特許ウォッチ

公開番号2025016011
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-31
出願番号2023118998
出願日2023-07-21
発明の名称エキシマランプ
出願人株式会社オーク製作所
代理人個人,個人
主分類H01J 65/00 20060101AFI20250124BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】スポット照射型エキシマランプにおいて、照射対象物に向けて効果的に紫外線などの光を照射する。
【解決手段】エキシマランプ10は、放電管20と、放電管20内において管軸Cに沿って延びる箔電極30と、放電管20の外表面を覆う外側電極40と、箔電極30を覆う誘電体50とを備える。誘電体50は、箔電極30の幅方向(Y方向)に偏平形となっている。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
一方の端部に光の放出面を形成した放電管と、
前記放電管内において帯状に延びる箔電極を覆う誘電体とを備え、
前記誘電体が、前記箔電極の幅方向に合わせて偏平形であることを特徴とするスポット照射型のエキシマランプ。
続きを表示（約 600 文字）【請求項２】
前記誘電体が、前記箔電極の幅方向に沿って略平行な外表面を有することを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
前記誘電体が、前記放出面と略垂直な平面状の外表面であることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項４】
前記誘電体の断面が、長円状または長楕円状であることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項５】
前記誘電体が、前記放電管内に形成された小径部と、前記放電管外に形成された大径部とを有し、
前記小径部の箔電極の幅方向および厚さ方向に沿った径が、前記大径部の径よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項６】
前記箔電極が、前記箔電極の幅方向に沿った両端の間に、幅方向に沿って厚さが略一定の平坦部を有し、前記平坦部の両端から前記箔電極の幅方向に沿った両端に向けて先鋭化していることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項７】
前記箔電極が、前記誘電体に対して同軸的に配置され、
前記箔電極の厚さ方向に沿った前記誘電体の外表面と前記箔電極との距離が、前記箔電極の幅方向に沿った前記誘電体の外表面と前記箔電極との距離よりも短いことを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載のエキシマランプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプに関し、特に、ランプ軸方向に向けて光を照射するエキシマランプ（以下、スポット照射型エキシマランプという）に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
スポット照射型エキシマランプでは、放電管の一方の端部を光の放出面（出射面）とし、例えば紫外線を反射する膜状の外側電極（アルミニウム膜など）を、放電管の外表面を覆うように設けている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
放電管内に設けた内側電極と外側電極との間に高周波電圧を印加することによって発生した放電から放射されるエキシマ光は、外側電極による反射によって放電管の放出面側へ導かれ、また、放電管の管壁内を紫外線が透過するファイバー効果によって放出面側に導かれることにより、紫外線がランプ放出面から放射される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６５５７０１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
例えば小型のスポット照射型エキシマランプ（例えば、放電容器の外径が数ｍｍ～数十ｍｍのサイズ）を構成する場合、照射対象物を近接配置し、紫外線などの光を集中的に照射させる必要が生じることがある。このような場合においても、効果的に光を照射することが求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様であるエキシマランプは、一方の端部に光の放出面を形成した放電管と、放電管内において帯状に延びる箔電極を覆う誘電体とを備える。箔電極は、例えば管状放電容器の管軸（ランプ軸）方向に延びるように配置可能である。
【０００７】
箔電極の構成は様々であり、箔電極の幅方向に沿った両端部が、箔電極の幅方向中央部よりも薄くなるように、箔電極を構成することができる。例えば、箔電極は、箔電極の幅方向に沿った両端の間に、幅方向に沿って厚さが略一定の平坦部を有し、平坦部の両端から箔電極の幅方向に沿った両端に向けて先鋭化した形状にすることができる。
【０００８】
本発明のエキシマランプは、誘電体が、箔電極の幅方向に合わせて偏平形である。ここで、「箔電極の幅方向に合わせて偏平形である」とは、箔電極の幅方向に沿って細長く、箔電極厚さ方向に沿った厚さが略一定となる平坦な表面部分を設けた形状であることを意味する。このような偏平形状は、箔電極厚さ方向に対する偏平化によってもたされる形状といえる。
【０００９】
誘電体と箔電極の配置構成は様々であり、箔電極が、誘電体に対して同軸的に配置されるように構成し、箔電極の厚さ方向に沿った誘電体の外表面と箔電極との距離が、箔電極の幅方向に沿った誘電体の外表面と箔電極との距離よりも短くなるように、構成することができる。
【００１０】
誘電体は、箔電極の位置、すなわち幅方向を基準にしてその偏平形が定まるように構成することができる。例えば、箔電極の幅方向に沿って略平行な外表面を設けるように構成することができる。また、誘電体は、放出面と略垂直な外表面を設けるように構成することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許