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公開番号2025015254
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023118551
出願日2023-07-20
発明の名称駆動装置
出願人株式会社東京ウエルズ
代理人個人,個人,個人
主分類H02N 2/04 20060101AFI20250123BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】圧電素子の伸長を拡大させてスムーズに揺動アームに伝える。
【解決手段】駆動装置10Aはベース11と、ベース11に支点を介して取り付けられた揺動アーム14と、揺動アーム14に力点を介して取り付けられた連結アーム24とを有する。ベース11に第1揺動点20aを介して圧電素子20Aを含む駆動アーム20が設けられ、駆動アーム20は第2揺動点20bを介して連結アーム24に連結されている。
【選択図】図4A
特許請求の範囲【請求項１】
ベースと、
前記ベースに支点を介して揺動自在に設けられ、先端に作動端部を有する揺動アームと、
前記揺動アームに力点を介して揺動自在に設けられた連結アームと、
前記ベースに第一揺動点を介して揺動自在に連結され、前記連結アームに第２揺動点を介して揺動自在に連結された圧電素子を含む駆動アームと、を備えた、駆動装置。
続きを表示（約 470 文字）【請求項２】
前記駆動アームは、圧電素子を含む駆動部と、前記駆動部から延びる延長部とを有し、
前記ベースに追加支点を介して揺動自在に案内アームを設け、前記案内アームを前記延長部に第３揺動点を介して取り付けた、請求項１記載の駆動装置。
【請求項３】
前記駆動アームの前記第２揺動点と、前記第３揺動点は、前記延長部に設けられている、請求項２記載の駆動装置。
【請求項４】
前記揺動アームの前記支点と前記作動端部との間の距離をＬ１とし、前記揺動アームの前記支点と前記力点との間の距離をＬ２とした場合、
前記作動端部は前記駆動アームの伸長量に対して、Ｌ１／Ｌ２倍だけ拡大して変位する、請求項１記載の駆動装置。
【請求項５】
前記ベースと、前記揺動アームとの間に、弾性部材が介在されている、請求項１乃至４のいずれか記載の駆動装置。
【請求項６】
前記揺動アーム、前記駆動アームの前記延長部、および前記連結アームは、チタン材からなる、請求項２記載の駆動装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、チップ状の電子部品を処理する電子部品処理装置に用いられる駆動装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
チップ状の電子部品は、まず電子部品処理装置の電子部品測定装置により、電子部品の特性が測定され、その後、電子部品がキャリアテープ内に電子部品挿入装置により挿入される。次にキャリアテープ内の電子部品が基板等に実装される。
【０００３】
電気部品の特性を測定する電子部品測定装置としては、測定プローブを駆動装置により駆動させて、インデックステーブルにより順次に搬送されてくるチップ状の電子部品に接触させることにより電気特性を測定するものが知られている。測定プローブを駆動させる駆動装置としては、揺動可能に設けられた揺動アームに測定プローブを保持し、電磁ソレノイドを有する駆動機構により揺動アームを揺動させて、測定プローブを測定位置と退避位置との間で移動させるものが知られている。
【０００４】
あるいは測定プローブを駆動させる駆動装置として、圧電素子を用いて揺動アームを揺動させるものも知られている。
【０００５】
しかしながら電磁ソレノイドを有する駆動装置の場合、電流を流すことで磁場を発生させて磁力により磁性体を引き付ける構造となっており高速に応答することができない。
【０００６】
また圧電素子を用いて揺動アームを揺動させる駆動装置の場合、スムーズに圧電素子の変位を使って揺動アームを揺動させる機構は未だ開発されていない。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００３－１９４８７６号公報
特開２０１８－１７４６３６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本開示は、このような点を考慮してなされたものであり、高速動作が可能な圧電素子を用いて、電子部品処理装置に用いる駆動装置をスムーズに駆動することができる駆動装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本開示は、ベースと、前記ベースに支点を介して揺動自在に設けられ、先端に作動端部を有する揺動アームと、前記揺動アームに力点を介して揺動自在に設けられた連結アームと、前記ベースに第一揺動点を介して揺動自在に連結され、前記連結アームに第２揺動点を介して揺動自在に連結された圧電素子を含む駆動アームと、を備えた、駆動装置である。
【００１０】
本開示は、前記駆動アームは、圧電素子を含む駆動部と、前記駆動部から延びる延長部とを有し、前記ベースに追加支点を介して揺動自在に案内アームを設け、前記案内アームを前記延長部に第３揺動点を介して取り付けた、駆動装置である。
（【００１１】以降は省略されています）

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