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公開番号2025032712
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-12
出願番号2023138153
出願日2023-08-28
発明の名称荷電粒子ビーム装置
出願人株式会社ニューフレアテクノロジー
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01J 37/18 20060101AFI20250305BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】イオンポンプの適切な交換時期を判断することができる電流測定装置を提供する。
【解決手段】本実施形態による荷電粒子ビーム装置は、荷電粒子を発生させる荷電粒子発生部と、荷電粒子発生部を収容するチャンバと、チャンバ内の気体をイオン化してチャンバの内部を減圧する減圧装置と、チャンバと減圧装置との間を接続する接続管と、接続管に設けられ、電気的にフローティング状態であり、減圧装置からチャンバへ流れるイオンを遮蔽する遮蔽部材と、遮蔽部材に電気的に接続され、遮蔽部材の電気的な変化を測定する測定器と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
荷電粒子を発生させる荷電粒子発生部と、
前記荷電粒子発生部を収容するチャンバと、
前記チャンバ内の気体をイオン化して前記チャンバの内部を減圧する減圧装置と、
前記チャンバと前記減圧装置との間を接続する接続管と、
前記接続管に設けられ、電気的にフローティング状態であり、前記減圧装置から前記チャンバへ流れるイオンを遮蔽する遮蔽部材と、
前記遮蔽部材に電気的に接続され、前記遮蔽部材の電気的な変化を測定する測定器と、を備える荷電粒子ビーム装置。
続きを表示（約 880 文字）【請求項２】
前記チャンバ、前記減圧装置または前記接続管のいずれかの壁部を貫通するように設けられたフィードスルー端子と、
前記フィードスルー端子を通して前記遮蔽部材と前記測定器との間に電気的に接続された配線とをさらに備える、請求項１に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項３】
前記測定器は、前記チャンバの外に設けられ、前記フィードスルー端子を介して前記遮蔽部材に電気的に接続される、請求項２に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項４】
前記測定器は、前記遮蔽部材に電圧を印加する、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項５】
前記配線は、前記チャンバ、前記減圧装置または前記接続管の外部において絶縁材料で被覆されており、前記チャンバ、前記減圧装置または前記接続管の内部において前記絶縁材料で被覆されていない、請求項２に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項６】
前記遮蔽部材は、
導電性材料で構成された複数の導電部材と、
導電性材料で構成されており、前記複数の導電部材および前記配線に電気的に接続され、前記複数の導電部材の位置を前記接続管に対して固定する枠材と、
絶縁性材料で構成されており、前記接続管と前記枠材との間に設けられた絶縁部とを備える、請求項２に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項７】
前記枠材は、前記複数の導電部材を前記配線に電気的に接続し、
前記絶縁部は、前記チャンバ、前記減圧装置および前記接続管から前記枠材および前記複数の導電部材を電気的に分離している、請求項６に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項８】
前記測定器は、前記遮蔽部材に達したイオン量を該遮蔽部材に流れる電流によって測定する、請求項１に記載の荷電粒子ビーム装置。
【請求項９】
前記絶縁部材は、セラミック、または、金属を含むセラミックで構成されている、請求項６に記載の荷電粒子ビーム装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本実施形態は、荷電粒子ビーム装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
マスク描画装置等の荷電粒子ビーム装置は、荷電粒子を放出する電子銃を収容する電子銃室と、電子銃室内を減圧するイオンポンプとを備える。イオンポンプは、電子銃室の内部の気体をイオン化して捕捉することによって電子銃室内を減圧する。イオンポンプからのイオンが電子銃室へ侵入すると、電子銃室内において、予期しない放電を誘発するおそれがある。このような放電を抑制するために、イオンポンプで発生したイオンを阻止するシールドがイオンポンプと電子銃室との間に設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００１－５２６４３号公報
特開２０００－２２３０５５号公報
特開昭６０－０３９７５１号公報
特開２０２１－０９９９３８号公報
特開平８－１６５５７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、シールドは、減圧のために通気性も確保する必要があるため、イオンの逆流を完全に阻止することはできない。イオンポンプの使用時間の経過に伴い、イオンポンプから電子銃室へ逆流するイオンが増えると、電子銃室での放電の確率が増える。この場合、イオンポンプの交換が必要になるが、イオンポンプの適切な交換時期を正確に判断することはできなかった。
【０００５】
そこで、イオンポンプの適切な交換時期を判断することができる荷電粒子ビーム装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態による荷電粒子ビーム装置は、荷電粒子を発生させる荷電粒子発生部と、荷電粒子発生部を収容するチャンバと、チャンバ内の気体をイオン化してチャンバの内部を減圧する減圧装置と、チャンバと減圧装置との間を接続する接続管と、接続管に設けられ、電気的にフローティング状態であり、減圧装置からチャンバへ流れるイオンを遮蔽する遮蔽部材と、遮蔽部材に電気的に接続され、遮蔽部材の電気的変化を測定する測定器と、を備える。
【０００７】
荷電粒子ビーム装置は、チャンバ、減圧装置または接続管のいずれかの壁部を貫通するように設けられたフィードスルー端子と、フィードスルー端子を通して遮蔽部材と測定器との間に電気的に接続された配線とをさらに備えてもよい。
【０００８】
測定器は、チャンバの外に設けられ、フィードスルー端子を介して遮蔽部材に電気的に接続されてもよい。
【０００９】
測定器は、遮蔽部材に電圧を印加してもよい。
【００１０】
配線は、チャンバ、減圧装置または接続管の外部において絶縁材料で被覆されており、チャンバ、減圧装置または接続管の内部において絶縁材料で被覆されていなくてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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