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公開番号2025028767
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-03
出願番号2024128110
出願日2024-08-02
発明の名称ウェハー回転装置
出願人辛耘企業股ふん有限公司
代理人弁理士法人ドライト国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250221BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】異なるサイズのウェハーに対応するウェハー回転装置を提供する。
【解決手段】回転軸チューブ200は、直立するように設置されていると共に回転可能であり、回転軸チューブ200内には圧力室201が形成されている。回転ディスク210は、回転軸チューブ200の上端に設置されている。駆動機構300は、回転軸チューブ200を連動することで回転軸チューブ200を回転するように駆動する。中央吸盤510は、回転ディスク210に設置されていると共に圧力室201に連通されている。外周吸盤520は中央吸盤510を取り囲むように回転ディスク210に設置され、且つ外周吸盤520のそれぞれは圧力室201に連通されている。昇降機構530は回転ディスク210に設置され、且つ前記複数の外周吸盤520を連動することで複数の外周吸盤520のうちの少なくとも一部分を中央吸盤510に対して昇降するように駆動する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
本体と、
回転軸チューブであって、前記回転軸チューブは前記本体に直立するように枢設されており、前記回転軸チューブ内には負圧源に連通される圧力室が形成されている、回転軸チューブと、
前記回転軸チューブの上端に設置されている回転ディスクと、
前記回転軸チューブを連動することで前記回転軸チューブを回転するように駆動する駆動機構と、
前記回転ディスクに設置されていると共に前記圧力室に連通される中央吸盤と、
複数の外周吸盤であって、前記複数の外周吸盤は前記中央吸盤を取り囲むように前記回転ディスクに設置されており、前記複数の外周吸盤のそれぞれは前記圧力室に連通されている、複数の外周吸盤と、を備えていることを特徴とするウェハー回転装置。
続きを表示（約 970 文字）【請求項２】
前記中央吸盤にはスルーホールが設けられ、前記圧力室は前記スルーホールに接続されて前記中央吸盤に連通され、前記外周吸盤のそれぞれに前記回転軸チューブに連結されるパイプが設置されることで前記圧力室に連通されていることを特徴とする請求項１に記載のウェハー回転装置。
【請求項３】
前記回転軸チューブ内に貫設されているバルブステム及び前記バルブステムを軸方向に平行移動するように連動する第１アクチュエータを含む切替バルブを更に備え、前記バルブステムは前記スルーホールに対応するように配置され、且つ前記第１アクチュエータは前記スルーホールを封鎖するように前記バルブステムを移動可能であることを特徴とする請求項２に記載のウェハー回転装置。
【請求項４】
前記回転軸チューブの底端には連通室が枢着され、前記連通室は前記回転軸チューブと前記負圧源との間に位置していることを特徴とする請求項１に記載のウェハー回転装置。
【請求項５】
前記連通室は前記本体に形成されていることを特徴とする請求項４に記載のウェハー回転装置。
【請求項６】
前記複数の外周吸盤に載置されているリングフレームを更に備えていることを特徴とする請求項１に記載のウェハー回転装置。
【請求項７】
前記複数の外周吸盤を連動することで前記複数の外周吸盤のうちの少なくとも一部分を前記中央吸盤に対して昇降するように駆動する昇降機構を更に備えていることを特徴とする請求項１に記載のウェハー回転装置。
【請求項８】
前記昇降機構は連動部材及び第２アクチュエータを備え、前記第２アクチュエータは前記本体に設置され、前記複数の外周吸盤は共に前記連動部材に設置され、前記昇降機構は前記連動部材を連動することで前記連動部材を昇降するように駆動することを特徴とする請求項７に記載のウェハー回転装置。
【請求項９】
前記中央吸盤の中心は前記回転軸チューブの中心軸に揃えていることを特徴とする請求項７に記載のウェハー回転装置。
【請求項１０】
前記複数の外周吸盤は前記回転軸チューブの中心軸に対して等距離で配置されていることを特徴とする請求項７に記載のウェハー回転装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェハー回転装置に関し、更に詳しくは、ロボットアームと組み合わせて様々なサイズのウェハーに対する作業に適用するウェハー回転装置に関するものである。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来のウェハー加工プロセスでは、通常回転ディスクを用いてウェハーを回転している。一般的には、回転ディスクにはウェハーの外縁を挟持するグリッパーが設置されている。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の回転ディスクは単一のサイズのウェハーにのみ適用されるが、加工されるウェハーは一般的にサイズが統一されていないため、対応する回転ディスクをそれぞれ設置する必要があり、設備の設置コストが高くなり、設備の稼働率も低下した。
【０００４】
そこで、本発明者は上記の欠点が改善可能と考え、鋭意検討を重ねた結果、合理的設計で上記の課題を効果的に改善する本発明の提案に至った。
【０００５】
本発明は、このような従来の問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ロボットアームと組み合わせて様々なサイズのウェハーに対する作業に適用するウェハー回転装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のある態様のウェハー回転装置は、本体と、回転軸チューブと、回転ディスクと、駆動機構と、中央吸盤と、複数の外周吸盤と、を備えている。回転軸チューブは直立するように設置され、且つ回転可能であり、回転軸チューブ内には圧力室が形成されている。回転ディスクは回転軸チューブの上端に設置されている。駆動機構は、回転軸チューブを連動することで回転軸チューブを回転するように駆動する。中央吸盤は回転ディスクに設置されていると共に圧力室に連通されている。外周吸盤は中央吸盤を取り囲むように回転ディスクに設置され、且つ外周吸盤のそれぞれは圧力室に連通されている。
【０００７】
本発明の好適例において、中央吸盤にはスルーホールが設けられていると共に圧力室がスルーホールに接続されて中央吸盤に連通され、外周吸盤のそれぞれに回転軸チューブに連結されるパイプが設置されることで圧力室に連通されている。
【０００８】
本発明の好適例において、ウェハー回転装置は、回転軸チューブ内に貫設されているバルブステム及びバルブステムを軸方向に平行移動するように連動する第１アクチュエータを備え、バルブステムはスルーホールに対応するように配置され、第１アクチュエータはスルーホールを封鎖するようにバルブステムを移動可能である。
【０００９】
本発明の好適例において、回転軸チューブの底端には連通室が枢着され、回転軸チューブは連通室に連通され、連通室は固定されるように配置されていると共に負圧源に連通されている。
【００１０】
本発明の好適例において、ウェハー回転装置は、前記複数の外周吸盤に載置されているリングフレームを更に備えている。
（【００１１】以降は省略されています）

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