるフィルム、金属箔、織物、紙、テープ、粘着テープなどのフィルム状の物体、あるいはガラス板（液晶用ガラス基板など）、金属の板状物（シリコン基板やプリント基板なども含む）、さらにはある程度の板厚を有する物体（以下、これらをまとめて単にフィルム状物という）に向けてガスを送気することによって、搬送対象物を浮揚させつつ非接触で処理を行う非接触型の処理装置（例えば乾燥装置）が知られている。
【０００３】
そしてこの種の処理装置の一例が特許文献１に記載されており、フィルム状物（長尺状支持体）の表面および裏面の各々に対して乾燥機（エアチャンバー）を対向配置して熱風を吹き出すことでフィルム状物を浮揚させつつ乾燥処理を行うようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１４－１０２０１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで特許文献１には、フィルム状物の搬送方向の上流側にターン装置（エアターンバー）を設け、フィルム状物の搬送方向を変更して乾燥機に向けて非接触で案内する例が記載されている。この場合、ターン装置および乾燥機の各々にガス（空気等）を送り込む必要があるが、ターン装置と乾燥機（以下、送気処理器）とにおいて必要とされるガス流量等は必ずしも一致しない。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
そこで本発明は、ターン装置および送気処理器の各々に対して最適な状態のガスを供給することで、安定してフィルム状物を浮揚させつつフィルム状物に所定の処理を施すことが可能な非接触型送気処理システムを提供する。
【０００７】
本発明の一態様に係る非接触型送気処理システムは、搬送中のフィルム状物を浮揚しながら該フィルム状物に所定の処理を施す非接触型送気処理システムであって、前記フィルム状物が配置される送気処理器搬送面から該フィルム状物に向けて処理用ガスを吹き出すように送気することで、非接触状態で前記フィルム状物を処理する送気処理器と、前記フィルム状物が配置されるターン装置搬送面から該フィルム状物に向けてフィルム浮揚用ガスを吹き出すことで、非接触状態で前記フィルム状物の搬送方向を変化させて前記送気処理器搬送面に向けて案内するターン装置と、前記送気処理器に前記処理用ガスを供給する処理用ガス供給路と、前記ターン装置に前記フィルム浮揚用ガスを供給する浮揚用ガス供給路と、前記処理用ガス供給路に接続され、前記処理用ガスを生成する処理用ガス供給源と、前記浮揚用ガス供給路に接続されて前記フィルム浮揚用ガスを生成し、前記処理用ガス供給源とは別個に設けられた浮揚用ガス供給源と、を備える。
【０００８】
本発明の他の態様に係る非接触型送気処理システムは、搬送中のフィルム状物を浮揚しながら該フィルム状物に所定の処理を施す非接触型送気処理システムであって、前記フィルム状物が配置される送気処理器搬送面から該フィルム状物に向けて処理用ガスを吹き出すように送気することで、非接触状態で前記フィルム状物を処理する送気処理器と、前記フィルム状物が配置されるターン装置搬送面から該フィルム状物に向けてフィルム浮揚用ガスを吹き出すことで、非接触状態で前記フィルム状物の搬送方向を変化させて前記送気処理器搬送面に向けて案内するターン装置と、前記送気処理器に前記処理用ガスを供給する処理用ガス供給路と、前記ターン装置に前記フィルム浮揚用ガスを供給する浮揚用ガス供給路と、前記処理用ガス供給路および前記浮揚ガス供給路に接続され、前記処理用ガスおよび前記フィルム浮揚用ガスとなるガスを生成するガス供給源と、前記処理用ガス供給路に設けられて前記処理用ガスの流量を調整する処理用ガスバルブと、前記浮揚用ガス供給路に設けられて前記フィルム浮揚用ガスの流量を調整する浮揚用ガスバルブと、を備える。
【０００９】
上記の非接触型送気処理システムでは、前記送気処理器および前記ターン装置の各々は前記フィルム状物の搬送経路上に複数設けられ、前記処理用ガス供給路は、各々の前記送気処理器に向けて複数に分岐して各々の該送気処理器に接続される処理用ガス分岐路を有し、前記浮揚用ガス供給路は、各々の前記ターン装置に向けて複数に分岐して各々の該ターン装置に接続される浮揚用ガス分岐路を有してもよい。
【００１０】
上記の非接触型送気処理システムでは、複数の前記送気処理器は、前記送気処理器搬送面同士を対向させた状態で、該送気処理器搬送面同士の間に前記フィルム状物を配置するフィルム配置隙間をあけた状態で並び、複数の前記ターン装置は、各々の前記送気処理器に対して一つずつ、前記送気処理器搬送面同士の対向方向となる第一の方向に交差する第二の方向に並び、前記フィルム状物を自身に対して搬送方向下流側に位置する前記フィルム配置隙間に案内し、前記第一の方向に隣合う前記ターン装置のうちの一方は、前記送気処理器に対して前記第二の方向の一方側に配置され、前記第一の方向に隣合う前記ターン装置のうちの他方は、前記送気処理器に対して前記第二の方向の他方側に配置され、前記処理用ガス分岐路は、複数の前記送気処理器の各々に対して前記第一の方向および前記第二の方向に交差する第三の方向の一方側から接続されていてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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