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公開番号2025043485
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-01
出願番号2023150792
出願日2023-09-19
発明の名称観察装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人
主分類G01N 21/45 20060101AFI20250325BHJP(測定;試験)
要約【課題】観察領域に存在する複数種類の気体のうち、特定の種類の気体の流れを観察できる観察装置を提供する。
【解決手段】観察装置60は、背景画像61、撮像部62、波長選択部63、およびコンピュータを備える。撮像部62は、背景画像61を、気流が存在する観察領域Sを介して撮影する撮像センサ622を有する。波長選択部63は、背景画像61と撮像センサ622との間に配置される。波長選択部63は、特定波長の光を選択的に透過させる。このため、撮像部62は、特定波長の光による背景画像61の像を撮影できる。したがって、コンピュータは、得られた撮影画像に背景型シュリーレン法を適用することにより、観察領域に存在する複数種類の気体のうち、特定の種類の気体の流れを観察できる。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
気流を観察する観察装置であって、
背景画像と、
前記背景画像を前記気流が存在する観察領域を介して撮影する撮像センサを有する撮像部と、
前記背景画像と前記撮像センサとの間に配置され、特定波長の光を選択的に透過させる波長選択部と、
前記撮像部により取得された画像を用いて、背景型シュリーレン法により前記気流の状態を算出するコンピュータと、
を備える、観察装置。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
請求項１に記載の観察装置であって、
前記波長選択部は、前記特定波長の光を透過させる干渉フィルタである、観察装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の観察装置であって、
前記特定波長は、観察対象となる気体の吸収波長である、観察装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の観察装置であって、
前記背景画像から出射または反射され、前記観察領域を透過した光を、第１光路と第２光路とに分岐するビームスプリッタと、
前記第１光路に配置された前記撮像部である第１撮像部と、
前記第２光路に配置された第２撮像部と、
を備え、
前記波長選択部は、前記第１光路および前記第２光路のうち、前記第１光路のみに配置される、観察装置。
【請求項５】
気流を観察する観察装置であって、
背景画像と、
前記背景画像を前記気流が存在する観察領域を介して撮影する撮像センサを有する撮像部と、
前記撮像部により取得された画像を用いて、背景型シュリーレン法により前記気流の状態を算出するコンピュータと、
を備え、
前記背景画像から出射または反射する光の波長が、前記観察領域に存在する気体のうち、観察対象となる気体の吸収波長である、観察装置。
【請求項６】
請求項５に記載の観察装置であって、
前記背景画像を配置すべき背景面に、前記吸収波長の光によって、前記背景画像を投影するプロジェクタ
をさらに備える、観察装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、気流を観察する観察装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハ等の基板に対して処理液を供給することにより、基板の洗浄処理を行う装置が知られている。この種の装置では、チャンバ内の僅かな気流の変化が、製品の品質を低下させる要因となり得る。このため、基板の洗浄処理を実行しつつ、チャンバ内の気流の状態を観察できる技術が求められている。
【０００３】
気流を観察するための技術としては、例えば、背景型シュリーレン（BOS：Background Oriented Schlieren）法が知られている。背景型シュリーレン法は、気流が形成される観察領域を介して背景画像を撮影し、得られた撮影画像における背景画像の歪みを測定することにより、観察領域における気流の状態を算出する手法である。
【０００４】
背景型シュリーレン法を用いた従来の装置については、例えば、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２０－１４３９１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、観察領域に複数種類の気体が存在する場合、従来の背景型シュリーレン法では、それらの混合気体の屈折率の総和による画像の歪みを測定し、混合気体の全体としての流れを観察することとなる。このため、従来の背景型シュリーレン法では、混合気体中の特定の種類の気体の流れを観察することはできなかった。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みなされたものであり、観察領域に存在する複数種類の気体のうち、特定の種類の気体の流れを観察できる観察装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本願の第１発明は、気流を観察する観察装置であって、背景画像と、前記背景画像を前記気流が存在する観察領域を介して撮影する撮像センサを有する撮像部と、前記背景画像と前記撮像センサとの間に配置され、特定波長の光を選択的に透過させる波長選択部と、前記撮像部により取得された画像を用いて、背景型シュリーレン法により前記気流の状態を算出するコンピュータと、を備える。
【０００９】
本願の第２発明は、第１発明の観察装置であって、前記波長選択部は、前記特定波長の光を透過させる干渉フィルタである。
【００１０】
本願の第３発明は、第１発明または第２発明の観察装置であって、前記特定波長は、観察対象となる気体の吸収波長である。
（【００１１】以降は省略されています）

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