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公開番号2025028378
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-28
出願番号2024226575,2023075688
出願日2024-12-23,2013-12-19
発明の名称駆動装置
出願人パイオニア株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 26/10 20060101AFI20250220BHJP(光学)
要約【課題】容易な構成で適切な駆動力を実現する。
【解決手段】駆動装置(101)は、被駆動部と連結した第1ベース部(110)と、第1ベース部上に配置されたコイル(300)と、コイルの外周の一部を囲うように配置された第1磁石(710)と、コイルの外周の一部であって、第1磁石により囲われていない部分を囲うように配置された第2磁石(720)と、第1磁石上に設けられた第1ミドルヨーク(810)と、第2磁石上に設けられた第2ミドルヨーク(820)とを備え、第1磁石は、第2磁石よりも小さく、第1ミドルヨークは、コイルから被駆動部が配置された方向にある第2ミドルヨークまでの距離より、コイルから見て異なる方向にある第1ミドルヨークまでの距離が近くなるように配置されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被駆動部と連結した第１ベース部と、
前記第１ベース部上に配置されたコイルと、
前記コイルの外周の一部を囲うように配置された第１磁石と、
前記コイルの外周の一部であって、前記第１磁石により囲われていない部分を囲うように配置された第２磁石と、
前記第１磁石上に設けられた第１ミドルヨークと、
前記第２磁石上に設けられた第２ミドルヨークと
を備え、
前記第１磁石は、前記第２磁石よりも小さく、
前記第１ミドルヨークは、前記コイルから前記被駆動部が配置された方向にある前記第２ミドルヨークまでの距離より、前記コイルから前記方向とは異なる方向にある前記第１ミドルヨークまでの距離が近くなるように配置されている
ことを特徴とする駆動装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばミラー等の被駆動物を駆動させるＭＥＭＳスキャナ等の駆動装置の技術分野に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、ディスプレイ、プリンティング装置、精密測定、精密加工、情報記録再生などの多様な技術分野において、半導体工程技術によって製造されるＭＥＭＳ（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍ）デバイスについての研究が活発に進められている。このようなＭＥＭＳデバイスとして、例えば、光源から入射された光を所定の画面領域に対して走査して画像を具現するディスプレイ分野、または所定の画面領域に対して光を走査して反射された光を受光して画像情報を読み込むスキャニング分野では、微小構造のミラー駆動装置（光スキャナないしはＭＥＭＳスキャナ）が注目されている。
【０００３】
ミラー駆動装置では、コイルと磁石を用いてミラーを駆動する構成が一般的である。この場合、コイルに電流を流すことで生ずる磁界と磁石の磁界との間の相互作用によってミラーに対して回転方向の力が加えられ、その結果、ミラーが回転させられる（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１１－２３１２５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した特許文献１では、コイルの側方に２つの磁石を配置することで磁界を発生させている。しかしながら、例えばＭＥＭＳスキャナと磁石とを平面的に重なるように配置しようとする場合、ＭＥＭＳスキャナの駆動領域確保のために、磁石の配置スペースが限定されてしまう。他方で、磁石にはＭＥＭＳスキャナに対してバランスのよい磁場を付与するものであることが望ましい。このため、磁石を適切にレイアウトすることは容易ではなく、結果として装置構成の複雑化や大型化を招くおそれもある。
【０００６】
本発明が解決しようとする課題には上記のようなものが一例として挙げられる。本発明は、容易な構成で適切な駆動力を実現可能な駆動装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、駆動装置は、被駆動部と連結した第１ベース部と、前記第１ベース部上に配置されたコイルと、前記コイルの外周の一部を囲うように配置された第１磁石と、前記コイルの外周の一部であって、前記第１磁石により囲われていない部分を囲うように配置された第２磁石と、前記第１磁石上に設けられた第１ミドルヨークと、前記第２磁石上に設けられた第２ミドルヨークとを備え、前記第１磁石は、前記第２磁石よりも小さく、前記第１ミドルヨークは、前記コイルから前記被駆動部が配置された方向にある前記第２ミドルヨークまでの距離より、前記コイルから前記方向とは異なる方向にある前記第１ミドルヨークまでの距離が近くなるように配置されている。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施例に係るＭＥＭＳスキャナを表側から見た場合の構成を示す平面図である。
実施例に係るＭＥＭＳスキャナを裏側から見た場合の構成を示す平面図である。
実施例に係るＭＥＭＳスキャナの積層構造を示す断面図である。
実施例に係るＭＥＭＳスキャナの動作の態様を概念的に示す側面図である。
実施例に係るＭＥＭＳスキャナに対する磁石及びミドルヨークの配置を示す平面図である。
実施例に係るＭＥＭＳスキャナに磁場を印加する部材の構成を示す断面図である。
コイルに磁場を印加する部材の位置関係を示す概念図である。
第１比較例に係るＭＥＭＳスキャナに対する磁石及びミドルヨークの配置を示す平面図である。
第２比較例に係るＭＥＭＳスキャナに対する磁石及びミドルヨークの配置を示す平面図である。
Ｖ軸駆動時におけるミドルヨークとの干渉の有無について説明する概念図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、駆動装置の実施形態について順に説明する。
【００１０】
＜１＞
本実施形態の駆動装置は、第１ベース部と、第２ベース部と、前記第１ベース部と前記第２ベース部とを連結する弾性部と、前記第１ベース部上に配置されたコイルと、前記コイルの一方側に配置された第１磁石と、前記コイルから見て前記第１磁石とは反対側に配置された第２磁石と、前記第１磁石の前記コイルと対向する面上に設けられた第１ミドルヨークと、前記第２磁石の前記コイルと対向する面上に設けられた第２ミドルヨークとを備え、前記第１磁石は、前記第２磁石よりも小さく、前記第１ミドルヨークは、前記第２ミドルヨークよりも前記コイルに近い位置に配置されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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