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公開番号2025012052
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-24
出願番号2023114588
出願日2023-07-12
発明の名称静電モータ、および静電モータの製造方法
出願人株式会社デンソー,トヨタ自動車株式会社,株式会社ミライズテクノロジーズ
代理人弁理士法人ゆうあい特許事務所
主分類H02N 1/00 20060101AFI20250117BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】回転子電極50A、50Bの絶縁耐圧を向上する。
【解決手段】静電モータ2では、静電気力によって複数の回転子電極50A、50Bが複数の固定子電極60A、60Bに対して変位が可能になるように構成されている。回転子電極50A、50Bは、金属材料からなる薄膜状に形成されて外側に露出する表面を形成し、固定子電極60A、60Bとの間に静電気力を発生させるメッキ層59を備える。したがって、回転子電極50A、50Bがメッキ層59によって構成されている。このため、回転子電極50A、50Bの表面の表面粗さが小さくなる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
前記可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
前記可動子電極および前記固定子電極の間の静電気力によって前記固定子電極に対して前記可動子電極が変位可能になるように構成されている静電モータであって、
前記可動子電極および前記固定子電極のうちいずれか一方の電極は、
金属材料からなる膜状に形成されて外側に露出する表面を形成し、前記可動子電極および前記固定子電極のうち前記一方の電極以外の他方の電極との間に前記静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）を備える静電モータ。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記一方の電極は、基材（５８、６８）を備え、
前記メッキ層は、前記基材の周囲を覆うように形成されている請求項１に記載の静電モータ。
【請求項３】
前記一方の電極は、中空部（５８Ｘ、６８Ｘ）を形成し、
前記メッキ層は、前記中空部を覆う殻状に形成されている請求項１に記載の静電モータ。
【請求項４】
前記メッキ層を構成する前記金属材料は、クロムである請求項１ないし３のいずれか１つに記載の静電モータ。
【請求項５】
前記基材は、軽合金によって形成されている請求項２に記載の静電モータ。
【請求項６】
前記基材は、樹脂材料によって形成されている請求項２に記載の静電モータ。
【請求項７】
前記静電気力によって前記可動子電極が前記固定子電極に対して軸線（Ｂ）を中心とする回転方向（Ｋａ）に変位が可能になるように構成されており、
前記軸線が延びる方向を軸線方向（Ｚａ）としたとき、
前記一方の電極は、前記軸線を中心とする径方向（Ｚｂ）に延びるように形成されて、かつ前記軸線方向に並べられている複数の歯部（６１）と、
前記複数の歯部に対して前記径方向の内側に配置されて前記複数の歯部に接続されている支持部（６２）と、を備え、
前記複数の歯部、および前記支持部は、一体化されている一体化構成物を構成する請求項１に記載の静電モータ。
【請求項８】
前記複数の歯部のそれぞれの前記径方向の外側端部には、前記径方向の外側に凸となる半球状に形成されている先端部（１６１）が設けられている請求項７に記載の静電モータ。
【請求項９】
前記歯部を第１歯部とし、前記支持部を第１支持部としたとき、
前記他方の電極は、
前記第１支持部に対して前記径方向の外側に配置され、かつ前記径方向に延びるように形成されて、さらに前記軸線方向に並べられている複数の第２歯部（７１）と、
前記複数の第２歯部に対して前記径方向の外側に配置されて前記複数の第２歯部に接続されている第２支持部（７２）と、を備え、
前記複数の第２歯部、および前記第２支持部は、一体化されている一体化構成物を構成する請求項８に記載の静電モータ。
【請求項１０】
前記先端部を第１先端部としたとき、前記複数の第２歯部のそれぞれの前記径方向の内側端部には、前記径方向の内側に凸となる半球状に形成されている第２先端部（１７１）が設けられている請求項９に記載の静電モータ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、静電モータ、および静電モータの製造方法に関するものである。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、可動子電極と固定子電極とを備え、可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって固定子電極に対して回転子電極が回転可能になるように構成されている静電モータが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００７－３３６７３５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明者は、上記静電モータについて、可動子電極および固定子電極の絶縁耐圧を向上することを検討した。
【０００５】
本開示は上記点に鑑みて、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータ、および静電モータの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の１つの観点によれば、可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって固定子電極に対して可動子電極が変位可能になるように構成されている静電モータであって、
可動子電極および固定子電極のうちいずれか一方の電極は、
金属材料からなる膜状に形成されて外側に露出する表面を形成し、可動子電極および固定子電極のうち一方の電極以外の他方の電極との間に静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）を備える。
【０００７】
したがって、一方の電極の表面がメッキ層によって構成されることになる。メッキ層は、機械加工により形成された金属部品に比べて、表面粗さが小さくなる。このため、機械加工により形成された金属部品の表面粗さに比べて、一方の電極の表面粗さの方が小さくなるので、一方の電極の絶縁耐圧を向上することができる。
したがって、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータを提供することができる。
【０００８】
本開示の２つの観点によれば、静電モータの製造方法において、
可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって可動子電極が固定子電極に対して変位が可能になるように構成されている静電モータの製造方法を含み、
可動子電極および固定子電極のうちいずれか一方を一方の電極とし、可動子電極および固定子電極のうち一方の電極以外の電極を他方の電極としたとき、
基材（６２、７２）を準備することと、
金属材料によって基材の周囲を覆う膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して他方の電極と間に静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）をメッキにより設けることにより、一方の電極を形成することと、を含む。
【０００９】
したがって、絶縁耐圧を向上するようにした静電モータの製造方法を提供することができる。
【００１０】
本開示の３つの観点によれば、静電モータの製造方法において、
可動子電極（５０Ａ、５０Ｂ）と、
可動子電極に対して間隔を開けて配置されている固定子電極（６０Ａ、６０Ｂ）と、を備え、
可動子電極および固定子電極の間の静電気力によって可動子電極が固定子電極に対して変位が可能になるように構成されている静電モータの製造方法を含み、
可動子電極および固定子電極のうちいずれか一方を一方の電極とし、可動子電極および固定子電極のうち一方の電極以外の電極を他方の電極としたとき、
基材（６２、７２）を準備することと、
金属材料によって基材の周囲を覆う膜状に形成されて外側に露出する表面を形成して他方の電極と間に静電気力を発生させるメッキ層（５９、６９）をメッキにより設けることと、
メッキ層の内側から基材を除去してメッキ層を殻状に形成することにより、一方の電極を形成することと、
を含む静電モータ。
（【００１１】以降は省略されています）

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