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公開番号2025037489
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-18
出願番号2023144445
出願日2023-09-06
発明の名称露光装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人
主分類G03F 7/20 20060101AFI20250311BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】ステージの移動により、露光ヘッドの支持部材に歪みが生じた場合であっても、精度良くパターンを描画することができる技術を提供する。
【解決手段】露光装置100は、基台1と、ステージ2と、ステージ移動機構3と、ガントリー4と、露光ヘッド51と、変位センサ6と、制御部9とを有する。ステージ2は、基板Wを保持可能であって、基台1に支持されている。ステージ2を基台1に対してY方向に移動させる。ガントリー4は、基台1に固定されている。露光ヘッド51は、ガントリー4に支持されている。変位センサ6は、Y方向およびX方向における、基台1に対する支持部材4の変位量を測定する。制御部9の補正部は、変位センサ6によって測定された変位量を用いて、露光ヘッド51が露光する露光位置を補正する。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
露光装置であって、
基台と
基板を保持可能であって、前記基台に支持されたステージと、
前記ステージを前記基台に対して第１方向に移動させる移動機構と、
前記基台に固定された支持部材と、
前記支持部材に支持された露光ヘッドと、
前記第１方向または前記第１方向と交差する第２方向の少なくともどちらかの方向における、前記基台に対する前記支持部材の変位量を測定する変位センサと、
前記変位センサによって測定された前記変位量を用いて、前記露光ヘッドが露光する露光位置を補正する補正部と、
を備える、露光装置。
続きを表示（約 890 文字）【請求項２】
請求項１に記載の露光装置であって、
前記変位センサは、前記支持部材に取り付けられており、
前記変位センサは、前記基台に固定された検出体の位置を検出する、露光装置。
【請求項３】
請求項１に記載の露光装置であって、
前記変位センサは、前記基台に取り付けられており、
前記変位センサは、前記支持部材に固定された検出体の位置を検出する、露光装置。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の露光装置であって、
前記変位センサは、光学式センサである、露光装置。
【請求項５】
請求項４に記載の露光装置であって、
前記光学式センサは、
前記支持部材または前記基台に固定されたミラーで反射した光を検出する、露光装置。
【請求項６】
請求項１または請求項２に記載の露光装置であって、
前記変位センサは、リニアエンコーダである、露光装置。
【請求項７】
請求項１または請求項２に記載の露光装置であって、
前記変位センサは、触針式センサである、露光装置。
【請求項８】
請求項１または請求項２に記載の露光装置であって、
前記補正部は、前記変位センサによって測定された前記変位量、および、前記支持部材の変位量と前記露光ヘッドの変位量との関係式を用いて、前記露光ヘッドの変位量を算出する、露光装置。
【請求項９】
請求項１または請求項２に記載の露光装置であって、
前記変位センサは、第１変位センサと第２変位センサとを有し、
前記補正部は、前記第１変位センサおよび前記第２変位センサによって測定された変位量に基づいて前記露光位置を補正する、露光装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の露光装置であって、
前記第１変位センサおよび前記第２変位センサは、前記支持部材の中心に対して、非対称に配置されている、露光装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本明細書で開示される主題は、露光装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば半導体ウエハやガラス基板などの基板にパターンを形成する方法として、光照射により直接描画を行う露光装置が知られている。この種の露光装置は、レジストなどの感光層が形成された基板をステージに保持し、ステージを基台に対して主走査方向に移動させる。また、露光装置は、ステージの主走査方向の位置に応じたパターン光を露光ヘッドから出射することにより、感光層に所定のパターンを描画する。
【０００３】
露光装置では、一般的に、露光ヘッドは、基台に固定されたガントリーなどの支持部材に支持されている。そして、ステージは、基台に対して移動するように構成されている。この場合、ステージを移動させると、装置全体の荷重分布が変化することによって、支持部材に歪みが起きる場合があった。支持部材に歪みが生じると、露光ヘッドが変位してしまい、露光位置がずれるおそれがあった。
【０００４】
例えば、特許文献１では、ガントリー部に対するＹステージのヨー角を検出するステージ装置が開示されている。このステージ装置では、ステージの前端中央に、光検出器が取り付けられ、ガントリー部の中間位置にレーザ光を光検出器に照射するレーザ発光器が取り付けられている。光検出器とレーザ発光器とは、Ｙ軸に対する位置ずれを計測する計測手段を構成しており、Ｙステージが基準位置にあるときレーザ発光器から出射されるレーザ光の光軸がＹステージの移動方向（Ｙ方向）と一致するように設けられている。そして、光検出器によって検出された光強度分布から光軸の直交する方向への位置ずれ量が検出される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－１１５７２０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１の場合、光検出器がＹステージとともに移動するため、光検出器自体が振動等してしまう。このため、ガントリー部の位置を精度良く検出することが困難であった。また、ガントリー部のＹ方向の位置を検出することができないなどの制約もあった。
【０００７】
本発明の目的は、ステージの移動により露光ヘッドの支持部材に歪みが生じた場合であっても、露光を精度良く行うことができる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、第１態様は、露光装置であって、基台と基板を保持可能であって、前記基台に支持されたステージと、前記ステージを前記基台に対して第１方向に移動させる移動機構と、前記基台に固定された支持部材と、前記支持部材に支持された露光ヘッドと、前記第１方向または前記第１方向と交差する第２方向の少なくともどちらかの方向における、前記基台に対する前記支持部材の変位量を測定する変位センサと、前記変位センサによって測定された前記変位量を用いて、前記露光ヘッドが露光する露光位置を補正する補正部と、を備える。
【０００９】
第２態様は、第１態様の露光装置であって、前記変位センサは、前記支持部材に取り付けられており、前記変位センサは、前記基台に固定された検出体の位置を検出する。
【００１０】
第３態様は、第１態様の露光装置であって、前記変位センサは、前記基台に取り付けられており、前記変位センサは、前記支持部材に固定された検出体の位置を検出する。
（【００１１】以降は省略されています）

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