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公開番号2025014024
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-28
出願番号2024189873,2020210614
出願日2024-10-29,2020-12-18
発明の名称表示装置、表示方法、及びプログラム
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20250121BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】過去に実行された基板処理の状態を容易に把握することを可能にする。
【解決手段】表示装置は、複数の基板に対して所定の基板処理を実行する基板処理装置における処理に関する情報を表示画面に表示する装置である。表示装置は、ユーザからの指示に応じて、複数の基板のうちの表示対象の基板について基板処理装置内で過去に撮像して得られた第1撮像データに基づく画像を表示画面に表示可能であり、且つ、ユーザからの指示に応じて、表示対象の基板について基板処理装置内で過去に撮像して得られた第2撮像データに基づく画像を表示画面に表示可能な表示制御部を備える。第1撮像データは、第2撮像データとは異なるタイミングで撮像して得られたデータであるか、又は第2撮像データとは異なる撮像範囲を撮像して得られたデータである。
【選択図】図9

特許請求の範囲【請求項１】
複数の基板に対して所定の基板処理を実行する基板処理装置における処理に関する情報を表示画面に表示する表示装置であって、
ユーザからの指示に応じて、前記複数の基板のうちの表示対象の基板について前記基板処理装置内で過去に撮像して得られた第１撮像データに基づく画像を前記表示画面に表示可能であり、且つ、ユーザからの指示に応じて、前記表示対象の基板について前記基板処理装置内で過去に撮像して得られた第２撮像データに基づく画像を前記表示画面に表示可能な表示制御部を備え、
前記第１撮像データは、前記第２撮像データとは異なるタイミングで撮像して得られたデータであるか、又は前記第２撮像データとは異なる撮像範囲を撮像して得られたデータである、表示装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記表示制御部は、前記基板処理装置に設けられたセンサによって、前記表示対象の基板について既に得られたデータであって、前記第１撮像データ又は前記第２撮像データを取得した際の前記基板処理に関連する測定データを前記表示画面に表示可能である、請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記第１撮像データは、前記基板処理後に前記表示対象の基板の表面の全体を撮像して得られた静止画データであり、
前記第２撮像データは、前記基板処理後に前記表示対象の基板の表面の周縁領域を撮像して得られた静止画データであり、
前記表示制御部は、前記第１撮像データに基づく第１静止画像と、前記第２撮像データに基づく第２静止画像とを前記表示画面に同時に表示させる、請求項１又は２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記表示制御部は、前記第２撮像データに基づいて、前記表示対象の基板の周方向における位置が横軸となり、且つ前記表示対象の基板の径方向における位置が縦軸となるように前記第２静止画像を前記表示画面に表示させる、請求項３に記載の表示装置。
【請求項５】
前記表示制御部は、
前記第１静止画像に対して横方向に並ぶように、前記第１撮像データ及び前記第２撮像データとは異なる情報を示す補助画像を前記表示画面に更に表示させ、
前記第１静止画像及び前記補助画像の両方に対して縦方向に並ぶように、前記第２静止画像を前記表示画面に表示させる、請求項４に記載の表示装置。
【請求項６】
前記表示制御部は、
前記第１静止画像又は前記第２静止画像の一部を拡大して表示させる拡大表示制御を実行し、
少なくとも前記拡大表示制御を実行している期間において、一部を拡大して表示させている静止画像の全体に対して拡大した位置を示すガイド画像を前記表示画面に表示させる、請求項３～５のいずれか一項に記載の表示装置。
【請求項７】
前記表示制御部は、前記第１静止画像に対して、前記表示対象の基板が切断される予定の位置を示す画像を重ねて表示させる、請求項３～６のいずれか一項に記載の表示装置。
【請求項８】
前記第１撮像データは、前記表示対象の基板に対する前記基板処理の実行中に、前記表示対象の基板又は当該基板の周辺を撮像して得られた動画データであり、
前記第２撮像データは、前記基板処理後に前記表示対象の基板の表面の少なくとも一部を撮像して得られた静止画データである、請求項１又は２に記載の表示装置。
【請求項９】
前記第１撮像データは、前記表示対象の基板に対する前記基板処理の実行中に、前記表示対象の基板又は当該基板の周辺を撮像して得られた動画データであり、
前記表示制御部は、前記動画データに基づく動画と、前記表示対象の基板とは別の基板についての前記動画に対応する別の動画と、を前記表示画面に並べた状態で同時に表示させる、請求項１又は２に記載の表示装置。
【請求項１０】
前記表示制御部は、前記動画と前記別の動画との並び順を示すユーザからの指示に基づいて、前記動画と前記別の動画とを前記表示画面に表示させる、請求項９に記載の表示装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、表示装置、表示方法、及び記憶媒体に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基板に処理を施す基板処理部における処理の状態を示すプロセスデータに関するグラフを表示する表示手段と、その表示手段における表示を制御する表示制御手段とを具備する半導体製造装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－１３５３６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、過去に実行された基板処理の状態を容易に把握することが可能な表示装置、表示方法、及び記憶媒体を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一側面に係る表示装置は、複数の基板に対して所定の基板処理を実行する基板処理装置における処理に関する情報を表示画面に表示する装置である。この表示装置は、ユーザからの指示に応じて、複数の基板のうちの表示対象の基板について基板処理装置内で過去に撮像して得られた第１撮像データに基づく画像を表示画面に表示可能であり、且つ、ユーザからの指示に応じて、表示対象の基板について基板処理装置内で過去に撮像して得られた第２撮像データに基づく画像を表示画面に表示可能な表示制御部を備える。第１撮像データは、第２撮像データとは異なるタイミングで撮像して得られたデータであるか、又は第２撮像データとは異なる撮像範囲を撮像して得られたデータである。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、過去に実行された基板処理の状態を容易に把握することが可能な表示装置、表示方法、及び記憶媒体が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、基板処理システムの一例を示す模式図である。
図２は、塗布現像装置の一例を示す模式図である。
図３は、液処理ユニット及び撮像部の一例を示す模式図である。
図４（ａ）及び図４（ｂ）は、撮像データに基づく動画の一例を示す模式図である。
図５は、検査ユニットの一例及び制御装置の機能構成の一例を模式的に示す図である。
図６は、基板処理方法の一例を示すフローチャートである。
図７は、表示装置の機能構成の一例を示すブロック図である。
図８は、制御装置及び表示装置における処理手順の一例を示すシーケンス図である。
図９は、測定データ及び一覧画像の表示の一例を示す模式図である。
図１０は、処理後画像の表示の一例を示す模式図である。
図１１は、処理中動画の出力の受け付け処理の一例を説明するための模式図である。
図１２は、処理中動画の表示の一例を示す模式図である。
図１３は、一覧表の表示の一例を示す模式図である。
図１４は、制御装置及び表示装置のハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、種々の例示的実施形態について説明する。
【０００９】
一つの例示的実施形態に係る表示装置は、複数の基板に対して所定の基板処理を実行する基板処理装置における処理に関する情報を表示画面に表示する装置である。この表示装置は、ユーザからの指示に応じて、複数の基板のうちの表示対象の基板について基板処理装置内で過去に撮像して得られた第１撮像データに基づく画像を表示画面に表示可能であり、且つ、ユーザからの指示に応じて、表示対象の基板について基板処理装置内で過去に撮像して得られた第２撮像データに基づく画像を表示画面に表示可能な表示制御部を備える。第１撮像データは、第２撮像データとは異なるタイミングで撮像して得られたデータであるか、又は第２撮像データとは異なる撮像範囲を撮像して得られたデータである。
【００１０】
この表示装置では、表示対象である一の基板について、ユーザが、撮像タイミング又は撮像範囲が互いに異なる２種類の画像を確認できる。そのため、異なる装置で個別に２種類の画像を確認する必要がなく、表示対象の基板について過去に実行された基板処理の状態を容易に把握することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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