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公開番号2025053914
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-07
出願番号2023163033
出願日2023-09-26
発明の名称シートコンタクタ
出願人株式会社ヨコオ
代理人個人,個人
主分類G01R 1/067 20060101AFI20250331BHJP(測定;試験)
要約【課題】検査対象物の高速化に対応可能なシートコンタクタを提供する。
【解決手段】絶縁性シートと、前記絶縁性シートの主面に配置された導電性の第1接触用突起部と、前記絶縁性シートの前記主面の反対面に配置された導電性の第2接触用突起部と、前記絶縁性シートを貫通して前記第1接触用突起部と前記第2接触用突起部とを接続する貫通導体部と、を備え、前記絶縁性シートは可撓性を有し、前記絶縁性シートの面方向における前記第1接触用突起部の位置と、前記第2接触用突起部の位置との間に位置ずれが存在する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
絶縁性シートと、
前記絶縁性シートの主面に配置された導電性の第１接触用突起部と、
前記絶縁性シートの前記主面の反対面に配置された導電性の第２接触用突起部と、
前記絶縁性シートを貫通して前記第１接触用突起部と前記第２接触用突起部とを接続する貫通導体部と、を備え、
前記絶縁性シートは可撓性を有し、
前記絶縁性シートの面方向における前記第１接触用突起部の位置と、前記第２接触用突起部の位置との間に位置ずれが存在する、シートコンタクタ。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
前記第１接触用突起部を部分的に囲むスリットが前記絶縁性シートに形成され、前記スリットは前記位置ずれ方向に垂直な成分と平行な成分を有する、請求項１に記載のシートコンタクタ。
【請求項３】
前記第１接触用突起部及び前記第２接触用突起部が配置され、かつ前記スリットで部分的に囲まれた前記絶縁性シートの領域は、前記スリットを境界として撓むことが可能である、請求項２に記載のシートコンタクタ。
【請求項４】
前記絶縁性シートの主面に前記貫通導体部と接続する導電性の第１ベース部が配置され、前記主面の反対面に前記貫通導体部と接続する導電性の第２ベース部が配置され、
前記第１ベース部上に前記第１接触用突起部が配置され、前記第２ベース部上に前記第２接触用突起部が配置されている、請求項１，２又は３に記載のシートコンタクタ。
【請求項５】
前記第１ベース部及び前記第２ベース部は剛性を有する、請求項４に記載のシートコンタクタ。
【請求項６】
前記第１ベース部及び前記第２ベース部の長手方向は、前記第１接触用突起部の位置と前記第２接触用突起部の位置との間の位置ずれ方向に略平行である、請求項４に記載のシートコンタクタ。
【請求項７】
前記第１接触用突起部及び前記第２接触用突起部は耐摩耗性金属である、請求項１，２又は３に記載のシートコンタクタ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シートコンタクタに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路等のデバイスの電気的特性の検査において、検査対象物であるデバイスと検査用基板との電気的接続のためにコンタクタが用いられる。近年、デバイスの高速化により短尺のコンタクタが必要になってきている。しかし、ばねを内蔵したポゴピンは短尺化が難しく、マイクロカンチのようなＭＥＭＳ（micro electro mechanical system）プローブでは配置や、ストロークの確保が難しい問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１９４３２２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的の一例は、検査対象物の高速化に対応可能なシートコンタクタを提供することにある。本発明の他の目的は、本明細書の記載から明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一態様は、シートコンタクタであり、
絶縁性シートと、
前記絶縁性シートの主面に配置された導電性の第１接触用突起部と、
前記絶縁性シートの前記主面の反対面に配置された導電性の第２接触用突起部と、
前記絶縁性シートを貫通して前記第１接触用突起部と前記第２接触用突起部とを接続する貫通導体部と、を備え、
前記絶縁性シートは可撓性を有し、
前記絶縁性シートの面方向における前記第１接触用突起部の位置と、前記第２接触用突起部の位置との間に位置ずれが存在する。
【０００６】
本発明の上記態様によれば、検査対象物の高速化に対応可能なシートコンタクタを実現できる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
本発明の実施形態に係るシートコンタクタ１の平面図である。
シートコンタクタ１における一つの接続用導体部１０及びその近傍の拡大平面図である。
同拡大底面図である。
同拡大正面図である。
同拡大側面図である。
図２のＡ－Ａ断面図である。
接続用導体部１０及びその近傍の拡大斜視図である。
検査対象物であるデバイスを検査する場合で荷重を加えていない状態の拡大正断面図である。
検査対象物であるデバイスを検査する場合で荷重を加えた状態の拡大正断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
図１から図７を用いて本発明の実施形態に係るシートコンタクタ１を説明する。シートコンタクタ１は電気接続に用いるコンタクタであって、可撓性（フレキシブルな性質）を有する絶縁性シート５に、複数の接続用導体部１０を配列している。絶縁性シート５はポリイミド等からなる樹脂シートである。
【０００９】
個々の接続用導体部１０は、絶縁性シート５の貫通孔６に埋設された貫通導体部１１と、絶縁性シート５の上面（主面）に配置された導電性の第１ベース部１２と、第１ベース部１２上に配置された導電性の第１接触用突起部１３と、絶縁性シート５の下面（主面の反対面）に配置された導電性の第２ベース部２２と、第２ベース部２２上に配置された導電性の第２接触用突起部２３と、を有している。貫通導体部１１、第１ベース部１２及び第２ベース部２２は銅、銅合金等の導電性金属であり、貫通導体部１１は、第１ベース部１２及び第２ベース部２２を接続している。第１接触用突起部１３及び第２接触用突起部２３はニッケル系の耐摩耗性の導電性金属であり、それぞれ第１ベース部１２及び第２ベース部２２に接続している。第１ベース部１２、第１接触用突起部１３、第２ベース部２２及び第２接触用突起部２３は例えばフォトリソグラフィー等の技術で絶縁性シート５上に一体的に積層形成される。
【００１０】
図２から図６に示すように、第１ベース部１２及び第２ベース部２２はそれぞれ長円形であって、絶縁シート５よりも大きな肉厚で絶縁性シート５に被着形成される。これにより、第１ベース部１２及び第２ベース部２２を形成した部分は、所要の剛性を有する。長円形の第１ベース部１２及び第２ベース部２２は、貫通導体部１１が位置する領域では、絶縁性シート５の面方向位置において互いに重なっているが、長円形の長手方向において面方向位置がずれている。つまり、図６に示すように、第１ベース部１２は貫通導体部１１の右側が長く、第２ベース部２２は貫通導体部１１の左側が長い。そして、第１ベース部１２の貫通導体部１１から離れた側に円柱状の第１接触用突起部１３が形成され、第２ベース部２２の貫通導体部１１から離れた側に円柱状の第２接触用突起部２３が形成されている。従って、図４に示すように絶縁性シート５の上面（主面）側の第１接触用突起部１３の中心位置Ｐ１と、絶縁性シート５の下面側の第２接触用突起部２３の中心位置Ｐ２とは重ならず、Ｐ１とＰ２との間に位置ずれＬが存在する。位置ずれＬの方向は長円形の第１ベース部１２及び第２ベース部２２の長手方向に沿っている（長手方向に略平行である）。
（【００１１】以降は省略されています）

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