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公開番号2025014488
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117080
出願日2023-07-18
発明の名称円板状基板の支持構造
出願人株式会社コベルコ科研
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250123BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】簡易な構成によって円板状基板を支持することが可能であり、かつ、円板状基板が損傷することを抑制できる円板状基板の支持構造を提供する。
【解決手段】円板状基板Dの支持構造1は、上下方向に沿って延びる中心線C1周りに配置され前記中心線C1に向かって下方向に傾斜する支持面であって前記円板状基板Dの円周部D1に下方から当接して前記円板状基板Dの自重を支える支持面を有する支持部20を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
円板状基板を支持する支持構造であって、
上下方向に沿って延びる中心線周りに配置され前記中心線に向かって下方向に傾斜する支持面であって前記円板状基板の円周部に下方から当接して前記円板状基板の自重を支える支持面を有する支持部を備える、円板状基板の支持構造。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記支持面は、前記円板状基板の滑りを防止する滑り止め部を含む、請求項１に記載の円板状基板の支持構造。
【請求項３】
前記滑り止め部は、前記中心線を含む断面で見た場合、前記支持面に形成された凹凸形状を有する、請求項２に記載の円板状基板の支持構造。
【請求項４】
前記中心線を中心とする円の径方向に対する前記支持面の傾斜角度は、１５°以上、３０°以下である、請求項１乃至３の何れか１項に記載の円板状基板の支持構造。
【請求項５】
前記円板状基板の前記円周部は、前記円板状基板の中心に向かって下方向に傾斜し前記支持面によって支持されることが可能な被支持面を有しており、
前記支持面は、前記被支持面に対して平行に延びるように傾斜している、請求項１乃至３の何れか１項に記載の円板状基板の支持構造。
【請求項６】
前記支持部は、前記中心線周りに間隔をおいて配置された複数の支持部材を有しており、
前記複数の支持部材の各々は前記支持面を構成する上面を含む、請求項１乃至３の何れか１項に記載の円板状基板の支持構造。
【請求項７】
前記複数の支持部材は、少なくとも３つの支持部材を有している、請求項６に記載の円板状基板の支持構造。
【請求項８】
前記複数の支持部材は、前記中心線周りに等間隔に配置されている、請求項６に記載の円板状基板の支持構造。
【請求項９】
前記円板状基板が前記支持部に支持された状態では、前記支持部のうち前記支持面以外の部分は、前記円板状基板に対して離間して配置されている、請求項１乃至３の何れか１項に記載の円板状基板の支持構造。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、円板状基板の支持構造に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハ（円板状基板）の製造工程においては、ウェハの搬送のために、ウェハを支持する機構を必要としている。ウェハを支持する機構の一例として、デバイス製造の対象とならない部分であるウェハの円周部、いわゆるエッジ部分を保持する機構が用いられることがある。
【０００３】
例えば、特許文献１には、ウェハが載置される定置ステージと、ウェハのエッジを把持するための複数の把持部と、各把持部をウェハの中心方向に向けて移動させる把持機構と、を有するアライナー装置が開示されている。特許文献１に係るアライナー装置では、定置ステージ上に載置されているウェハのエッジに各把持部が係止するように、把持機構が各把持部をウェハの中心方向へと動作させる。これにより、ウェハが保持される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００３－２４３２９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載の技術は、各把持部をウェハの中心に向けて近接させる把持機構を必要とする。このため、前記技術では、アライナー装置の構成が複雑化する。
【０００６】
また、前記技術では、各把持部がウェハのエッジ部に対して力を加えることにより、ウェハを保持している。このため、ウェハのエッジ部に過剰な力が作用し、これによりエッジ部が損傷する可能性がある。
【０００７】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、簡易な構成によって円板状基板を支持することが可能であり、かつ、円板状基板が損傷することを抑制できる円板状基板の支持構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によって提供されるのは、円板状基板を支持する支持構造であって、当該支持構造は、上下方向に沿って延びる中心線周りに配置され前記中心線に向かって下方向に傾斜する支持面であって前記円板状基板の円周部に下方から当接して前記円板状基板の自重を支える支持面を有する支持部を備える。
【０００９】
本構成によれば、円板状基板の円周部が支持部の支持面によって下方から支持されるため、複雑な機構を必要とせず、円板状基板を支持することができる。また、支持面が前記円板状基板の自重を支えることにより円板状基板が支持されるため、前記自重より大きい力が円板状基板に作用することが抑制される。すなわち、円板状基板に過剰な力が作用することが抑制される。したがって、簡易な構成によって円板状基板を支持することが可能であり、かつ、円板状基板が損傷することを抑制できる。
【００１０】
また、本構成では、支持面が傾斜しているため、円板状基板の中心位置を支持部の中心線に合わせた状態で円板状基板を支持し、支持部上で円板状基板が水平方向に移動することを防止することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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