特許ウォッチ

公開番号2025025576
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-21
出願番号2023130449
出願日2023-08-09
発明の名称基板搬送ロボット、および、基板搬送ロボットの制御方法
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250214BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板の搬送動作を適切に行うことが可能な基板搬送ロボットおよび基板搬送ロボットの制御方法を提供する。
【解決手段】この基板搬送ロボット100は、基板または検出治具の基板載置部に対する搬送動作において、基板または検出治具と、基板保持ハンドとの接触状態を検出する接触センサ41、42、および、43と、基板保持ハンドの傾きを調整するチルト機構30と、接触センサ41、42、および、43からの検出信号に基づいて、チルト機構30を動作させることにより基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する制御部50と、を備える。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
基板、または、前記基板を模した検出治具を保持する基板保持ハンドと、
前記基板または前記検出治具の基板載置部に対する搬送動作において、前記基板または前記検出治具と、前記基板保持ハンドとの接触状態を検出する接触センサと、
前記基板保持ハンドの傾きを調整する傾き調整機構と、
前記接触センサからの検出信号に基づいて、前記傾き調整機構を動作させることにより前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する制御部と、を備える、基板搬送ロボット。
続きを表示（約 1,600 文字）【請求項２】
前記接触センサは、複数配置されており、
前記制御部は、複数の前記接触センサの各々における検出信号の変化の差異に基づいて、前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
前記接触センサは、前記基板保持ハンドに配置され、前記基板と前記基板保持ハンドとの接触状態を検出するハンドセンサと、前記検出治具に配置され、前記検出治具と前記基板保持ハンドとの接触状態を検出する治具センサと、前記基板載置部に配置され、前記基板載置部と前記基板または前記検出治具との接触状態を検出することによって前記基板または前記検出治具と前記基板保持ハンドとの接触状態を検出する載置部センサとの少なくとも１つを含む、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記接触センサは、少なくとも３つの前記ハンドセンサを含み、
前記ハンドセンサは、前記基板保持ハンドにおいて、前記基板が当接する位置のうちの互いに異なる少なくとも３つの位置に配置されている、請求項３に記載の基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記基板保持ハンドは、先端部が２つに分かれた二股形状を有しており、
前記ハンドセンサは、前記基板保持ハンドにおいて、２つに分かれた前記先端部の各々に１つずつ配置されている先端部センサと、基端部に配置されている基端部センサとを含む、請求項４に記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
前記接触センサは、少なくとも３つの前記治具センサを含み、
前記治具センサは、前記検出治具において、前記基板保持ハンドが当接する位置と、前記基板載置部が当接する位置とのうちの互いに異なる少なくとも３つの位置に配置されている、請求項３に記載の基板搬送ロボット。
【請求項７】
前記基板および前記検出治具は、円板状形状を有し、
前記接触センサは、
少なくとも３つ配置されており、
円板状形状を有する前記基板または前記検出治具の周縁部に対して、円周を３分割する位置に対応して１つずつ配置されている、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項８】
前記制御部は、前記接触センサからの検出信号に基づいて、上下方向に沿った１軸の検出値を取得することによって、前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項９】
前記傾き調整機構は、
下側部材と、
前記下側部材と上下方向に対向して配置された上側部材と、
前記下側部材と前記上側部材との間において、上下方向から見て互いに異なる箇所に配置される３つの球面滑り軸受けと、
３つの前記球面滑り軸受けのうちの２つにそれぞれ対応して設けられる２つの高さ位置調整機構と、を含み、
前記制御部は、前記接触センサからの検出信号に基づいて、前記高さ位置調整機構により前記下側部材に対する前記上側部材の傾きを調整することによって前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項１０】
前記基板保持ハンドは、各々が前記基板または前記検出治具を保持する複数のブレード部材を含み、
前記複数のブレード部材が接続されるブレード保持部をさらに備え、
前記制御部は、前記接触センサからの検出信号に基づいて、前記傾き調整機構を動作させることにより前記ブレード保持部の傾きを調整することによって、前記基板載置部と前記基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板搬送ロボット、および、基板搬送ロボットの制御方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送用ロボットが知られている。たとえば、特許文献１では、基板保持部とロボットアームとを備える基板搬送用ロボットが記載されている。基板保持部は、基板を保持する。ロボットアームは、基板保持部を支持するとともに、基板保持部を水平面内で移動させる。また、特許文献１に記載の基板搬送用ロボットは、基板保持状態を検知する接触センサを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００３－１７０３８２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１の基板搬送用ロボットのように基板を搬送する場合において、基板を保持する基板保持ハンドである基板保持部と、基板が載置される基板載置部との間の傾きにずれが生じる場合がある。その場合には、基板保持ハンドと基板載置部との間の傾きのずれに起因して、基板の搬送動作が適切に行われず、基板に対して不要な力または振動が加えられる場合がある。基板の搬送動作において、基板に対して力または振動などが加えられた場合には基板の表面に異物が付着することがある。このような異物は、基板に形成される回路に異常が生じることの原因となる。また、基板の搬送動作が適切に行われない場合には、搬送された基板に位置ずれが生じる場合がある。そのため、基板の搬送動作を適切に行うことが望まれている。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、基板の搬送動作を適切に行うことが可能な基板搬送ロボット、および、基板搬送ロボットの制御方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の第１の局面による基板搬送ロボットは、基板、または、基板を模した検出治具を保持する基板保持ハンドと、基板または検出治具の基板載置部に対する搬送動作において、基板または検出治具と、基板保持ハンドとの接触状態を検出する接触センサと、基板保持ハンドの傾きを調整する傾き調整機構と、接触センサからの検出信号に基づいて、傾き調整機構を動作させることにより基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する制御部と、を備える。
【０００７】
この開示の第１の局面による基板搬送ロボットは、上記のように、接触センサからの検出信号に基づいて、傾き調整機構を動作させることにより基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する制御部を備える。これにより、接触センサからの検出信号に基づいて傾き調整機構を動作させることによって、基板保持ハンドと基板載置部との間の傾きのずれを抑制できる。そのため、基板保持ハンドと基板載置部との間の傾きのずれに起因して基板の搬送動作が不適切となることを抑制できる。その結果、基板の搬送動作を適切に行うことができる。
【０００８】
この開示の第２の局面による基板搬送ロボットの制御方法は、基板、または、基板を模した検出治具の基板載置部に対する搬送動作において、基板または検出治具を保持する基板保持ハンドと、基板または検出治具との接触状態を検出し、基板保持ハンドと基板または検出治具との接触状態を検出した検出信号に基づいて、基板保持ハンドの傾きを調整する傾き調整機構を動作させることにより基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する。
【０００９】
この開示の第２の局面による基板搬送ロボットの制御方法は、上記のように、基板保持ハンドと基板または検出治具との接触状態を検出した検出信号に基づいて、基板保持ハンドの傾きを調整する傾き調整機構を動作させることにより基板載置部と基板保持ハンドとの相対的な傾きを調整する。これにより、接触状態を検出した検出信号に基づいて傾き調整機構を動作させることによって、基板保持ハンドと基板載置部との間の傾きのずれを抑制できる。そのため、基板保持ハンドと基板載置部との間の傾きのずれに起因して基板の搬送動作が不適切となることを抑制できる。その結果、基板の搬送動作を適切に行うことが可能な基板搬送ロボットの制御方法を提供できる。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、基板の搬送動作を適切に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許