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公開番号2025042731
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-28
出願番号2023149834
出願日2023-09-15
発明の名称プローブ
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 1/067 20060101AFI20250321BHJP(測定;試験)
要約【課題】アームの間に構成されたスリットの端部での応力の集中による破損が抑止されたプローブを提供する。
【解決手段】プローブ10は、軸方向の端部である第1端部101および第2端部102と、第1のスリット13を相互間に構成するように軸方向に垂直な幅方向に並列して配置された柱形状の第1アーム11および第2アーム12を備える。第1アーム11および第2アーム12は、第1端部101から第2端部102まで延伸する。第1端部101と第2端部102を接続領域として、第1アーム11と第2アーム12が接続されている。第1端部101と第2端部102において、幅方向における開口幅が第1のスリット13よりも狭い第2のスリット14が、第1のスリット13に連通するように軸方向に沿って接続領域に形成されている。第2のスリット14の幅方向に沿った断面における側面は、幅方向に対して斜めに交差するテーパ形状に形成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブであって、
それぞれが軸方向の端部である第１端部および第２端部と、
第１のスリットを相互間に構成するように前記軸方向に垂直な幅方向に並列して配置され、前記第１端部から前記第２端部までそれぞれ延伸する柱形状の第１アームおよび第２アームと、
を備え、
前記第１端部と前記第２端部を接続領域として、前記第１アームと前記第２アームが相互に接続され、
前記第１端部と前記第２端部の少なくともいずれかにおいて、前記幅方向における開口幅が前記第１のスリットよりも狭い第２のスリットが、前記第１のスリットに連通するように前記軸方向に沿って前記接続領域に形成され、
前記第２のスリットの前記幅方向に沿った断面における側面が、前記幅方向に対して斜めに交差するテーパ形状に形成されている、
プローブ。
続きを表示（約 660 文字）【請求項２】
前記第２のスリットの前記軸方向に沿った断面における側面が、前記軸方向に対して斜めに交差するテーパ形状に形成されている、請求項１に記載のプローブ。
【請求項３】
前記第１のスリットの前記幅方向に沿った断面において、前記第１のスリットの側面と前記幅方向とのなす角度が、前記第２のスリットの側面と前記幅方向とのなす角度よりも大きい、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項４】
前記第１のスリットの前記軸方向に沿った断面において、前記第１のスリットの側面と前記軸方向とのなす角度が、前記第２のスリットの側面と前記軸方向とのなす角度よりも大きい、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項５】
前記第１端部と前記第２端部の両方において、前記第２のスリットが形成されている、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項６】
前記第２のスリットが、前記接続領域の前記第１アームとの接続位置および前記接続領域の前記第２アームとの接続位置のそれぞれから離隔した領域において、前記第１のスリットと連通している、請求項１又は２に記載のプローブ。
【請求項７】
前記第１端部よりも硬度の高い材料からなり、前記第１アームおよび前記第２アームが延伸する方向と逆向きに前記接続領域から延伸する先端部材が、前記第１端部に配置され、
前記第１端部において前記第２のスリットが形成されている、
請求項１又は２に記載のプローブ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用するプローブに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路などの検査対象物の電気的特性をウェハから分離しない状態で検査するために、検査対象物に接触するプローブを用いる。プローブを用いた検査において、検査対象物に接触したプローブが弾性変形するようにプローブに荷重を印加させてもよい。プローブが弾性変形することにより、プローブの弾力によって検査対象物とプローブの接触を確実にできる。検査対象物に接触するプローブの押圧を調整するために、複数の柱状のアームを並列に配置した構造のプローブが検討されている（特許文献１参照。）。アームを並列に配置した構造のプローブでは、アームの間にスリットが構成される。このスリットの端部は、アームの相互間の接続部分である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１４３９７６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
複数のアームを並列に配置した構造のプローブでは、プローブの湾曲により、アームの間に構成されたスリットの端部に応力が集中する。この応力の集中により、プローブが破損するおそれがある。
【０００５】
本発明は、アームの間に構成されたスリットの端部での応力の集中による破損が抑止されたプローブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様によれば、それぞれが軸方向の端部である第１端部および第２端部と、第１のスリットを相互間に構成するように軸方向に垂直な幅方向に並列して配置された柱形状の第１アームおよび第２アームを備えるプローブが提供される。第１アームおよび第２アームのそれぞれは、第１端部から第２端部まで延伸する。第１端部と第２端部を接続領域として、第１アームと第２アームが相互に接続されている。第１端部と第２端部の少なくともいずれかにおいて、幅方向における開口幅が第１のスリットよりも狭い第２のスリットが、第１のスリットに連通するように軸方向に沿って接続領域に形成されている。第２のスリットの幅方向に沿った断面における側面が、幅方向に対して斜めに交差するテーパ形状に形成されている。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、アームの間に構成されたスリットの端部での応力の集中による破損が抑止されたプローブを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、本発明の実施形態に係るプローブの構成を示す模式図である。
図２は、本発明の実施形態に係るプローブの端部の構成を示す模式的な斜視図である。
図３は、図１のＩＩＩ－ＩＩＩ方向に沿った模式的な断面図である。
図４は、図１のＩＶ－ＩＶ方向に沿った模式的な断面図である。
図５は、図１のＶ－Ｖ方向に沿った模式的な断面図である。
図６は、本発明の実施形態に係るプローブを含む電気的接続装置の構成を示す模式図である。
図７は、本発明の実施形態に係るプローブの第２のスリットにおいて第１アームと第２アームが接触した状態を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置および製造方法などを下記のものに特定するものでない。
【００１０】
図１に示す実施形態に係るプローブ１０は、検査対象物の電気的特性の検査に使用される。プローブ１０は、第１端部１０１と第２端部１０２、および、柱形状の第１アーム１１と第２アーム１２を含む。第１アーム１１と第２アーム１２のそれぞれは、第１端部１０１から第２端部１０２まで延伸する。第１端部１０１と第２端部１０２を接続領域として、第１アーム１１と第２アーム１２は相互に接続されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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