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公開番号2025027962
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-28
出願番号2024077552
出願日2024-05-10
発明の名称調整部材、基板処理装置及び調整方法
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250220BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】2つの構成部材の間の間隔調整を容易に行うことを提供する。
【解決手段】2つの構成部材の間の間隔を調整する調整部材であって、第1の中心を有する環状の本体を有し、前記本体は、周方向に形成される複数の内周凹部を有し、複数の前記内周凹部の夫々は曲線で構成される内周面と、前記内周面を外側から囲む外周面と、複数の前記内周凹部の夫々に対応する前記外周面と複数の前記内周凹部の夫々との間の複数の本体幅を有し、複数の前記本体幅は互いに異なる幅を持つ、複数の間隔調整部と、を有する、調整部材が提供される。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
２つの構成部材の間の間隔を調整する調整部材であって、
第１の中心を有する環状の本体を有し、
前記本体は、
周方向に形成される複数の内周凹部を有し、複数の前記内周凹部の夫々は曲線で構成される内周面と、
前記内周面を外側から囲む外周面と、
複数の前記内周凹部の夫々に対応する前記外周面と複数の前記内周凹部の夫々との間の複数の本体幅を有し、複数の前記本体幅は互いに異なる幅を持つ、複数の間隔調整部と、
を有する、調整部材。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記外周面は、複数の前記内周凹部の夫々に対応して周方向に形成される複数の外周凸部を有し、複数の前記外周凸部の夫々は曲線で構成される、
請求項１に記載の調整部材。
【請求項３】
複数の前記本体幅の夫々を形成する前記内周凹部と前記外周凸部とは、共通の第２の中心を持ち、異なる曲率半径を有する円弧である、
請求項２に記載の調整部材。
【請求項４】
前記内周面の内側に前記本体と前記第１の中心を共有する仮想円を設定した場合、複数の前記第２の中心は、いずれも、前記仮想円の円周上に設定される、
請求項３に記載の調整部材。
【請求項５】
前記複数の内周凹部の夫々が有する円弧の曲率半径は互いに同じであり、
前記複数の外周凸部の夫々が有する円弧の曲率半径は互いに異なる、
請求項３に記載の調整部材。
【請求項６】
前記複数の内周凹部の夫々が有する円弧の曲率半径は互いに異なり、
前記複数の外周凸部の夫々が有する円弧の曲率半径は互いに同じ又は互いに異なる、
請求項３に記載の調整部材。
【請求項７】
前記本体は、花びら状の環状部材である、
請求項１～６のいずれか一項に記載の調整部材。
【請求項８】
基板を収容する処理容器と、
前記処理容器の内部にて前記基板を載置する載置台と、
を有する基板処理装置であって、
前記載置台は、
前記基板を載置する載置面を有する基材と、
前記基材を囲む環状又は筒状の第１のリング部材と、
前記載置面を囲み前記第１のリング部材の上に載置される環状の第２のリング部材と、
前記基材と前記第１のリング部材の間に配置される軸部材と、
前記軸部材に貫通され、少なくとも外周面の一部が前記第１のリング部材の上面から突出して前記第２のリング部材の下面と当接する調整部材と、を有し、
前記調整部材は、
前記軸部材が貫通する開口を有し、第１の中心を有する環状の本体を有し、
前記本体は、
周方向に形成される複数の内周凹部を有し、複数の前記内周凹部の夫々は曲線で構成される内周面と、
前記内周面を外側から囲む外周面と、
複数の前記内周凹部の夫々に対応する前記外周面と複数の前記内周凹部の夫々との間の複数の本体幅を有し、複数の前記本体幅は互いに異なる幅を持つ、複数の間隔調整部と、
を有する、基板処理装置。
【請求項９】
前記第２のリング部材の上面は、前記調整部材の複数の間隔調整部の位置にかかわらず、前記載置面よりも下に位置する、
請求項８に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記軸部材は、前記基材と前記第１のリング部材を連結する連結部材である、
請求項８に記載の基板処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、調整部材、基板処理装置及び調整方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１は、基板処理装置において、基板を載置する載置台の側面と、載置台の周囲に配置されたリング部材の側面との間に所定幅の隙間を設けることにより、基板の裏面と載置台との間に付着する付着物（デポ）を減らすことを提案している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１６０８４３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、２つの構成部材の間の間隔調整を容易に行うことができる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一の態様によれば、２つの構成部材の間の間隔を調整する調整部材であって、第１の中心を有する環状の本体を有し、前記本体は、周方向に形成される複数の内周凹部を有し、複数の前記内周凹部の夫々は曲線で構成される内周面と、前記内周面を外側から囲む外周面と、複数の前記内周凹部の夫々に対応する前記外周面と複数の前記内周凹部の夫々との間の複数の本体幅を有し、複数の前記本体幅は互いに異なる幅を持つ、複数の間隔調整部と、を有する、調整部材が提供される。
【発明の効果】
【０００６】
一の側面によれば、２つの構成部材の間の間隔調整を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
一実施形態に係るプラズマ処理装置の一例を示す図。
一実施形態に係るシールドリングの高さと付着物との関係を説明するための図。
一実施形態に係る第１調整部材及び第２調整部材の配置の一例を示す図。
一実施形態に係る第１調整部材及び周辺の縦断面の一例を示す図。
一実施形態に係る第１調整部材の本体の一例を示す図。
一実施形態に係る第１調整部材の本体の一例を示す図。
一実施形態に係る第１調整部材の動作の一例を示す図。
一実施形態に係る第２調整部材の一例を示す図。
参考例に係るシールドリングの熱膨張の状態を示す図。
第２実施形態に係る間隔調整構造を示す図。
シールドリングの長手方向の各位置における基板の下面と当該シールドリングの上面との間隔を測定したグラフ。
シールドリングの階段状のラビリンス構造、および位置決め部材の島形状の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して本開示を実施するための形態について説明する。各図面において、同一構成部分には同一符号を付し、重複した説明を省略する場合がある。
【０００９】
本明細書において平行、直角、直交、水平、垂直、上下、左右等の方向には、実施形態の効果を損なわないほどのずれが許容される。角部の形状は、直角に限られず、弓状に丸みを帯びてもよい。平行、直角、直交、水平、垂直、円、一致には、略平行、略直角、略直交、略水平、略垂直、略円、略一致が含まれてもよい。環状には、矩形環状が含まれる。筒状には、矩形筒状が含まれる。上下は、後述の基板処理装置を設置した際の上下方向に対応し、左右は、係る上下方向を基準とする。
【００１０】
［基板処理装置］
プラズマ処理装置１０について、図１を用いて説明する。図１は、プラズマ処理装置１０の一例を示す縦断面図である。プラズマ処理装置１０は、基板処理装置の一例である。
（【００１１】以降は省略されています）

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